TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
10個以上の画像は省略されています。
公開番号2024155091
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-31
出願番号2023069516
出願日2023-04-20
発明の名称モータ駆動装置、製造装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H02P 29/032 20160101AFI20241024BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】電源からキャパシタへの給電の再開時にキャパシタに対して過大な突入電流が流れることを抑制するために有利な技術を提供する。
【解決手段】モータ駆動装置は、出力端子を有する電源と、受電端子および駆動端子を有するモータドライバと、前記出力端子と前記受電端子とを接続する経路に配置されたスイッチと、前記受電端子に接続される充放電端子を有するキャパシタと、前記スイッチがオフ状態であるオフ期間において、前記電源の前記出力端子の電圧を前記充放電端子の電圧に追従させるように前記電源を制御する電源制御部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
出力端子を有する電源と、
受電端子および駆動端子を有するモータドライバと、
前記出力端子と前記受電端子とを接続する経路に配置されたスイッチと、
前記受電端子に接続される充放電端子を有するキャパシタと、
前記スイッチがオフ状態であるオフ期間において、前記電源の前記出力端子の電圧を前記充放電端子の電圧に追従させるように前記電源を制御する電源制御部と、
を備えるモータ駆動装置。
続きを表示(約 1,100 文字)【請求項2】
前記電源制御部は、前記スイッチがオン状態であるオン期間において、前記電源の前記出力端子の電圧を指令値プロファイルに従って制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のモータ駆動装置。
【請求項3】
前記電源は、指令値を受ける指令値端子を有し、
前記電源制御部は、前記オフ期間において、前記充放電端子の電圧を示す信号を前記指令値端子に供給し、前記オン期間において、前記指令値プロファイルに従った信号を前記指令値端子に供給する、
ことを特徴とする請求項2に記載のモータ駆動装置。
【請求項4】
前記電源制御部は、前記オン期間において、前記出力端子の電圧が前記オン期間の開始時における前記充放電端子の電圧から目標電圧まで徐々に上昇するように前記指令値プロファイルを生成する、
ことを特徴とする請求項3に記載のモータ駆動装置。
【請求項5】
前記電源制御部は、前記出力端子の電圧が前記オン期間の開始時から予め設定された給電時間をかけて前記目標電圧まで徐々に上昇するように前記指令値プロファイルを生成する、
ことを特徴とする請求項4に記載のモータ駆動装置。
【請求項6】
前記電源制御部は、前記キャパシタへの突入電流が前記電源および前記スイッチの定格電流を超えないように前記指令値プロファイルを生成する、
ことを特徴とする請求項5に記載のモータ駆動装置。
【請求項7】
前記電源は、指令値を受ける指令値端子を有し、
前記電源制御部は、前記スイッチがオン状態であるオン期間において、前記電源の前記出力端子の電圧が目標電圧まで徐々に上昇するように、前記電源に指令値を供給する、
ことを特徴とする請求項1に記載のモータ駆動装置。
【請求項8】
前記電源制御部は、前記出力端子の電圧が前記オン期間の開始時から予め設定された給電時間をかけて前記目標電圧まで徐々に上昇するように、前記指令値端子に指令値を供給する、
ことを特徴とする請求項7に記載のモータ駆動装置。
【請求項9】
前記スイッチを制御する切替制御部を更に備え、前記切替制御部は、前記充放電端子の電圧が所定値を下回ったら前記スイッチをオンする、
ことを特徴とする請求項1に記載のモータ駆動装置。
【請求項10】
前記スイッチを制御する切替制御部を更に備え、前記切替制御部は、前記モータドライバを制御するための駆動パターンに応じて前記スイッチを制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載のモータ駆動装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、モータ駆動装置、製造装置および物品製造方法に関する。
続きを表示(約 2,000 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1には、2つの駆動部を有するリソグラフィー装置が記載されている。特許文献1のリソグラフィー装置は、2つの駆動部に対して駆動に要する電力をそれぞれ供給する電源と、電源から供給される電力をそれぞれ充電可能な複数のキャパシタとを備えている。更に、特許文献1のリソグラフィー装置は、電源から供給される電力を、駆動部およびキャパシタに供給するか否かをそれぞれ切り替える2つの切換部と、2つの切換部の切り替えを制御する制御部とを備えている。制御部は、1つの駆動部については、同期駆動期間の少なくとも一部でキャパシタへの電力の供給を停止させ、他の駆動部については、同期駆動期間以外の期間の少なくとも一部でキャパシタへの電力の供給を停止させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2015-79823号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記のような装置では、電源からキャパシタへの給電の再開時にキャパシタに対して過大な突入電流が流れうる。
【0005】
本発明は、電源からキャパシタへの給電の再開時にキャパシタに対して過大な突入電流が流れることを抑制するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の1つの側面は、モータ駆動装置に係り、前記モータ駆動装置は、出力端子を有する電源と、受電端子および駆動端子を有するモータドライバと、前記出力端子と前記受電端子とを接続する経路に配置されたスイッチと、前記受電端子に接続される充放電端子を有するキャパシタと、前記スイッチがオフ状態であるオフ期間において、前記電源の前記出力端子の電圧を前記充放電端子の電圧に追従させるように前記電源を制御する電源制御部と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、電源からキャパシタへの給電の再開時にキャパシタに対して過大な突入電流が流れることを抑制するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
第1実施形態のモータ制御装置の構成を示す図。
第1実施形態のモータ制御装置の非給電区間における状態を示す図。
第1実施形態のモータ制御装置の非給電区間における動作を示す図。
第1実施形態のモータ制御装置の給電区間における状態を示す図。
第1実施形態のモータ制御装置の非給電区間および給電区間における動作を示す図。
第2実施形態のモータ制御装置の構成を示す図。
第1実施形態のモータ制御装置の動作を示す図。
第2実施形態における複数の駆動パターンを模式的に示す図。
比較例を示す図。
比較例を示す図。
製造装置の構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
<比較例>
図6(a)には、比較例のモータ駆動装置100の構成が示されている。モータ駆動装置100は、電源101と、モータ103を駆動するためのモータドライバ102と、モータドライバ102と電源101との間に配置されたキャパシタ104と、キャパシタ104と電源101との間に配置されたスイッチ105とを備えている。スイッチ105がオフされた状態で、キャパシタ104からモータドライバ102を介してモータ103に電流を供給することによってモータ103が負荷(不図示)を加速駆動させる。その後、減速駆動時に、モータ103からモータドライバ102を介してキャパシタ104に回生電流が供給されることによってキャパシタ104が充電される。しかし、キャパシタ104の充放電端子の電圧Vcは徐々に低下してゆく。そこで、図6(b)に示されるようにスイッチ105がオンされ、電源101よりキャパシタ104に給電を行うことによってキャパシタ104の充放電端子の電圧Vcが回復する。
【0010】
スイッチ105をオンすることによってキャパシタ104に給電を行った際の突入電流Irは、式(1)で示される。
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する
Flag Counter

関連特許

キヤノン株式会社
トナー
1か月前
キヤノン株式会社
トナー
1か月前
キヤノン株式会社
印刷装置
22日前
キヤノン株式会社
測距装置
22日前
キヤノン株式会社
現像装置
22日前
キヤノン株式会社
電子機器
22日前
キヤノン株式会社
撮像装置
28日前
キヤノン株式会社
乾燥装置
29日前
キヤノン株式会社
乾燥装置
16日前
キヤノン株式会社
記録装置
8日前
キヤノン株式会社
定着装置
1か月前
キヤノン株式会社
検出装置
15日前
キヤノン株式会社
撮像装置
15日前
キヤノン株式会社
光学機器
29日前
キヤノン株式会社
撮像装置
29日前
キヤノン株式会社
測距装置
29日前
キヤノン株式会社
送液装置
1か月前
キヤノン株式会社
定着装置
10日前
キヤノン株式会社
通信装置
22日前
キヤノン株式会社
記録装置
15日前
キヤノン株式会社
露光ヘッド
8日前
キヤノン株式会社
防水構造体
15日前
キヤノン株式会社
分析デバイス
9日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
10日前
キヤノン株式会社
分析デバイス
8日前
キヤノン株式会社
情報処理装置
23日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
8日前
キヤノン株式会社
画像記録方法
23日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
23日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
8日前
キヤノン株式会社
記録素子基板
8日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
17日前
キヤノン株式会社
有機発光素子
22日前
キヤノン株式会社
画像形成装置
22日前
キヤノン株式会社
印刷制御装置
22日前
キヤノン株式会社
画像処理装置
17日前
続きを見る