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公開番号2024179206
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-26
出願番号2023097867
出願日2023-06-14
発明の名称ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム及び中空構造体の製造方法
出願人東京応化工業株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/038 20060101AFI20241219BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】良好な形状の中空封止構造を形成可能であり、さらに高い強度を有する硬化膜を形成することができ、良好な形状のパターンを形成可能であり、クラックの発生を抑制可能であるネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、中空構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、フィラーと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物を採用する。エポキシ基含有化合物は、一般式(a0-1)で表される構成単位(a0)を有するノボラック型エポキシ樹脂を含む。フィラーの含有量は、60質量%以上である。式中、R⁰¹はビフェニル、ターフェニル、ナフタレン及びアントラセンから選択される芳香環から2個の水素原子を除いた基である。R⁰²は炭素原子数1～5のアルキル基又はハロゲン原子である。nは0～3の整数である。
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【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、フィラーと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、
前記エポキシ基含有化合物は、下記一般式（ａ０－１）で表される構成単位（ａ０）を有するノボラック型エポキシ樹脂を含み、
前記フィラーの含有量は、前記ネガ型感光性樹脂組成物の総質量に対して６０質量％以上である、ネガ型感光性樹脂組成物。
TIFF
2024179206000037.tif
77
170
［式中、Ｒ
０１
は、ビフェニル、ターフェニル、ナフタレン及びアントラセンからなる群より選択される芳香環から２個の水素原子を除いた基である。Ｒ
０２
は、炭素原子数１～５のアルキル基又はハロゲン原子である。ｎは、０～３の整数である。ｎが２以上である場合、複数のＲ
０２
は、それぞれ同じでもよく異なってもよい。］
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
前記エポキシ基含有化合物は、更に、下記一般式（ＡＬ１）で表される化合物（ＡＬ）を含む、請求項１に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
TIFF
2024179206000038.tif
55
170
［式中、Ｒ
ＥＰ
は、エポキシ基含有基である。複数のＲ
ＥＰ
は、それぞれ同じでもよく異なってもよい。］
【請求項３】
凹部と、この凹部の開口面を塞ぐ天板部と、からなる中空構造体の、前記天板部を形成するために用いられる、請求項１又は２に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
基材フィルム上に、請求項１又は２に記載のネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂膜と、カバーフィルムと、がこの順に積層した感光性レジストフィルム。
【請求項５】
凹部と、この凹部の開口面を塞ぐ天板部と、からなる中空構造体の製造方法であって、
前記天板部を、請求項１又は２に記載のネガ型感光性樹脂組成物を用いて形成する、中空構造体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム及び中空構造体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表面弾性波（ＳＡＷ）フィルター等の微小電子デバイスの開発が進められている。このような電子デバイスを封止したパッケージは、表面弾性波の伝播、電子デバイスの可動部材の可動性を確保するための中空封止構造を有している。今後、特に、高い周波数を扱うスマートフォンなどでは、中空封止構造を有するパッケージの小型化がますます求められる。
【０００３】
図１は、中空構造体１００を製造する工程の一実施形態を示している。中空構造体１００は、基板１０、基板１０上に形成された側壁２０、及び、側壁２０と基板１０とで形成される凹部１５の開口面を塞ぐネガ型パターン（露光部３０Ａ、以下、天板部ともいう）を備える。
【０００４】
中空構造体の天板部は、感光性樹脂組成物から形成された感光性樹脂膜に対して、光、電子線等の放射線による選択的露光を行い、現像処理及び加熱処理を施すことにより形成される硬化膜である。次いで、得られた中空構造体は、高温条件（１５０～２００℃）でモールド成型される。
【０００５】
硬化膜である天板部の薄膜化により中空構造体の小型化を試みた場合、モールド成型の際の加工圧に対して、中空構造体の天板部の強度が足りず、中空構造を維持できないという問題があった。これに対し、金属酸化物を添加した感光性樹脂組成物が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１８－０３６５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の感光性樹脂組成物から形成される硬化膜よりも、さらに高い強度を有する硬化膜を形成することができる感光性樹脂組成物が求められている。これに対し、感光性樹脂組成物に含まれる金属酸化物の含有量を高めることにより、硬化膜の強度を高めることができる。
【０００８】
しかしながら、金属酸化物の含有量が高められた感光性樹脂組成物から形成される硬化膜は、良好な形状のパターンを形成することが難しいという問題がある。また、硬化膜においてはクラックが発生するという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、良好な形状の中空封止構造を形成可能であり、さらに高い強度を有する硬化膜を形成することができ、良好な形状のパターンを形成可能であり、クラックの発生を抑制可能であるネガ型感光性樹脂組成物、これを用いて形成された感光性樹脂膜を備える感光性レジストフィルム、及び、そのネガ型感光性樹脂組成物を用いた中空構造体の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、以下の態様を含む。
本発明の第１の態様は、エポキシ基含有化合物と、カチオン重合開始剤と、フィラーと、を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、前記エポキシ基含有化合物は、下記一般式（ａ０－１）で表される構成単位（ａ０）を有するノボラック型エポキシ樹脂を含み、前記フィラーの含有量は、前記ネガ型感光性樹脂組成物の総質量に対して６０質量％以上である、ネガ型感光性樹脂組成物である。
（【００１１】以降は省略されています）

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