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公開番号2024168704
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-05
出願番号2023085596
出願日2023-05-24
発明の名称検査装置、検査方法、及びセラミックス焼結体の製造方法
出願人AGC株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 29/27 20060101AFI20241128BHJP(測定;試験)
要約【課題】欠陥を適切に検出する。
【解決手段】検査装置は、セラミックス焼結体Cの検査装置であって、セラミックス焼結体CにZ1方向に向けて超音波を照射する探触子と、探触子よりもZ1方向に設けられて、セラミックス焼結体Cを回転可能に支持し、Z2方向に移動不可能に位置が固定されている支持部40と、支持部40よりもZ1方向側に設けられて、セラミックス焼結体Cを回転可能に支持しつ、かつZ1方向に移動可能である可動支持部50と、を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
セラミックス焼結体の検査装置であって、
前記セラミックス焼結体に第１方向に向けて超音波を照射する探触子と、
前記探触子よりも前記第１方向に設けられて、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持し、前記第１方向と反対方向である第２方向に移動不可能に位置が固定されている支持部と、
前記支持部よりも前記第１方向側に設けられて、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持し、かつ前記第１方向に移動可能である可動支持部と、
を有する、検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記セラミックス焼結体が前記検査装置に取り付けられた状態において、前記支持部及び前記探触子は、前記セラミックス焼結体の中心よりも、前記第２方向側に位置しており、前記可動支持部は、前記セラミックス焼結体の中心よりも前記第１方向側に位置している、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記支持部は、複数設けられている、請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
それぞれの前記支持部は、前記第１方向に見て、前記探触子からの超音波が照射される位置を囲う位置に設けられている、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１方向に見て、前記セラミックス焼結体の表面の前記超音波が照射される照射位置が、それぞれの前記支持部を頂点とした多角形の重心に位置するように、前記支持部が配置されている、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記探触子として、縦波の超音波を照射する第１探触子と、横波の超音波及び表面波の超音波の少なくとも一方を照射する第２探触子とが設けられている、請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項７】
前記セラミックス焼結体が前記検査装置に取り付けられた状態において、前記第１探触子は、前記セラミックス焼結体の中心軸に沿った方向に、前記縦波の超音波を照射し、前記第２探触子は、前記セラミックス焼結体の中心軸に対して傾斜する方向に、前記横波の超音波及び表面波の超音波の少なくとも一方の超音波を照射する、請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記セラミックス焼結体を収納し、内部に溶媒が貯留される容器を更に含み、前記支持部及び前記可動支持部は、前記容器内に設けられる、請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項９】
セラミックス焼結体の検査方法であって、
探触子よりも第１方向に設けられて前記第１方向と反対方向である第２方向に移動不可能に位置が固定されている支持部と、前記支持部よりも前記第１方向側に設けられる可動支持部とによって、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持することと、
前記探触子から、前記第１方向に向けて、支持された前記セラミックス焼結体に超音波を照射することと、
を含む、
検査方法。
【請求項１０】
セラミックス成形体を焼結してセラミックス焼結体を得ることと、
請求項９に記載の検査方法により、前記セラミックス焼結体を検査することと、
を含む、
セラミックス焼結体の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、及びセラミックス焼結体の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
セラミックス焼結体に対して、気孔などの欠陥の有無を検査する場合がある。例えば特許文献１には、窒化ケイ素玉を玉保持部に回転可能に取り付けて、窒化ケイ素玉を回転させつつ、超音波探傷用の探触子から窒化ケイ素玉に超音波を照射することで、窒化ケイ素玉の探傷を行う旨が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭６３－２４３７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、セラミックス焼結体の表面は、完全に滑らかではなく、凹凸が存在している場合がある。従って、セラミックス焼結体を回転させることで、探触子に対する、セラミックス焼結体の表面における超音波が照射される位置がずれてしまい、欠陥を適切に検出できなくなるおそれがある。
【０００５】
本発明は、欠陥を適切に検出可能な検査装置、検査方法、及びセラミックス焼結体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る検査装置は、セラミックス焼結体の検査装置であって、前記セラミックス焼結体に第１方向に向けて超音波を照射する探触子と、前記探触子よりも前記第１方向に設けられて、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持し、前記第１方向と反対方向である第２方向に移動不可能に位置が固定されている支持部と、前記支持部よりも前記第１方向側に設けられて、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持し、かつ前記第１方向に移動可能である可動支持部と、を有する。
【０００７】
本開示に係る検査方法は、セラミックス焼結体の検査方法であって、探触子よりも第１方向に設けられて前記第１方向と反対方向である第２方向に移動不可能に位置が固定されている支持部と、前記支持部よりも前記第１方向側に設けられる可動支持部とによって、前記セラミックス焼結体を回転可能に支持することと、前記探触子から、前記第１方向に向けて、支持された前記セラミックス焼結体に超音波を照射することと、を含む。
【０００８】
本開示に係るセラミックス焼結体の製造方法は、セラミックス成形体を焼結してセラミックス焼結体を得ることと、前記検査方法により、前記セラミックス焼結体を検査することと、を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、欠陥を適切に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、本実施形態に係るセラミックス焼結体の模式図である。
図２は、本実施形態に係る検査装置の模式図である。
図３は、本実施形態に係る検査装置の模式図である。
図４は、支持部の位置を説明する模式図である。
図５は、検査制御装置の模式的なブロック図である。
図６は、反射波の一例を示すグラフである。
図７は、反射波の強度の標準偏差の一例を示すグラフである。
図８は、セラミックス焼結体の製造方法を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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