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公開番号2024175380
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2023093122
出願日2023-06-06
発明の名称回転塗布装置
出願人全智新系統科技股分有限公司
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B05C 11/08 20060101AFI20241211BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】蓋体と回転テーブルを同期回転することにより、塗料を該被塗布体の表面に均一な厚さで塗布できる回転塗布装置を提供する。
【解決手段】回転テーブル1は、被塗布体7を載置して位置決めするためのチャンバ12を囲み、蓋体2は、チャンバを覆うように回転テーブルに覆設され、磁気機構は、第1磁気部材31及び第2磁気部材32を有し、第1磁気部材と第2磁気部材の一方が回転テーブルに設けられ、他方が蓋体に設けられ、蓋体が回転テーブルに覆設されるときに、第1磁気部材と第2磁気部材との間に磁力作用が発生し、蓋体を回転テーブルに固定させて同一の回転関係を形成する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
回転塗布装置であって、
被塗布体を載置して位置決めするためのチャンバを囲む回転テーブルと、
前記チャンバを覆うように前記回転テーブルに覆設される蓋体と、
第１磁気部材及び第２磁気部材を有し、前記第１磁気部材と前記第２磁気部材の一方が前記回転テーブルに設けられ、他方が前記蓋体に設けられ、前記蓋体が前記回転テーブルに覆設されるときに、前記第１磁気部材と前記第２磁気部材との間に磁力作用が発生し、前記蓋体を前記回転テーブルとともに回転可能にする磁気機構と、を含む、
回転塗布装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１磁気部材と前記第２磁気部材は前記回転テーブルと前記蓋体の互いに対向する側にそれぞれ設けられる、請求項１に記載の回転塗布装置。
【請求項３】
前記蓋体が前記回転テーブルに覆設されるときに、前記第１磁気部材と前記第２磁気部材は互いに当接して接触する、請求項２に記載の回転塗布装置。
【請求項４】
前記回転テーブルの前記蓋体に対向する側の外周縁には第１凹溝が凹設され、前記蓋体の前記回転テーブルに対向する側の外周縁には第２凹溝が凹設され、前記第１磁気部材と前記第２磁気部材の一方が前記第１凹溝に嵌め込まれ、他方が前記第２凹溝に嵌め込まれる、請求項２に記載の回転塗布装置。
【請求項５】
前記第１凹溝及び前記第２凹溝はそれぞれリング状であり、前記第１磁気部材及び前記第２磁気部材はそれぞれリング状の帯状である、請求項４に記載の回転塗布装置。
【請求項６】
前記第１磁気部材と前記第２磁気部材は前記回転テーブルと前記蓋体の互いに反対側にそれぞれ設けられ、前記蓋体が前記回転テーブルに覆設されるときに、前記第１磁気部材と前記第２磁気部材とは間隔を置いて配置される、請求項１に記載の回転塗布装置。
【請求項７】
前記第１磁気部材と前記第２磁気部材は前記回転テーブルと前記蓋体の互いに反対側にそれぞれ板状に貼り付けられる、請求項６に記載の回転塗布装置。
【請求項８】
収集ボウルをさらに有し、前記収集ボウルは内部空間を囲み、前記回転テーブルは前記収集ボウルに対して回転可能に前記内部空間に収容され、前記回転テーブルには前記チャンバと前記内部空間とを連通する複数の排出孔が貫通される、請求項１に記載の回転塗布装置。
【請求項９】
前記内部空間は連通する配置領域と液体収集領域を有し、前記回転テーブルは前記配置領域に位置し、前記複数の排出孔は前記液体収集領域に連通し、前記液体収集領域は前記チャンバから排出された塗布液体を受けることに用いられる、請求項８に記載の回転塗布装置。
【請求項１０】
前記収集ボウルは少なくとも１つの排液通路をさらに有し、前記少なくとも１つの排液通路は前記液体収集領域と外部とを連通する、請求項９に記載の回転塗布装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布技術に関し、特に回転塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
回転塗布機は塗布、塗膜加工のための専用の機械である。その用途は、電子製品、光学製品、自動車製品、医療機器又はガラス製品等に広く用いられるがこれらに限定されず、回転塗布機の原理は、回転作用力により被塗布物の表面に位置する塗料を拡散させることで、塗料が被塗布物の表面に一層の均一なコーティングを均一に形成することである。
【０００３】
塗料層の品質に影響を与える要因は様々であり、例えば、回転速度、塗料の流量、回転時間等の一般的な要因がコーティングの厚さや均一性に影響を与える。しかしながら、上記３つの要因以外にその他の干渉要因があるため、上記課題を解決するために、新規且つ進歩性のある回転塗布装置を提供する必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の主な目的は、蓋体がチャンバを覆い、チャンバ内のガスが一緒に覆われて同期して回転することにより、ガス乱流等の影響を排除し、且つ、磁気相互作用の原理によって運動エネルギーを変換し、蓋体が回転テーブルとともに同時に回転し、完成品の品質を向上させる回転塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、回転テーブルと、蓋体と、磁気機構とを含む回転塗布装置を提供する。該回転テーブルは、被塗布体を載置して位置決めするためのチャンバを囲み、該蓋体は、該チャンバを覆うように該回転テーブルに覆設可能に設けられ、該磁気機構は、第１磁気部材及び第２磁気部材を有し、該第１磁気部材と該第２磁気部材の一方が該回転テーブルに設けられ、他方が該蓋体に設けられ、該蓋体が該回転テーブルに覆設されるときに、該第１磁気部材と該第２磁気部材との間に磁力作用が発生し、該蓋体を該回転テーブルとともに回転可能にする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
本発明の第１実施例の斜視図である。
図１の分解図である。
本発明の第１実施例の収集ボウルの斜視図である。
本発明の第１実施例の断面図である。
図４の部分拡大図である。
本発明の第２実施例の分解図である。
本発明の第２実施例の部分断面拡大図である。
本発明の第３実施例の部分断面拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下の実施例は、本発明の可能な実施形態を説明するためのものであり、本発明の保護範囲を制限するためのものではない。最初に説明するように、明細書に言及される名詞の前の「１つ」又は「少なくとも１つ」は数を制限するものではなく、必要に応じて「複数」とすることもでき、この数の変更は保護範囲に属する。
【０００８】
図１～図５は本発明の第１実施例を示しており、本発明の回転塗布装置は、回転テーブル１と、蓋体２と、磁気機構３とを含む。
【０００９】
該回転テーブル１は、被塗布体７（例えばウェハー、ガラスディスク等）を載置して位置決めするためのチャンバ１２を囲み、使用の際に、該被塗布体７の表面に塗料（例えばフォトレジスト液）を設置する。該蓋体２は、該チャンバ１２を覆うように該回転テーブル１に覆設される。該磁気機構３は、第１磁気部材３１及び第２磁気部材３２を有し、該第１磁気部材３１と該第２磁気部材３２の一方が該回転テーブル１に設けられ、他方が該蓋体２に設けられ、該蓋体２が該回転テーブル１に覆設されるときに、該第１磁気部材３１と該第２磁気部材３２との間に磁力作用が発生し、該蓋体２を該回転テーブル１とともに回転可能にする。
【００１０】
該回転テーブル１、該蓋体２、該第１磁気部材３１及び該第２磁気部材３２は、重心を配置して全体のバランスを把握しやすくするために同軸に配置される。例えば、該第１磁気部材３１と該第２磁気部材３２との間に磁気吸引力が発生し、回転するときに、該蓋体２は該回転テーブル１に円滑に吸着されて遠心力の作用に抗し、任意に揺れることなく同期回転するという目的を達成し、塗料を該被塗布体７の表面に均一に（均一な厚さで）塗布できるようにする。
（【００１１】以降は省略されています）

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