特許ウォッチ

公開番号2024176206
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023094579
出願日2023-06-08
発明の名称高出力レーザ用反射ミラー
出願人三菱電機株式会社
代理人個人
主分類G02B 5/08 20060101AFI20241212BHJP(光学)
要約【課題】ミラーに接する保持機構での熱吸収を軽減することができる高出力レーザ用反射ミラーを得ること。
【解決手段】高出力レーザ用反射ミラー10は、ウェッジ基板1と、ウェッジ基板1の光が入射する側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射し特定の反射率入射角特性を持つ第1のコーティング膜2と、ウェッジ基板1の光が入射する側の面と反対側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射する第2のコーティング膜3とを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェッジ基板と、
前記ウェッジ基板の光が入射する側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射し特定の反射率入射角特性を持つ第１のコーティング膜と、
前記ウェッジ基板の前記光が入射する側の面と反対側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射する第２のコーティング膜と
を備えることを特徴とする高出力レーザ用反射ミラー。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記ウェッジ基板は、不要光を任意の方向へ反射する
ことを特徴とする請求項１に記載の高出力レーザ用反射ミラー。
【請求項３】
チップチルトミラーマウントと、
不要な反射光を吸収するビームダンパと
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の高出力レーザ用反射ミラー。
【請求項４】
前記ビームダンパは、前記第１のコーティング膜の前面に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の高出力レーザ用反射ミラー。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、高出力レーザ用反射ミラーに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のチップチルトミラーは、一般的に、ミラーとチップチルトマウントとで構成される。ミラーの入射面には、全反射膜が施されている。通常、ミラーの裏面は、粗し面又は研磨面となっており、この裏面とチップチルトマウントとは接着されている。このため、裏面からの透過光は裏面とチップチルトマウントとの接着面に入射し、殆どの光は熱に変換される。特許文献１は、誘電多層膜構造を有する赤外遮蔽フィルムを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６１１２１１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のチップチルトミラーの全反射膜の透過量は約１０００ｐｐｍであって、全反射膜の吸収量は１０ｐｐｍ以下であるので、全反射膜の透過量は全反射膜の吸収量に対して約２桁大きい。そのため、全反射膜を透過した全ての光が接着面で吸収されると、反射面に大きな熱歪みが発生し、レーザ光のビーム品質が劣化することが懸念される。また、チップチルトマウントの中心部を空洞化することは難しく、ミラーに入射した光を裏面側から抜き出す従来の熱歪み軽減方法を使用することは困難である。
【０００５】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、ミラーに接する保持機構での熱吸収を軽減することができる高出力レーザ用反射ミラーを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示に係る高出力レーザ用反射ミラーは、ウェッジ基板と、ウェッジ基板の光が入射する側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射し特定の反射率入射角特性を持つ第１のコーティング膜と、ウェッジ基板の光が入射する側の面と反対側の面に形成されていて任意の波長のレーザ光を反射する第２のコーティング膜とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示に係る高出力レーザ用反射ミラーは、ミラーに接する保持機構での熱吸収を軽減することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態に係る高出力レーザ用反射ミラーの外観を模式的に示す図
実施の形態に係る高出力レーザ用反射ミラーが有する第１のコーティング膜の反射率入射角特性の例を示す図
実施の形態に係る高出力レーザ用反射ミラーのウェッジ角度と光線の進行角度とを説明するための図
実施例を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、実施の形態に係る高出力レーザ用反射ミラーを図面に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
実施の形態．
図１は、実施の形態に係る高出力レーザ用反射ミラー１０の外観を模式的に示す図である。高出力レーザ用反射ミラー１０は、ウェッジミラーである。高出力レーザ用反射ミラー１０は、ウェッジ基板１と、ウェッジ基板１の光が入射する側の面に形成されている第１のコーティング膜２とを有する。第１のコーティング膜２は、任意の波長のレーザ光を反射し特定の反射率入射角特性を持つ。高出力レーザ用反射ミラー１０は、ウェッジ基板１の光が入射する側の面と反対側の面に形成されている第２のコーティング膜３を更に有する。第２のコーティング膜３は、任意の波長のレーザ光を反射する。ウェッジ基板１は、不要光を任意の方向へ反射する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許