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公開番号2024146322
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023059145
出願日2023-03-31
発明の名称調整方法及び調整治具
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20241004BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハ搬送装置の調整における自動化が実現される、調整方法及び調整治具を提供する。
【解決手段】調整方法は、ウェーハ設置部(12)へ調整治具(40)を設置し、第1移動装置を用いて上下方向へ移動自在に支持されるセンサ(32)を用いて、上下方向における第1プレート(46)位置を測定し、搬送部に具備される第2移動装置を用いて上下方向へ移動自在に支持される搬送ユニットを用いて、上下方向における第1プレートの位置を測定し、センサを用いて測定される上下方向における第1プレートの位置、及び搬送ユニットを用いて測定される上下方向における第1プレートの位置に基づき、ウェーハ設置部と搬送部との上下方向における位置を調整する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハカセットの第１スロットに対応する上下方向の位置を有する第１プレート、及び前記ウェーハカセットの第１スロットよりも上に配置される第２スロットに対応する前記上下方向の位置を有する第２プレートを備えた調整治具を用いて、前記ウェーハカセットが設置されるウェーハ設置部と、前記ウェーハカセットからウェーハを取り出す搬送ユニットが具備される搬送部との前記上下方向の位置を調整する調整方法であって、
前記ウェーハ設置部へ、前記調整治具を設置し、
前記ウェーハ設置部に具備される第１移動装置を用いて前記上下方向へ移動自在に支持されるセンサを用いて、前記上下方向における前記第１プレートの位置を測定し、
前記搬送部に具備される第２移動装置を用いて前記上下方向へ移動自在に支持される搬送ユニットを用いて、前記上下方向における前記第１プレートの位置を測定し、
前記センサを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置、及び前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置に基づき、前記ウェーハ設置部と前記搬送部との前記上下方向における位置を調整する調整方法。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記上下方向における前記第１プレートの位置、又は前記上下方向における前記第２プレートの位置を測定する際に、
前記第１プレート又は前記第２プレートと、前記搬送ユニットに具備される前記ウェーハを保持するウェーハ保持アームと、を前記上下方向に沿って相対移動させ、
前記ウェーハ保持アームが前記第１プレート、又は前記第２プレートと接触する位置を、接触の有無を識別するセンサによって検出する請求項１に記載の調整方法。
【請求項３】
前記センサは、前記ウェーハ保持アームの吸着圧力がしきい値以上か否かに基いて、接触の有無を識別する請求項２に記載の調整方法。
【請求項４】
前記搬送ユニットを用いて、前記上下方向における前記第２プレートの位置を測定し、
前記センサを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置、前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置、及び前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第２プレートの位置に基づき、前記上下方向に対する前記搬送部の傾斜を補正する請求項１に記載の調整方法。
【請求項５】
前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第２プレートの位置を測定する際に、
第１搬送分解能を適用して、前記第２プレートと、前記搬送ユニットに具備される前記ウェーハを保持するウェーハ保持アームと、を前記上下方向に沿って相対移動させ、
前記ウェーハ保持アームが前記第２プレートと接触する位置を、第２プレートの位置として検出する請求項４に記載の調整方法。
【請求項６】
前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第２プレートの位置を測定する際に、
前記第２プレートに接触する前記ウェーハ保持アームを前記第２プレートから離間させ、
前記第１搬送分解能よりも小さい第２搬送分解能を適用して、前記第２プレートと前記ウェーハ保持アームとを相対移動させ、
前記ウェーハ保持アームが前記第２プレートと接触する位置を、第２プレートの位置として検出する請求項５に記載の調整方法。
【請求項７】
光学センサが適用される前記センサを用いて、前記上下方向における前記第１プレートの位置を測定する請求項１に記載の調整方法。
【請求項８】
前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置を測定する際に、
第３搬送分解能を適用して、前記第１プレートと前記搬送ユニットに具備される前記ウェーハを保持するウェーハ保持アームと前記上下方向に沿って相対移動させ、
前記ウェーハ保持アームが前記第１プレートと接触する位置を、第１プレートの位置として検出する請求項１に記載の調整方法。
【請求項９】
前記搬送ユニットを用いて測定される前記上下方向における前記第１プレートの位置を測定する際に、前記第１プレートに接触する前記ウェーハ保持アームを前記第１プレートから離間させ、
前記第３搬送分解能よりも小さい第４搬送分解能を適用して、前記第１プレートと前記ウェーハ保持アームとを相対移動させ、
前記ウェーハ保持アームが前記第１プレートと接触する位置を、第１プレートの位置として検出する請求項８に記載の調整方法。
【請求項１０】
ウェーハカセットの第１スロットに対応する上下方向の位置を有する第１プレートと、
前記ウェーハカセットの第１スロットよりも上に配置される第２スロットに対応する前記上下方向の位置を有する第２プレートと、
を備え、
前記第１プレート及び前記第２プレートは、前記上下方向について移動自在に支持され、かつ、前記上下方向と直交する面における位置が固定される調整治具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ搬送装置における調整方法及び調整治具に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置において、ウェーハカセットからウェーハを取り出す必要がある。ウェーハカセットにおけるウェーハ同士の間隔は１０ミリメートルと非常に狭く、上下に隣り合うウェーハの間へウェーハ保持アームを挿入し、ウェーハ保持アームを用いてウェーハを支持してウェーハカセットからウェーハを取り出すため、装置ごとにウェーハカセットに対するウェーハ保持アームの挿入位置の調整が必要となる。
【０００３】
従来は、装置が組み立てられた後に、ウェーハカセットの一番下のスロットの位置が高精度に再現されるプレートと、ウェーハカセットの一番上のスロットの位置が高精度に再現されるプレートとを備える治具を用意し、ロードポート上へ治具を載置し、ウェーハ搬送装置のウェーハ保持アームを治具へ挿入して各プレートの下面とウェーハ保持アームとが接触する位置を測定し、測定結果に基づいてウェーハをウェーハ保持アームへ受け渡す受け渡し高さが調整される。
【０００４】
特許文献１は、ウェーハカセットへウェーハを移送するウェーハ移送装置の調整方法が記載される。同文献に記載の方法は、ウェーハカセットの基準となる精度を備えたウェーハ保持治具を用いて、ウェーハ移送装置の調整を実施する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平１０－２４２２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した従来の方法は工数がかかるという課題が存在する。また、上記した従来の方法は、作業者の感覚で調整が実施される場合があり、作業者の個人差が調整結果に対して影響する懸念があるという課題が存在している。
【０００７】
特許文献１に記載の方法は、ウェーハ又はウェーハの相当品が収納されるウェーハ保持治具が使用されるので、ウェーハ等をウェーハ保持治具へ収納する工程が発生し、工数がかかる。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ウェーハ搬送装置の調整における自動化が実現される、調整方法及び調整治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の第１態様に係る調整方法は、ウェーハカセットの第１スロットに対応する上下方向の位置を有する第１プレート、及びウェーハカセットの第１スロットよりも上に配置される第２スロットに対応する上下方向の位置を有する第２プレートを備えた調整治具を用いて、ウェーハカセットが設置されるウェーハ設置部と、ウェーハカセットからウェーハを取り出す搬送ユニットが具備される搬送部との上下方向の位置を調整する調整方法であって、ウェーハ設置部へ、調整治具を設置し、ウェーハ設置部に具備される第１移動装置を用いて上下方向へ移動自在に支持されるセンサを用いて、上下方向における第１プレートの位置を測定し、搬送部に具備される第２移動装置を用いて上下方向へ移動自在に支持される搬送ユニットを用いて、上下方向における第１プレートの位置を測定し、センサを用いて測定される上下方向における第１プレートの位置、及び搬送ユニットを用いて測定される上下方向における第１プレートの位置に基づき、ウェーハ設置部と搬送部との上下方向における位置を調整する調整方法。ウェーハ搬送装置調整方法である。
【００１０】
本開示の第１態様に係る調整方法によれば、ウェーハ設置部へ設置される調整治具の第１プレートの位置を、ウェーハ設置部に具備されるセンサを用いて測定し、かつ、搬送部に具備される搬送ユニットを用いて測定し、測定結果に基づきウェーハ設置部と搬送部との上下方向における位置が調整される。これにより、ウェーハ設置部と搬送部との上下方向における位置調整の自動化が実現される。
（【００１１】以降は省略されています）

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