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公開番号2024158073
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023072933
出願日2023-04-27
発明の名称高電圧試験装置
出願人エスペック株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20241031BHJP(測定;試験)
要約【課題】ヒューズ素子及び大抵抗値の保護抵抗を使用することなく、大電流又はサージ電流に起因する試験対象物の焼損又は周辺機器の故障を回避することが可能な、高電圧試験装置を得る。
【解決手段】高電圧試験装置は、試験対象物に対する高電圧試験を実施する高電圧試験装置であって、前記試験対象物に印加する高電圧を出力する電源と、前記電源と前記試験対象物との間を流れる電流の電流値を検出する検出回路と、前記電源と前記試験対象物との間を導通接続又は導通遮断する切替回路と、前記切替回路と前記試験対象物との間に接続された定電流回路と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試験対象物に対する高電圧試験を実施する高電圧試験装置であって、
前記試験対象物に印加する高電圧を出力する電源と、
前記電源と前記試験対象物との間を流れる電流の電流値を検出する検出回路と、
前記電源と前記試験対象物との間を導通接続又は導通遮断する切替回路と、
前記切替回路と前記試験対象物との間に接続された定電流回路と、
を備える、高電圧試験装置。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記検出回路によって検出された前記電流値がしきい値以下である場合には前記電源と前記試験対象物との間を導通接続し、前記検出回路によって検出された前記電流値が前記しきい値超である場合には前記電源と前記試験対象物との間を導通遮断するよう、前記切替回路を制御する制御部をさらに備える、請求項１に記載の高電圧試験装置。
【請求項３】
前記定電流回路と前記試験対象物との間に接続された保護抵抗をさらに備える、請求項１に記載の高電圧試験装置。
【請求項４】
前記高電圧試験装置は、複数の試験対象物に対して高電圧試験を並行して実施可能であり、
前記電源は、前記複数の試験対象物に対し共通に設けられ、
前記検出回路、前記切替回路、及び前記定電流回路は、前記複数の試験対象物の各々に対応して個別に設けられる、請求項１に記載の高電圧試験装置。
【請求項５】
前記試験対象物が配置される内部空間を有し、前記内部空間の環境を制御する試験槽をさらに備える、請求項１に記載の高電圧試験装置。
【請求項６】
前記定電流回路と前記試験対象物との間に接続され、前記試験槽内に配置された保護抵抗をさらに備える、請求項５に記載の高電圧試験装置。
【請求項７】
前記定電流回路は、前記試験槽外において前記試験槽に近接して配置されている、請求項５に記載の高電圧試験装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、高電圧試験装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
パワーＭＯＳＦＥＴ等を試験対象物とする高温逆バイアス試験では、試験対象物に高温かつ高電圧のストレスを印加することによって、試験対象物が絶縁破壊を起こすまでの時間を測定する。
【０００３】
試験対象物が絶縁破壊を起こすと、高電圧側の電極（例えばドレイン電極）と低電圧側の電極（例えばソース電極）とが短絡するため、電源と試験対象物とを含む閉回路に大電流又はサージ電流が流れる。その結果、当該大電流又はサージ電流に起因して、試験対象物が焼損し又は閉回路上の周辺機器が故障することがある。
【０００４】
そこで、背景技術に係る試験装置では、閉回路の高電圧側の配線上にヒューズ素子又は保護抵抗を配置することによって、試験対象物の焼損又は周辺機器の故障に対する対策がとられている。
【０００５】
なお、特許文献１には、電源である蓄電池と試験対象物であるダイオードとを含む閉回路の配線上に可変抵抗器及びヒューズが直列に配置された回路構成の試験装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開昭６１－１３９７６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
高電圧用のヒューズ素子は非常に高価であるため、試験を行う度にヒューズ素子を交換したのでは試験コストが増大する。また、大電流によってヒューズ素子が完全には切断されずに一部が残ってしまった場合には、残ったヒューズ素子が要因となって断続的に放電が発生し、その断続的な放電が周辺機器の故障を誘発する可能性がある。
【０００８】
また、サージ電流等に対する十分な保護効果を得るためには、数１０ｋΩ～数１００ｋΩ程度の大きい抵抗値を有する抵抗素子を保護抵抗として使用する必要がある。従って、保護抵抗での電圧降下に起因して試験対象物に印加すべき電圧値が低下し、また、大電流が流れた時の大きな発熱に耐え得るよう耐電圧及び定格電力が大きい抵抗素子を使用する必要があるため、試験装置の設計上の障害となっている。
【０００９】
本発明は、かかる問題を解決するために成されたものであり、ヒューズ素子及び大抵抗値の保護抵抗を使用することなく、大電流又はサージ電流に起因する試験対象物の焼損又は周辺機器の故障を回避することが可能な、高電圧試験装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１態様に係る高電圧試験装置は、試験対象物に対する高電圧試験を実施する高電圧試験装置であって、前記試験対象物に印加する高電圧を出力する電源と、前記電源と前記試験対象物との間を流れる電流の電流値を検出する検出回路と、前記電源と前記試験対象物との間を導通接続又は導通遮断する切替回路と、前記切替回路と前記試験対象物との間に接続された定電流回路と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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