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公開番号2024136076
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023047045
出願日2023-03-23
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 9/28 20060101AFI20240927BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】エキシマランプにおいて、箔状の電極と誘電体との密着性を高めて剥離を抑制する。
【解決手段】誘電体50によって箔電極30を被覆し、誘電体50と放電管20との間に放電空間Sを形成したエキシマランプ10において、厚さ一定の平坦部32を有し、幅方向両端E1、E2に向けてクサビ形状部34A、34Bを形成した箔電極30を形成する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ランプ軸方向に沿って帯状に延びる箔電極と、
前記箔電極を被覆する誘電体と、
前記誘電体と溶着して放電空間を形成する放電容器とを備え、
前記箔電極が、前記箔電極の幅方向両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、前記平坦部の両端から前記箔電極の幅方向両端に向けて先鋭化していることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記箔電極が、前記平坦部の両端付近から前記箔電極の幅方向両端に向けてクサビ形状になっていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記箔電極が、前記箔電極の幅方向両端から前記平坦部の両端に向けて傾斜角度が一定であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記傾斜角度が、２°以上１５°以下であることを特徴とする請求項３に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記箔電極の幅方向両端の間の幅方向長さに対する前記平坦部の幅方向長さが、０．６以上であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記誘電体の幅方向断面が、少なくとも前記平坦部の幅方向両端から前記箔電極の両端を囲む部分において、それぞれ、半円状または半楕円状であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記平坦部の厚さが、前記箔電極の最大厚さに対して０．７以上であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記箔電極が、電極幅に対する電極厚さが１／３０以下である箔電極として構成されていることを特徴とする請求項１乃至６に記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、電極の構成に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
エキシマランプでは、一対の電極間に数ｋＶの高周波電圧を印加することにより、放電空間においてエキシマ放電を発生させる。例えば、二重管型のエキシマランプでは、軸方向に延びる２つの同軸円筒管によって発光部が構成され、内側管と外側管との間に形成される放電空間に対し、放電ガスが封入される。
【０００３】
そして、内側管内あるいは管壁に設けられた電極と、外側管表面側にある電極（外側電極）との間に高周波電圧を印加することによって、放電発光させる。また、箔状の電極を内側管で被覆し、誘電体内に箔状の電極を埋設させた電極構造も知られている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６５５７０１１号公報
特許第５５０４０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、発光管外径が３０ｍｍ以下となる小型のエキシマランプの場合、大型のエキシマランプと違って、発光管および電極の形状や構造、入力電圧などに関して制限がある。そのため、ランプの点灯始動性を考慮した電極形状が必要とされる。
【０００６】
具体的には、箔状の電極（箔状電極）の縁部分を中央部と比べて薄くすることにより、電極縁部分において電界集中を生じさせ、比較的低い入力電圧によっても電極間で放電が生じるようにする。
【０００７】
しかしながら、小型のエキシマランプの場合、放電空間スペースの確保に伴って内側管のサイズ（径の大きさ）、厚さなどが制限される。そのため、内側電極の表面積が十分確保されず、内側電極と内側管との密着性の問題が生じる恐れがある。特に、内側電極を覆う内側管との密着が十分でない場合、内側管と内側電極との間に剥離が発生する恐れがある。
【０００８】
したがって、エキシマランプにおいて、箔状の電極と内側管との密着性を高めて剥離を抑制することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、小型のエキシマランプなどにおいて、従来、密着性の影響が少ないと認識されていた箔電極に対し、密着性を高める断面形状をもたせることに技術的動向が向けられている。
【００１０】
本発明のエキシマランプは、ランプ軸方向に沿って帯状に延びる箔電極と、箔電極を被覆する誘電体と、誘電体と溶着して放電空間を形成する放電容器とを備える。「箔」である電極としては、電極幅に対する電極厚さが１／３０以下で構成することが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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