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公開番号2024178702
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-25
出願番号2023097043
出願日2023-06-13
発明の名称研磨パッドのドレッシング条件設定方法、ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、研磨パッドのドレッシング条件設定装置およびウェーハの片面研磨装置
出願人株式会社SUMCO
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類B24B 53/017 20120101AFI20241218BHJP(研削;研磨)
要約【課題】所望の形状のウェーハを得られる研磨パッドのドレッシング条件設定方法を提供すること。
【解決手段】研磨パッドのドレッシング条件設定方法は、研磨パッドの表面における孔の開口径を取得する開口径取得工程と、研磨後のウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、相関情報に基づいて、研磨パッドのドレッシング条件を設定するドレッシング条件設定工程と、を備え、相関情報は、研磨パッドの開口径、ドレッシング条件、および、ドレッシング条件でドレッシングされた研磨パッドにより研磨されたウェーハの推定形状の相関を表し、ドレッシング条件設定工程は、相関情報と、開口径取得工程で取得された開口径と、目標形状取得工程で取得された目標形状と、に基づいて、研磨後のウェーハの形状を目標形状にするためのドレッシング条件を設定する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの片面研磨に用いられるスウェードタイプの研磨パッドのドレッシング条件設定方法であって、
前記研磨パッドの表面における孔の開口径を取得する開口径取得工程と、
研磨後の前記ウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、
相関情報に基づいて、前記研磨パッドのドレッシング条件を設定するドレッシング条件設定工程と、を備え、
前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、ドレッシング条件、および、前記ドレッシング条件でドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨された前記ウェーハの推定形状の相関を表し、
前記ドレッシング条件設定工程は、前記相関情報と、前記開口径取得工程で取得された前記開口径と、前記目標形状取得工程で取得された前記目標形状と、に基づいて、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするための前記ドレッシング条件を設定する、研磨パッドのドレッシング条件設定方法。
続きを表示（約 2,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の研磨パッドのドレッシング条件設定方法において、
前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、互いに異なる複数のドレッシング条件、および、前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨された前記ウェーハの推定形状の相関を表し、
前記ドレッシング条件設定工程は、
前記相関情報に基づいて、前記開口径取得工程で前記開口径が取得された前記研磨パッドを前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングした場合の前記ウェーハの推定形状を求め、
当該求められた前記推定形状から前記目標形状に最も近い前記推定形状を選択し、
当該選択された前記推定形状に対応する前記ドレッシング条件を、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするためのドレッシング条件として設定する、研磨パッドのドレッシング条件設定方法。
【請求項３】
ウェーハを当該ウェーハよりも大きいスウェードタイプの研磨パッドに押し付けて、前記ウェーハおよび前記研磨パッドを回転させることにより、前記ウェーハを研磨するウェーハの片面研磨方法であって、
請求項１または請求項２に記載の研磨パッドのドレッシング条件設定方法により、前記研磨パッドのドレッシング条件を設定する工程と、
前記ドレッシング条件で前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング工程と、
前記ドレッシングされた前記研磨パッドにより、前記ウェーハを研磨する研磨工程と、を備える、ウェーハの片面研磨方法。
【請求項４】
請求項３に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記ドレッシング工程は、ブラシを前記研磨パッドに押し付けつつ、前記ブラシおよび前記研磨パッドのうち少なくとも一方の部材を移動させることにより、前記研磨パッドをドレッシングする、ウェーハの片面研磨方法。
【請求項５】
請求項４に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記ドレッシング工程は、前記研磨パッドを回転させつつ、前記ブラシを前記研磨パッドの中央から外周部に、または、前記外周部から前記中央に移動させることにより、前記研磨パッドをドレッシングする、ウェーハの片面研磨方法。
【請求項６】
請求項４に記載のウェーハの片面研磨方法において、
前記ドレッシング条件設定工程は、前記開口径取得工程で取得された前記研磨パッドの前記開口径および前記目標形状取得工程で取得された前記ウェーハの前記目標形状のうち少なくとも一方に応じて、前記研磨パッドに対する前記ブラシの押し付け量およびドレッシング回数のうち少なくとも一方が異なる前記ドレッシング条件を設定する、ウェーハの片面研磨方法。
【請求項７】
ウェーハの製造方法であって、
前記ウェーハを仕上げ加工する仕上げ工程を備え、
前記仕上げ工程において、請求項３に記載のウェーハの片面研磨方法により、前記ウェーハを研磨する、ウェーハの製造方法。
【請求項８】
ウェーハの片面研磨に用いられるスウェードタイプの研磨パッドのドレッシング条件設定装置であって、
前記研磨パッドの表面における孔の開口径および研磨後の前記ウェーハの目標形状を取得する情報取得部と、
相関情報に基づいて、前記研磨パッドのドレッシング条件を設定するドレッシング条件設定部と、を備え、
前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、ドレッシング条件、および、前記ドレッシング条件でドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨された前記ウェーハの推定形状の相関を表し、
前記ドレッシング条件設定部は、前記相関情報と、前記情報取得部で取得された前記開口径および前記目標形状と、に基づいて、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするための前記ドレッシング条件を設定する、研磨パッドのドレッシング条件設定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の研磨パッドのドレッシング条件設定装置において、
前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、互いに異なる複数のドレッシング条件、および、前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨されたウェーハの推定形状の相関を表し、
前記ドレッシング条件設定部は、
前記相関情報に基づいて、前記情報取得部で前記開口径が取得された前記研磨パッドを前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングした場合の前記ウェーハの推定形状を求め、
当該求められた前記推定形状から前記目標形状に最も近い前記推定形状を選択し、
当該選択された前記推定形状に対応する前記ドレッシング条件を、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするためのドレッシング条件として設定する、研磨パッドのドレッシング条件設定装置。
【請求項１０】
研磨ヘッドに保持されたウェーハを当該ウェーハよりも大きいスウェードタイプの研磨パッドに押し付けて、前記研磨ヘッドおよび前記研磨パッドを回転させることにより、前記ウェーハを研磨するウェーハの片面研磨装置であって、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング部と、
前記研磨ヘッドおよび前記研磨パッドを回転させる回転駆動部と、
前記研磨パッドのドレッシング条件を設定する請求項８または請求項９に記載のドレッシング条件設定装置と、
前記ドレッシング部を制御して、前記ドレッシング条件で前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング制御部と、
前記回転駆動部を制御して、前記ドレッシングされた前記研磨パッドにより、前記ウェーハを研磨する研磨制御部と、を備える、ウェーハの片面研磨装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨パッドのドレッシング条件設定方法、ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、研磨パッドのドレッシング条件設定装置およびウェーハの片面研磨装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
研磨パッドを用いてウェーハの片面を研磨するに際し、研磨パッドの表面の物性が取り代に影響を与えることが知られている。このような影響に対応するための技術として、表面粗さと圧縮率の比が特定範囲の研磨パッドを用いることにより、研磨後のウェーハの品質を安定させる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。他の技術として、研磨布の表面の位置に応じて表面形状の修正量を変えることにより、ウェーハに作用する圧力の偏りを是正するように研磨布の表面形状を修正する技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１４２４３７号公報
特開２００２－１８７０５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特にウェーハ周辺部のＥＳＦＱＤ（Edge Site flatness Front reference least sQuare Deviation）のような、ウェーハの形状の精度に対する要求が高くなるにつれて、特許文献１，２に記載の技術のように、表面粗さと圧縮率の比が特定範囲の研磨パッドを用いたり、研磨布全体の表面形状を均一したりするだけでは、所望の形状のウェーハを得ることが困難になってきている。
【０００５】
本発明は、所望の形状のウェーハを得られる研磨パッドのドレッシング条件設定方法、ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、研磨パッドのドレッシング条件設定装置およびウェーハの片面研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の研磨パッドのドレッシング条件設定方法は、ウェーハの片面研磨に用いられるスウェードタイプの研磨パッドのドレッシング条件設定方法であって、前記研磨パッドの表面における孔の開口径を取得する開口径取得工程と、研磨後の前記ウェーハの目標形状を取得する目標形状取得工程と、相関情報に基づいて、前記研磨パッドのドレッシング条件を設定するドレッシング条件設定工程と、を備え、前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、ドレッシング条件、および、前記ドレッシング条件でドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨された前記ウェーハの推定形状の相関を表し、前記ドレッシング条件設定工程は、前記相関情報と、前記開口径取得工程で取得された前記開口径と、前記目標形状取得工程で取得された前記目標形状と、に基づいて、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするための前記ドレッシング条件を設定する。
【０００７】
本発明の研磨パッドのドレッシング条件設定方法において、前記相関情報は、前記研磨パッドの前記開口径、互いに異なる複数のドレッシング条件、および、前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングされた前記研磨パッドにより研磨された前記ウェーハの推定形状の相関を表し、前記ドレッシング条件設定工程は、前記相関情報に基づいて、前記開口径取得工程で前記開口径が取得された前記研磨パッドを前記複数のドレッシング条件でそれぞれドレッシングした場合の前記ウェーハの推定形状を求め、当該求められた前記推定形状から前記目標形状に最も近い前記推定形状を選択し、当該選択された前記推定形状に対応する前記ドレッシング条件を、前記研磨後のウェーハの形状を前記目標形状にするためのドレッシング条件として設定する、ことが好ましい。
【０００８】
本発明のウェーハの片面研磨方法は、ウェーハを当該ウェーハよりも大きいスウェードタイプの研磨パッドに押し付けて、前記ウェーハおよび前記研磨パッドを回転させることにより、前記ウェーハを研磨するウェーハの片面研磨方法であって、上述の研磨パッドのドレッシング条件設定方法により、前記研磨パッドのドレッシング条件を設定する工程と、前記ドレッシング条件で前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング工程と、前記ドレッシングされた前記研磨パッドにより、前記ウェーハを研磨する研磨工程と、を備える。
【０００９】
本発明のウェーハの片面研磨方法において、前記ドレッシング工程は、ブラシを前記研磨パッドに押し付けつつ、前記ブラシおよび前記研磨パッドのうち少なくとも一方の部材を移動させることにより、前記研磨パッドをドレッシングする、ことが好ましい。
【００１０】
本発明のウェーハの片面研磨方法において、前記ドレッシング工程は、前記研磨パッドを回転させつつ、前記ブラシを前記研磨パッドの中央から外周部に、または、前記外周部から前記中央に移動させることにより、前記研磨パッドをドレッシングする、ことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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