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公開番号2024145408
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023057736
出願日2023-03-31
発明の名称クリーンルームの空調システム
出願人三機工業株式会社
代理人弁理士法人山田特許事務所
主分類F24F 11/70 20180101AFI20241004BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】室内における湿度の変動に対し、外調機において取り込まれる外気の湿度を好適に調整し得るクリーンルームの空調システムを提供する。
【解決手段】クリーンルームである対象空間Sに導入する外気A0の湿度を調整し得るよう構成された外調機9と、屋内を流通する空気(室内空気A1、還気A2)に対し、該空気A1,A2の湿度に応じて加湿を行う室内加湿器7を備え、外調機9における除湿運転時、屋内を流通する空気A1,A2の湿度またはこれに関連する値に基づき、外調機9における外気A0の除湿量を調整するよう構成する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クリーンルームである対象空間に導入する外気の湿度を調整し得るよう構成された外調機と、
屋内を流通する空気に対し、該空気の湿度に応じて加湿を行う室内加湿器を備え、
前記外調機における除湿運転時、屋内を流通する空気の湿度またはこれに関連する値に基づき、前記外調機における外気の除湿量を調整するよう構成されたこと
を特徴とするクリーンルームの空調システム。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
対象空間内に設置された湿度計の測定値に基づき、前記外調機における外気の除湿量の調整を、外調機出口の露点温度設定値を変更することで行うよう構成されたこと
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調システム。
【請求項３】
前記室内加湿器における加湿量に応じ、前記外調機における外気の除湿量の調整を行うよう構成されたこと
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調システム。
【請求項４】
前記室内加湿器は、水が滴下されるエレメントに対しファンにより空気を吹き付けて加湿を行うよう構成された気化式の加湿器であり、
前記外調機は、前記ファンの回転数に応じて外気の除湿量の調整を、外調機出口の露点温度設定値を変更することで行うよう構成されたこと
を特徴とする請求項３に記載のクリーンルームの空調システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの空調システムに関する。特に、外気調和機を設けて変動の大きな外気を温調して導入するクリーンルームの空調システムに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
図５はクリーンルームを対象とする空調システムの一例を示している。対象空間Ｓの天井１には複数の送風ユニット２が設置され、下方の対象空間Ｓへ清浄な室内空気Ａ１を送り出すようになっている。送風ユニット２は、ファン・フィルタ・ユニット（ＦＦＵ）と称される装置であり、天井１の上方天井裏の空気を送風機により筐体内に吸い込んで筐体下をカバーするフィルタに吹き付け、該フィルタを通って浄化された空気を下方へ供給する仕組みである。
【０００３】
対象空間Ｓの床３は、パンチングパネルやグレーチング等を素材とする上げ床として構成されている。送風ユニット２から対象空間Ｓに室内空気Ａ１として送り込まれた空気は、床３の開孔を通って還気Ａ２として床下の空間に抜け、床下と天井裏を連通するレタンシャフト４を通って天井裏の空間へ送られ、再度送風ユニット２から室内空気Ａ１として対象空間Ｓに供給される。このように、クリーンルームである対象空間Ｓの内外で空気が循環するようになっている。
【０００４】
工業用クリーンルームである対象空間Ｓでは生産装置等の機器５が稼働しており、室内空気Ａ１は、機器５の排熱を受け取り昇温した状態で、還気Ａ２として床下へ抜ける。レタンシャフト４における入口付近にはドライコイルである冷却ユニット６が備えられており、昇温した還気Ａ２はレタンシャフト４の通過に伴って冷却されるようになっている。さらに、床下には加湿器（室内加湿器）７が備えられており、ここで屋内を循環する空気の湿度が必要に応じて調整される。ここに示した例の場合、対象空間Ｓ内に湿度計８が設置されており、この湿度計８で測定される室内空気Ａ１の湿度が不足する場合には、加湿器７を作動させて還気Ａ２に対し加湿を行うようになっている。
【０００５】
また、対象空間Ｓのある建物の外には外調機（外気調和機）９が設けられている。外調機９からは、外気Ａ０が取り込まれ、温度と湿度を必要に応じて調整された上で屋内に導入され、上述した空気の流路へ送り込まれる。ここに示した例の場合、外気Ａ０の流路の出口は床下の空間に設置されており、ここに外気Ａ０が導入されて還気Ａ２と混合されるようになっている。
【０００６】
外調機９は、上流側から順に、前段のフィルタ（中性能フィルタ）９ａ、加熱器（加熱コイル）９ｂ、除湿器（冷却除湿コイル）９ｃ、加湿器（外気加湿器）９ｄ、外調機ファン９ｅおよび後段のフィルタ（高性能フィルタ）９ｆを内部に備えている。
【０００７】
加熱器としての加熱コイル９ｂ、除湿器としての冷却除湿コイル９ｃは、例えばフィンを備えた伝熱管の内部を熱媒が流通する一般的な型式の熱交換器である。外気加湿器９ｄは、例えば蒸気式の加湿器であり、外部に設けられた図示しないボイラ等の蒸気発生器から供給される蒸気を、外調機９内における空気の流路に噴射するようになっている。外気加湿器９ｄに蒸気を供給する流路の途中には蒸気供給弁（図示せず）が備えられ、該蒸気供給弁の開閉および開度の調整により、外調機９に取り込まれる外気Ａ０に対する蒸気の供給の有無および供給量が調整されるようになっている。
【０００８】
外気Ａ０は、外調機ファン９ｅの作動によって外調機９内に取り込まれた後、前段の中性能フィルタ９ａで塵埃を除去され、加熱コイル９ｂ、冷却除湿コイル９ｃ、外気加湿器９ｄにより必要に応じて温度や湿度を調整され、後段の高性能フィルタ９ｆでさらに浄化されたうえで建物内へ送り込まれる。
【０００９】
対象空間Ｓの内外を循環する空気の流路の適宜位置（ここに示した例では、天井１の上の空間の一部）には、さらに図示しない排気ファンを有する排気口１０が設けられており、循環する空気の一部がここから排気Ａ３として外部へ、対象空間Ｓの正圧を保つように排気ファンを制御しながら排出されるようになっている。
【００１０】
こうして、図５に示す空調システムでは、対象空間Ｓにおいては清浄な室内空気Ａ１を送風ユニット２から供給しつつ、対象空間Ｓの内外で空気（室内空気Ａ１および還気Ａ２）を循環させながら、外気Ａ０を外調機９から取り込むと共に、循環する空気の一部を排気Ａ３として排出するようになっている。
（【００１１】以降は省略されています）

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