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公開番号2024170654
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-10
出願番号2024160892,2022546865
出願日2024-09-18,2020-11-02
発明の名称基板搬送ロボットシステム
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241203BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】配線の複雑化およびアームの大型化(基板搬送ロボットの大型化)を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムを提供する。
【解決手段】基板搬送ロボットシステム100において、基板搬送ロボット1は、基板保持ハンド20に設けられるハンド用センサ22と、基板保持ハンド20に設けられ、ハンド用センサ22に接続されるハンド回路基板23と、を含み、ロボット制御部2とハンド回路基板23との間は、アーム10内部のアーム回路基板12、13を介して、シリアル通信接続されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットを制御するロボット制御部とを備え、
前記基板搬送ロボットは、
アームと、
前記アームによって移動されるとともに前記アームに対して回動可能に接続され、基板を支持するブレードを含む基板保持ハンドと、
前記基板保持ハンドに設けられるハンド用センサと、
前記基板保持ハンドに設けられ、前記ハンド用センサに接続されるハンド回路基板と、を含み、
前記ロボット制御部と前記ハンド回路基板との間は、前記アームの内部、および、前記基板保持ハンドと前記アームとが相対的に可動する可動部に設けられた筒状の部材を介して、シリアル通信接続されている、基板搬送ロボットシステム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記アームに設けられるアーム用センサと、
前記アームに設けられ、前記アーム用センサと前記ハンド用センサとのうちの少なくとも一方に接続されるアーム回路基板とをさらに備え、
前記ロボット制御部と、前記アーム回路基板と、前記ハンド回路基板との間は、前記アームの内部を介して、デイジーチェーン接続によりシリアル通信接続されている、請求項１に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項３】
前記ロボット制御部と、前記アーム回路基板と、前記ハンド回路基板との間は、前記アームの内部、および、前記基板保持ハンドと前記アームとが相対的に可動する前記可動部を介して、前記デイジーチェーン接続によりシリアル通信接続されている、請求項２に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項４】
前記アームは、一方端部を回動中心として回動可能に構成された第１アームと、一方端部が前記第１アームの他方端部に回動可能に接続され、前記第１アームに対して回動可能に構成されるとともに前記基板保持ハンドが接続される第２アームとを含み、
前記アーム回路基板は、前記第１アームと前記第２アームとのうちの少なくとも一方に設けられている、請求項２に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項５】
前記アーム回路基板は、前記第１アームに設けられる第１アーム回路基板と、前記第２アームに設けられる第２アーム回路基板とを含む、請求項４に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項６】
前記アーム用センサは、アナログセンサを含み、
前記第１アーム回路基板と前記第２アーム回路基板とのうちの少なくとも一方は、前記アナログセンサからの信号が入力されるアナログ入力回路基板を含む、請求項５に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項７】
前記アナログセンサは、前記アームの関節に設けられるモータの回転以外を検知するセンサである、請求項６に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項８】
前記アナログセンサは、温度センサと、加速度センサと、圧力センサとのうちの少なくとも１つを含む、請求項７に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項９】
前記第２アーム回路基板は、前記ハンド用センサに接続され前記ハンド用センサとの間で信号を送受信するデジタル入出力回路基板を含む、請求項５に記載の基板搬送ロボットシステム。
【請求項１０】
前記第２アームに設けられ、前記デジタル入出力回路基板との間で信号を送受信し、前記基板保持ハンドに設けられるシリンダに送られる空気を調整する電磁バルブをさらに備える、請求項９に記載の基板搬送ロボットシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板搬送ロボットシステムに関し、特に、基板保持ハンドに設けられるハンド用センサを備える基板搬送ロボットシステムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ハンドを備える基板搬送ロボットが知られている。このような、基板搬送ロボットは、たとえば、特開２０１３－６９９１４号公報に開示されている。
【０００３】
特開２０１３－６９９１４号公報には、水平多関節ロボットから構成される基板搬送ロボットが開示されている。この基板搬送ロボットは、基台と、基台に接続され水平面内において回転するアームと、アームに接続され水平面内で回転する基板搬送ハンドとを備えている。また、基板搬送ロボットには、制御装置が接続されている。制御装置は、基板搬送ロボットの起動や停止の動作を制御する。これにより、基板搬送ロボットによって基板が搬送される。
【０００４】
また、特開２０１３－６９９１４号公報には明記されていないが、特開２０１３－６９９１４号公報に記載のような従来の基板搬送ロボットでは、基板搬送ハンドに保持された基板を検知するためのセンサが基板搬送ハンドに設けられている場合がある。この場合、センサからの信号は、アームの内部を介する配線によって制御装置に送信される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１３－６９９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記センサが設けられている基板搬送ロボットにおいて、センサの各々からアームの内部を介してロボット制御部と通信する場合、センサの数の分の配線が、基板保持ハンドからアームの内部を介して制御装置側に挿通される。このため、配線が複雑化するとともに、アームの内部を比較的大きくする必要があり、基板搬送ロボットが大型化するという問題点がある。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、配線の複雑化およびアームの大型化（基板搬送ロボットの大型化）を抑制することが可能な基板搬送ロボットシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による基板搬送ロボットシステムは、基板搬送ロボットと、基板搬送ロボットを制御するロボット制御部とを備え、基板搬送ロボットは、アームと、アームによって移動されるとともにアームに対して回動可能に接続され、基板を支持するブレードを含む基板保持ハンドと、基板保持ハンドに設けられるハンド用センサと、基板保持ハンドに設けられ、ハンド用センサに接続されるハンド回路基板と、を含み、ロボット制御部とハンド回路基板との間は、アームの内部、および、基板保持ハンドとアームとが相対的に可動する可動部に設けられた筒状の部材を介して、シリアル通信接続されている。
【０００９】
この発明の一の局面による基板搬送ロボットシステムでは、上記のように、ロボット制御部と、ハンド用センサに接続されるハンド回路基板との間は、アームの内部を介して、シリアル通信接続されている。これにより、ロボット制御部とハンド回路基板とをシリアル通信接続するための比較的少ない数の配線によって、ハンド用センサとロボット制御部との通信を行うことができる。なお、ハンド用センサが複数設けられた場合でも、複数のハンド用センサとハンド回路基板との間は、複数の配線によって接続される一方、ロボット制御部とハンド回路基板との間は、比較的少ない数の配線によって通信される。その結果、配線が少ない分、配線の複雑化およびアームの大型化（基板搬送ロボットの大型化）を抑制することができる。
【００１０】
また、ハンド用センサとハンド回路基板との間の配線の長さが比較的短くなるので、配線が長くなることに起因して外部からのノイズの影響が大きくなるのを抑制することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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