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公開番号2024169909
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-06
出願番号2023086770
出願日2023-05-26
発明の名称慣性センサーモジュール、慣性計測装置、および電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01C 19/5607 20120101AFI20241129BHJP(測定;試験)
要約【課題】外的変動が生じた場合でも、検出精度の信頼性が低下することを抑制できる慣性センサーモジュールを提供すること。
【解決手段】慣性センサーモジュール100は、第1軸の物理量としてのZ軸回りの角速度を検出する第1慣性センサーとしての第1慣性センサー1と、Z軸回りの角速度を検出する第2慣性センサー2と、第1慣性センサー1と第2慣性センサー2とを搭載する第1領域41、第1領域41を囲む第2領域42、および第1領域41と第2領域42との間に、第1領域41を囲むように設けられた複数のスリットとしてのスリット51,52,53,54を有する基板4と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、
前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、
前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１領域、前記第１領域を囲む第２領域、および前記第１領域と前記第２領域との間に、前記第１領域を囲むように設けられた複数のスリットを有する基板と、を備える、
慣性センサーモジュール。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記基板は、前記第２領域に設けられた外部接続部を有する、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項３】
前記基板は、前記第２領域に設けられ、前記第１慣性センサーの第１検出信号及び前記第２慣性センサーの第２検出信号を処理する処理装置を有する、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項４】
前記複数のスリットは、前記第１慣性センサーおよび前記第２慣性センサーの四方を囲むように設けられる、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項５】
前記基板は、
前記複数のスリットの間に設けられた複数の支持部を有し、
前記複数の支持部は、前記第１慣性センサーおよび前記第２慣性センサーの三方または四方を囲むように設けられる、
請求項１に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項６】
前記複数のスリットは、第１スリット、第２スリット、第３スリット、および第４スリットを含み、
前記複数の支持部は、
前記第１スリットと前記第２スリットとの間に設けられた第１支持部と、
前記第２スリットと前記第３スリットとの間に設けられた第２支持部と、
前記第３スリットと前記第４スリットとの間に設けられた第３支持部と、
前記第４スリットと前記第１スリットとの間に設けられた第４支持部と、を含む、
請求項５に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項７】
前記複数のスリットは、第１スリット、第２スリット、および第３スリットを含み、
前記複数の支持部は、
前記第１スリットと前記第２スリットとの間に設けられた第１支持部と、
前記第２スリットと前記第３スリットとの間に設けられた第２支持部と、
前記第３スリットと前記第１スリットとの間に設けられた第３支持部と、を含む、
請求項５に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項８】
第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、
前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、
前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１領域、前記第１領域を囲む第２領域、前記第１領域と前記第２領域との間で前記第１領域を囲む第３領域、前記第１領域と前記第３領域との間に、前記第１領域を囲むように設けられた第１の複数のスリット、および前記第３領域と前記第２領域との間に、前記第３領域を囲むように設けられた第２の複数のスリットを有する基板と、を備える、
慣性センサーモジュール。
【請求項９】
前記基板は、前記第２領域に設けられた外部接続部を有する、
請求項８に記載の慣性センサーモジュール。
【請求項１０】
前記基板は、前記第２領域に設けられ、前記第１慣性センサーの第１検出信号及び前記第２慣性センサーの第２検出信号を処理する処理装置を有する、
請求項８に記載の慣性センサーモジュール。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、慣性センサーモジュール、当該慣性センサーモジュールを備えた慣性計測装置、および当該慣性センサーモジュールを備えた電子機器に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
加速度や角速度などを測定する慣性センサーモジュールとしては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
特許文献１には、３軸の角速度センサーと３軸の加速度センサーとを収納する多軸の慣性センサー、１軸の角速度センサー、およびコネクターを搭載した回路基板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１５８４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような慣性センサーモジュールには、温度変化などの外的変動が生じた場合に、検出精度の信頼性が担保されることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の一態様に係る慣性センサーモジュールは、第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１領域、前記第１領域を囲む第２領域、および前記第１領域と前記第２領域との間に、前記第１領域を囲むように設けられた複数のスリットを有する基板と、を備える。
【０００６】
本願の一態様に係る慣性センサーモジュールは、第１軸の物理量を検出する第１慣性センサーと、前記第１軸の物理量を検出する第２慣性センサーと、前記第１慣性センサーと前記第２慣性センサーとを搭載する第１領域、前記第１領域を囲む第２領域、前記第１領域と前記第２領域との間で前記第１領域を囲む第３領域、前記第１領域と前記第３領域との間に、前記第１領域を囲むように設けられた第１の複数のスリット、および前記第３領域と前記第２領域との間に、前記第３領域を囲むように設けられた第２の複数のスリットを有する基板と、を備える。
【０００７】
本願の一態様に係る慣性計測装置は、上記に記載の慣性センサーモジュールを備える。
【０００８】
本願の一態様に係る電子機器は、上記に記載の慣性センサーモジュールを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態１に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
実施形態１に係る慣性センサーモジュールの平面図。
図１のＡ－Ａ線に沿う慣性センサーモジュールの断面図。
図１のＡ－Ａ線に沿う慣性センサーモジュールの断面図。
変形例１に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例２に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例３に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例４に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例５に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例６に係る慣性センサーモジュールの平面図。
慣性センサーモジュールのブロック図。
実施形態２に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
実施形態２に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例７に係る慣性センサーモジュールの平面図。
変形例８に係る慣性センサーモジュールの平面図。
実施形態３に係る慣性計測装置の斜視図。
実施形態３に係る慣性計測装置の斜視図。
実施形態３に係る慣性計測装置の分解斜視図。
実施形態３に係る慣性センサーモジュールの斜視図。
実施形態４に係る電子機器の斜視図。
実施形態４に係る電子機器の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、以下の各図面では、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
また、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に平行な方向をＸ軸方向、Ｙ軸に平行な方向をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向をＺ軸方向とも言う。また、各軸の矢印方向先端側をプラス側とも言い、反対側をマイナス側とも言う。また、Ｚ軸方向に見ることを平面視とも言い、Ｚ軸を含む断面に対してＹ軸方向から見ることを断面視とも言う。
（【００１１】以降は省略されています）

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