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公開番号2025001296
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-08
出願番号2023100803
出願日2023-06-20
発明の名称プラズマ処理装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類H05H 1/26 20060101AFI20241225BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】フィン部材の損傷を低減することが可能なプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置1は、内側電極100と、電極保持体200と、外側電極300と、内側電極及び電極保持体を包囲する絶縁部材400と、絶縁部材の内側に供給された処理ガスを旋回させることによって内側電極まわりの旋回流を形成するためのフィン部材500と、プラズマ化した旋回流を吹出すノズル600と、を備える。絶縁部材400は、直接又は間接的に外側電極300に固定されており、フィン部材500は、内側電極100から離間した状態で電極保持体200に固定されており、かつ、絶縁部材400の内周面に接している。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電圧の印加を受ける内側電極と、
前記内側電極を保持する電極保持体と、
筒状に形成されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する外側電極と、
前記内側電極及び前記電極保持体と前記外側電極との間に配置されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する絶縁部材と、
前記絶縁部材の内側に供給された処理ガスを旋回させることによって前記内側電極まわりの旋回流を形成するためのフィン部材と、
プラズマ化した前記旋回流を吹出すノズルと、を備え、
前記絶縁部材は、直接又は間接的に前記外側電極に固定されており、
前記フィン部材は、前記内側電極から離間した状態で前記電極保持体に固定されており、かつ、前記絶縁部材の内周面に接している、プラズマ処理装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記電極保持体は、
前記絶縁部材の内周面に接する接触面と、
前記絶縁部材の内周面から離間しており、前記絶縁部材の内周面とともに前記処理ガスの流路を形成する流路形成面と、を有する、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記電極保持体は、前記フィン部材を保持する保持部を有し、
前記保持部は、前記処理ガスの流れ方向における前記流路形成面の下流側に形成されている、請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記内側電極の中心軸と平行な方向に前記外側電極から離間した位置に設けられており、前記処理ガスを供給するガス供給部と、
前記ガス供給部と前記外側電極との間に介在する中間部材と、をさらに備え、
前記絶縁部材の基端部は、前記中間部材に固定されており、
前記絶縁部材の先端部は、前記ノズルに固定されている、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記フィン部材及び前記内側電極の先端間の長さは、前記絶縁部材の内径の３倍以上１０倍以下である、請求項１に記載のプラズマ処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、プラズマ処理装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、実開平６－５４４７１号公報に見られるように、処理ガスを旋回させることが可能なプラズマトーチが公知である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
実開平６－５４４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
実開平６－５４４７１号公報に記載されるプラズマ処理装置では、フィン部材が電極及びノズルに接触しているため、電極及びノズルからの熱の影響によってフィン部材が損傷する懸念がある。
【０００５】
本開示の目的は、フィン部材の損傷を低減することが可能なプラズマ処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一局面に従ったプラズマ処理装置は、電圧の印加を受ける内側電極と、前記内側電極を保持する電極保持体と、筒状に形成されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する外側電極と、前記内側電極及び前記電極保持体と前記外側電極との間に配置されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する絶縁部材と、前記絶縁部材の内側に供給された処理ガスを旋回させることによって前記内側電極まわりの旋回流を形成するためのフィン部材と、プラズマ化した前記旋回流を吹出すノズルと、を備え、前記絶縁部材は、直接又は間接的に前記外側電極に固定されており、前記フィン部材は、前記内側電極から離間した状態で前記電極保持体に固定されており、かつ、前記絶縁部材の内周面に接している。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、フィン部材の損傷を低減することが可能なプラズマ処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の一実施形態におけるプラズマ処理装置の断面斜視図である。
内側電極、電極保持体及び絶縁部材の関係を示す断面図である。
電極保持体及びフィン部材の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００１０】
図１は、本開示の一実施形態におけるプラズマ処理装置の断面斜視図である。このプラズマ処理装置１は、ワークの表面改質に好適に用いられる。
（【００１１】以降は省略されています）

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