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公開番号2024159040
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023074771
出願日2023-04-28
発明の名称光検出装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01J 3/26 20060101AFI20241031BHJP(測定;試験)
要約【課題】迷光が光検出器に入射するのを抑制することができる光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置1は、開口20を有するパッケージ2と、開口20を塞いでいる光透過部16と、パッケージ2内に配置されており、方向Aにおいて互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタ10と、パッケージ2内に配置された光検出器8と、パッケージ2外に位置している第1アパーチャ50を有する第1アパーチャ部51と、パッケージ2外に位置している第2アパーチャ60を有する第2アパーチャ部61と、を備える。第2アパーチャ60側に向いており且つ第1アパーチャ50を包囲している第1アパーチャ部51の表面52aは、光吸収性を有する。第1アパーチャ50側に向いており且つ第2アパーチャ60を包囲している第2アパーチャ部61の表面62bは、表面52aから離間しており、光吸収性を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
開口を有するパッケージと、
前記開口を塞いでいる光透過部と、
前記パッケージ内において前記開口及び前記光透過部に対して第１方向における一方の側に配置されており、前記第１方向において互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタと、
前記パッケージ内において前記ファブリペロー干渉フィルタに対して前記第１方向における前記一方の側に配置された光検出器と、
前記パッケージ外において前記開口及び前記光透過部に対して前記第１方向における他方の側に位置している第１アパーチャを有する第１アパーチャ部と、
前記パッケージ外において前記第１アパーチャに対して前記第１方向における前記他方の側に位置している第２アパーチャを有する第２アパーチャ部と、を備え、
前記第２アパーチャ側に向いており且つ前記第１アパーチャを包囲している前記第１アパーチャ部の第１面は、光吸収性を有し、
前記第１アパーチャ側に向いており且つ前記第２アパーチャを包囲している前記第２アパーチャ部の第２面は、前記第１面から離間しており、光吸収性を有する、光検出装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記第１方向から見た場合に、前記第１アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項３】
前記第１方向から見た場合に、前記第２アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項４】
前記第１方向から見た場合に、前記第１アパーチャの外縁は、前記第２アパーチャの外縁の内側に位置しており、
前記第１方向から見た場合に、前記第２アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項５】
前記第１アパーチャ部は、前記第１アパーチャを包囲している第１包囲部分を含み、
前記第１方向における前記第１アパーチャ部の位置決めは、前記第１包囲部分及び前記パッケージによって行われている、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項６】
前記第２アパーチャ部は、前記第２アパーチャを包囲している第２包囲部分と、前記第２包囲部分に接続されており、前記パッケージと嵌まり合っている嵌合部分と、を含み、
前記第１方向に垂直な第２方向における前記第２アパーチャ部の位置決めは、前記嵌合部分及び前記パッケージによって行われており、
前記第１方向における前記第２アパーチャ部の位置決めは、前記嵌合部分及び前記パッケージによって又は前記第２包囲部分及び前記第１包囲部分によって行われている、請求項５に記載の光検出装置。
【請求項７】
前記第２方向における前記第１アパーチャ部の位置決めは、前記第１包囲部分及び前記嵌合部分によって行われている、請求項６に記載の光検出装置。
【請求項８】
前記第２アパーチャ部は、前記第１アパーチャと前記第２アパーチャとの距離が調整可能となるように前記パッケージに取り付けられている、請求項１に記載の光検出装置。
【請求項９】
前記第２面は、前記第２アパーチャの外縁から外側に離れるほど前記第１アパーチャ部に近付く傾斜面である、請求項１に記載の光検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタを備える光検出装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
開口を有するパッケージと、開口を塞いでいる光透過部と、パッケージ内に配置されており、互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタと、パッケージ内に配置された光検出器と、を備える光検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような光検出装置では、ファブリペロー干渉フィルタにおいて一対のミラー部の互いの距離が変化させられつつ、光透過部を介して入射した光のうち、一対のミラー部を透過した光が光検出器によって検出されることで、測定対象の光の分光スペクトルが得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１４１７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような光検出装置では、迷光（例えば、一対のミラー部を透過しなかった光、一対のミラー部を斜めに透過した光）が光検出器に入射するのを如何に抑制し得るかが、測定対象の光の波長分析においてＳ／Ｎ比を向上させる上で、極めて重要である。
【０００５】
本発明は、迷光が光検出器に入射するのを抑制することができる光検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光検出装置は、［１］「開口を有するパッケージと、前記開口を塞いでいる光透過部と、前記パッケージ内において前記開口及び前記光透過部に対して第１方向における一方の側に配置されており、前記第１方向において互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタと、前記パッケージ内において前記ファブリペロー干渉フィルタに対して前記第１方向における前記一方の側に配置された光検出器と、前記パッケージ外において前記開口及び前記光透過部に対して前記第１方向における他方の側に位置している第１アパーチャを有する第１アパーチャ部と、前記パッケージ外において前記第１アパーチャに対して前記第１方向における前記他方の側に位置している第２アパーチャを有する第２アパーチャ部と、を備え、前記第２アパーチャ側に向いており且つ前記第１アパーチャを包囲している前記第１アパーチャ部の第１面は、光吸収性を有し、前記第１アパーチャ側に向いており且つ前記第２アパーチャを包囲している前記第２アパーチャ部の第２面は、前記第１面から離間しており、光吸収性を有する、光検出装置」である。
【０００７】
上記［１］に記載の光検出装置では、パッケージ外において、第１アパーチャがパッケージの開口に対してファブリペロー干渉フィルタとは反対側に位置しており、第２アパーチャが第１アパーチャに対してファブリペロー干渉フィルタとは反対側に位置している。これにより、大きい入射角度を有する光が開口からパッケージ内に進行しにくくなる。更に、上記［１］に記載の光検出装置では、第２アパーチャ側に向いており且つ第１アパーチャを包囲している第１アパーチャ部の第１面が、光吸収性を有しており、第１アパーチャ側に向いており且つ第２アパーチャを包囲している第２アパーチャ部の第２面が、第１面から離間しており、光吸収性を有している。これにより、大きい入射角度を有する光が第１面及び第２面のそれぞれにおいて減衰されやすくなる。よって、上記［１］に記載の光検出装置によれば、迷光が光検出器に入射するのを抑制することができる。
【０００８】
本発明の光検出装置は、［２］「前記第１方向から見た場合に、前記第１アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、上記［１］に記載の光検出装置」であってもよい。当該［２］に記載の光検出装置によれば、迷光が光検出器に入射するのをより確実に抑制することができる。更に、開口からパッケージ内に進行する光の入射角度がより小さくなるため、測定対象の光の波長分析においてＳ／Ｎ比及び分解能を向上させることができる。
【０００９】
本発明の光検出装置は、［３］「前記第１方向から見た場合に、前記第２アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、上記［１］に記載の光検出装置」であってもよい。当該［３］に記載の光検出装置によれば、迷光が光検出器に入射するのをより確実に抑制することができる。更に、開口からパッケージ内に進行する光の入射角度がより小さくなるため、測定対象の光の波長分析においてＳ／Ｎ比及び分解能を向上させることができる。
【００１０】
本発明の光検出装置は、［４］「前記第１方向から見た場合に、前記第１アパーチャの外縁は、前記第２アパーチャの外縁の内側に位置しており、前記第１方向から見た場合に、前記第２アパーチャの外縁は、前記開口の外縁の内側に位置している、上記［１］に記載の光検出装置」であってもよい。当該［４］に記載の光検出装置によれば、迷光が光検出器に入射するのをより確実に抑制することができる。更に、開口からパッケージ内に進行する光の入射角度がより小さくなるため、測定対象の光の波長分析においてＳ／Ｎ比及び分解能を向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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