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公開番号2024169153
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023086381
出願日2023-05-25
発明の名称炭化珪素半導体装置
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 25/07 20060101AFI20241128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】パッド間の電位差を小さくできる炭化珪素半導体装置を提供する。
【解決手段】炭化珪素半導体装置は、第1主面と、前記第1主面と反対の第2主面とを有する炭化珪素基板と、前記第1主面の上に設けられる電極と、前記電極の上に設けられ、主電流が流れる第1パッドと、前記電極の上に設けられ、前記電極の電位を検出するための第2パッドと、前記第1パッドと前記第2パッドとを電気的に接続するボンディングワイヤと、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面と、前記第１主面と反対の第２主面とを有する炭化珪素基板と、
前記第１主面の上に設けられる電極と、
前記電極の上に設けられ、主電流が流れる第１パッドと、
前記電極の上に設けられ、前記電極の電位を検出するための第２パッドと、
前記第１パッドと前記第２パッドとを電気的に接続するボンディングワイヤと、
を備える、炭化珪素半導体装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記第２パッドは、絶縁膜によって前記第１パッドから隔てられるように設けられる、
請求項１に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項３】
前記ボンディングワイヤは、第１端と、前記第１端と反対の第２端と、前記第１端と前記第２端との間の中間部とを有し、
前記中間部が前記第１パッドまたは前記第２パッドに接合される、
請求項１または請求項２に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項４】
前記第１パッドに接合される金属板を更に備え、
前記ボンディングワイヤは、第１端と、前記第１端と反対の第２端と、前記第１端と前記第２端との間の中間部とを有し、
前記中間部が前記第２パッドまたは前記金属板に接合される、
請求項１または請求項２に記載の炭化珪素半導体装置。
【請求項５】
第１主面と、前記第１主面と反対の第２主面とを有する炭化珪素基板と、
前記第１主面の上に設けられる電極と、
前記電極の上に設けられ、主電流が流れる第１パッドと、
前記電極の上に設けられ、前記電極の電位を検出するための第２パッドと、
前記第１パッドおよび前記第２パッドと接合される金属板と、
を備える、炭化珪素半導体装置。
【請求項６】
前記第１パッドと前記第２パッドとは、一体として形成される、
請求項５に記載の炭化珪素半導体装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、炭化珪素半導体装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
主電流が流れるソースパッドとは別に、ソース電位を検出するための基準電位パッドが設けられたスイッチング素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１７０８２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のスイッチング素子では、ソースパッドと基準電位パッドとの間の抵抗に起因してソースパッドと基準電位パッドとの間に電位差が生じる。
【０００５】
本開示は、パッド間の電位差を小さくできる炭化珪素半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の炭化珪素半導体装置は、第１主面と、前記第１主面と反対の第２主面とを有する炭化珪素基板と、前記第１主面の上に設けられる電極と、前記電極の上に設けられ、主電流が流れる第１パッドと、前記電極の上に設けられ、前記電極の電位を検出するための第２パッドと、前記第１パッドと前記第２パッドとを電気的に接続するボンディングワイヤと、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、パッド間の電位差を小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１実施形態に係る炭化珪素半導体装置を示す上面図である。
図２は、第１実施形態に係る炭化珪素半導体装置を示す断面図である。
図３は、第２実施形態に係る炭化珪素半導体装置を示す断面図である。
図４は、第３実施形態に係る炭化珪素半導体装置を示す断面図である。
図５は、第４実施形態に係る炭化珪素半導体装置を示す断面図である。
図６は、参考例に係る炭化珪素半導体装置を示す上面図である。
図７は、参考例に係る炭化珪素半導体装置を示す断面図である。
図８は、パッド間の距離とパッド間の電位差との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施するための形態について、以下に説明する。
【００１０】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。以下の説明では、同一または対応する要素には同一の符号を付し、それらについて同じ説明は繰り返さない。
（【００１１】以降は省略されています）

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