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公開番号2025004034
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-14
出願番号2024165388,2022557327
出願日2024-09-24,2021-09-24
発明の名称感光性樹脂積層体
出願人旭化成株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20250106BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】本開示は、支持フィルムと、上記支持フィルム上に積層された感光性樹脂層とを含む、感光性樹脂積層体を提供する。
【解決手段】上記感光性樹脂層は、30質量%～70質量%のアルカリ可溶性高分子と、20質量%～50質量%のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、0.01質量%～20質量%の光重合開始剤とを含む。上記アルカリ可溶性高分子は、芳香族基を有する(メタ)アクリレートを共重合成分として含有し、かつ酸当量が350以上である。上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、その全質量を基準として、50質量%～100質量%のアクリレートモノマーを含有し、かつ二重結合当量が150以上である。上記感光性樹脂層の厚さは30μm以上である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
支持フィルムと、前記支持フィルム上に積層された感光性樹脂層とを含む、感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂層は、
（Ａ）３０質量％～７０質量％のアルカリ可溶性高分子と、
（Ｂ）２０質量％～５０質量％のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、
（Ｃ）０．０１質量％～２０質量％の光重合開始剤と
を含有し、
前記アルカリ可溶性高分子は、芳香族基を有する（メタ）アクリレートを共重合成分として含有し、かつ酸当量が３５０以上であり、
前記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、前記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の全質量を基準として、５０質量％～１００質量％のアクリレートモノマーを含み、かつ二重結合当量が１５０以上であり、
前記感光性樹脂層の厚さが３０μｍ以上である、感光性樹脂積層体。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として含有する、請求項１に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項３】
前記感光性樹脂層の膜厚をＴ［μｍ］、前記感光性樹脂層の波長３６５ｎｍでの吸光度をＡとしたとき、次式：０＜Ａ／Ｔ≦０．００７で表される関係を満たす、請求項１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項４】
前記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として４５質量％～９５質量％含有する、請求項１～３のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項５】
前記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として５０質量％以上含有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項６】
前記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として７０質量％以上含有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項７】
前記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、アクリレートモノマーとメタクリレートモノマーとを含有する、請求項１～６のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項８】
前記アクリレートモノマーと前記メタクリレートモノマーとの質量比（アクリレートモノマー／メタクリレートモノマー）が、１．２以上２５．０以下である、請求項７に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項９】
前記アルカリ可溶性高分子は、スチレンおよびスチレン誘導体を共重合成分として含まない、請求項１～８のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【請求項１０】
前記アルカリ可溶性高分子の酸当量が３７０以上である、請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、感光性樹脂積層体に関する。
続きを表示（約 3,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板の製造、金属の精密加工などは、フォトリソグラフィー法によって製造されてきた。フォトリソグラフィー法に用いられる感光性樹脂積層体は、未露光部を溶解除去するネガ型と、露光部を溶解除去するポジ型とに分類される。
【０００３】
感光性樹脂積層体を用いてパターンを形成する一般的な方法について簡単に述べる。先ず、感光性樹脂積層体から保護層を剥離する。ラミネーターを用いて、銅張積層板、銅スパッタ薄膜などの基材上に、該基材、感光性樹脂層、及び支持体の順序になるように、感光性樹脂層及び支持体を積層する。所望の配線パターンを有するフォトマスクを介して、感光性樹脂層を露光する。露光後の積層体から支持体を剥離し、そして現像液により非露光部又は露光部を溶解又は分散除去することにより、基材上にレジストパターンを形成させる。レジストパターンを備える基板を銅めっき、はんだめっきなどのめっき処理に供することにより半導体などのためのバンプを形成することができる。
【０００４】
レジストパターン又は半導体バンプ形成のために様々な感光性樹脂積層体が検討されている。例えば、特許文献１～７には、特定のアルカリ可溶性高分子、光重合性モノマー及び光重合性開始剤を含有する感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体が記述されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２００９／０７８３８０号
特開２０１１－２２７３０９号公報
国際公開第２０１１／０３７１８２号
特開２０１３－２４６３８７号公報
特開２０１４－００２２８５号公報
特開２０１４－１２６７０１号公報
国際公開第２０１９／０８８２６８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、配線微細化及び高密度化が求められ、それに伴い、金属配線の形成法としてめっき工法が拡大している。めっき工法で形成される配線の形状はレジストパターンの形状や厚みに依存する。めっき工法では、一般的に、厚膜の感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体が使用され、高い解像性、及び感光性樹脂層の一部が除去されずにテーパ状に残る現象（いわゆる「裾引き」）の低減が求められる。
【０００７】
剥離液での処理性が悪い感光性樹脂を用いると、剥離した硬化レジストが溶解せず剥離液中に残渣として滞留する。滞留した剥離残渣は、剥離機のポンプ詰まりを起こす。そのため、感光性樹脂の剥離液での処理性（以下、「剥離処理性」ともいう。）が求められる。また、硬化レジストパターンの除去に用いられる剥離液は、除去に伴い含有成分を消費する。成分の消費が著しい感光性樹脂を用いると、剥離液建浴の頻度を高めなければ、剥離残渣などの不具合を起こしやすく、生産性を低下させる。そのため、剥離液建浴の頻度を少なくすること（以下、「剥離液疲労性」ともいう。）が求められる。
【０００８】
めっき工法に使用される感光性樹脂には、めっき処理時に硬化レジストパターンの底部にめっきが潜り込む現象（以下、「めっき潜り」ともいう。）の低減も求められる。
【０００９】
したがって、本開示は、解像性を向上させ、裾引きを低減し、剥離液処理性及び剥離液疲労性を向上させ、かつ、めっき潜りを抑制することができる感光性樹脂積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本開示の実施態様の例を以下の項目に列記する。
［１］
支持フィルムと、上記支持フィルム上に積層された感光性樹脂層とを含む、感光性樹脂積層体であって、上記感光性樹脂層は、
（Ａ）３０質量％～７０質量％のアルカリ可溶性高分子と、
（Ｂ）２０質量％～５０質量％のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、
（Ｃ）０．０１質量％～２０質量％の光重合開始剤と
を含有し、
上記アルカリ可溶性高分子は、芳香族基を有する（メタ）アクリレートを共重合成分として含有し、かつ酸当量が３５０以上であり、
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の全質量を基準として、５０質量％～１００質量％のアクリレートモノマーを含み、かつ二重結合当量が１５０以上であり、
上記感光性樹脂層の厚さが３０μｍ以上である、感光性樹脂積層体。
［２］
上記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として含有する、項目１に記載の感光性樹脂積層体。
［３］
上記感光性樹脂層の膜厚をＴ［μｍ］、上記感光性樹脂層の波長３６５ｎｍでの吸光度をＡとしたとき、次式：０＜Ａ／Ｔ≦０．００７で表される関係を満たす、項目１又は２に記載の感光性樹脂積層体。
［４］
上記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として４５質量％～９５質量％含有する、項目１～３のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［５］
上記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として５０質量％以上含有する、項目１～４のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［６］
上記アルカリ可溶性高分子が、ベンジル（メタ）アクリレートを共重合成分として７０質量％以上含有する、項目１～４のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［７］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、アクリレートモノマーとメタクリレートモノマーとを含有する、項目１～６のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［８］
上記アクリレートモノマーと上記メタクリレートモノマーとの質量比（アクリレートモノマー／メタクリレートモノマー）が、１．２以上２５．０以下である、項目７に記載の感光性樹脂積層体。
［９］
上記アルカリ可溶性高分子は、スチレンおよびスチレン誘導体を共重合成分として含まない、項目１～８のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１０］
上記アルカリ可溶性高分子の酸当量が３７０以上である、項目１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１１］
上記アルカリ可溶性高分子の酸当量が４１０以上である、項目１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１２］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、トリメチロールプロパン骨格を有する化合物を含まない、項目１～１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１３］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、４官能以上の化合物を含む、項目１～１２のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１４］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の全質量を基準として、５０質量％～９９質量％のアクリレートモノマーを含有する、項目１～１３のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１５］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の全質量を基準として、６０質量％～９９質量％のアクリレートモノマーを含有する、項目１～１３のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１６］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物は、上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の全質量を基準として、７０質量％～９９質量％のアクリレートモノマーを含有する、項目１～１３のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１７］
上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物の二重結合当量が２００以上である、項目１～１６のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１８］
上記アルカリ可溶性高分子と上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物との質量比（Ａ／Ｂ）が１．４０以上である、項目１～１７のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［１９］
上記アルカリ可溶性高分子と上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物との質量比（Ａ／Ｂ）が１．６０以上である、項目１～１７のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［２０］
上記アルカリ可溶性高分子と上記エチレン性不飽和二重結合を有する化合物との質量比（Ａ／Ｂ）が１．８０以上である、項目１～１７のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
［２１］
上記光重合開始剤は、２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体を含有する、項目１～２０のいずれか一項に記載の感光性樹脂積層体。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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