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公開番号2024135216
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023045787
出願日2023-03-22
発明の名称清浄装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240927BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】清浄装置のフィルタにおける有機物の吸着状態を容易に且つ精度よく求めるために有利な技術を提供する。
【解決手段】チャンバ内の気体の清浄を行う清浄装置は、前記チャンバ内の気体を取り込んで当該気体を前記チャンバ内に送出するための気体流路と、前記気体流路に配置され、前記気体流路を流れる気体中の有機物を吸着するフィルタと、前記フィルタの重量を計測する重量計測部と、前記気体流路における気体の湿度を検出する湿度検出部と、前記清浄を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記重量計測部の計測結果と前記湿度検出部の検出結果とに基づいて、前記フィルタにおける有機物の吸着状態を推定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内の気体の清浄を行う清浄装置であって、
前記チャンバ内の気体を取り込んで当該気体を前記チャンバ内に送出するための気体流路と、
前記気体流路に配置され、前記気体流路を流れる気体中の有機物を吸着するフィルタと、
前記フィルタの重量を計測する重量計測部と、
前記気体流路における気体の湿度を検出する湿度検出部と、
前記清浄を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記重量計測部の計測結果と前記湿度検出部の検出結果とに基づいて、前記フィルタにおける有機物の吸着状態を推定する、ことを特徴とする清浄装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記湿度検出部の検出結果に基づいて、前記フィルタに含まれている水分の重量を示す水分重量を決定するとともに、前記重量計測部で計測された前記フィルタの重量から前記フィルタの乾燥重量と前記水分重量とを除外した値に基づいて前記吸着状態を推定する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記気体流路における気体の湿度と前記フィルタの含水量との関係を示す情報と、前記湿度検出部の検出結果とに基づいて、前記水分重量を決定する、ことを特徴とする請求項２に記載の清浄装置。
【請求項４】
前記清浄装置は、前記気体流路内の温度を検出する温度検出部を更に備え、
前記制御部は、前記気体流路内での気体の温度ごとに前記情報を有し、前記温度検出部の検出結果に応じて選択された前記情報に基づいて前記水分重量を決定する、ことを特徴とする請求項３に記載の清浄装置。
【請求項５】
前記湿度検出部は、前記気体流路における前記フィルタより上流側で気体の湿度を検出する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項６】
前記湿度検出部は、前記気体流路における前記フィルタより上流側および下流側の各々で気体の湿度を検出し、
前記制御部は、前記湿度検出部で検出された前記上流側での気体の湿度と前記下流側での気体の湿度との差が湿度閾値より小さい状態において、前記重量計測部の計測結果と前記湿度検出部の検出結果とに基づいて前記吸着状態を推定する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項７】
前記清浄装置は、前記気体流路における前記フィルタより上流側および下流側の各々で気体の温度を検出する温度検出部を更に備え、
前記制御部は、前記温度検出部で検出された前記上流側での気体の温度と前記下流側での気体の温度との差が温度閾値より小さい状態において、前記重量計測部の計測結果と前記湿度検出部の検出結果とに基づいて前記吸着状態を推定する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記吸着状態として、前記フィルタにおいて既に吸着されている有機物の量、または、前記フィルタにおいて未だ吸着可能な有機物の量を推定する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記フィルタについて推定された前記吸着状態に基づいて、前記フィルタの交換時期を決定する、ことを特徴とする請求項１に記載の清浄装置。
【請求項１０】
前記制御部は、決定した前記フィルタの交換時期を報知する、ことを特徴とする請求項９に記載の清浄装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、清浄装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
リソグラフィ装置では、基板にパターンを形成する処理が行われるチャンバ内の気体（例えば空気）の清浄を行うため、空気中の有機物を吸着するフィルタを備えた清浄装置が設けられうる。このような清浄装置では、当該フィルタの交換時期を決定するため、当該フィルタにおける有機物の吸着状態を求めることが要求されうる。特許文献１には、露光装置において、空調系に備えられたケミカルフィルタの下流の気体に曝されるように光学部材を配置し、露光工程と同じ波長の光を照射したときの当該光学部材の透過率に基づいて、ケミカルフィルタの寿命を検知する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－３１１７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された方法では、光学部材を配置する必要があるとともに、露光工程と同じ波長の光を光学部材に導いたり、光学部材の透過率を計測したりする構成も必要となり、装置構成が複雑化しうる。
【０００５】
そこで、本発明は、清浄装置のフィルタにおける有機物の吸着状態を容易に且つ精度よく求めるために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての清浄装置は、チャンバ内の気体の清浄を行う清浄装置であって、前記チャンバ内の気体を取り込んで当該気体を前記チャンバ内に送出するための気体流路と、前記気体流路に配置され、前記気体流路を流れる気体中の有機物を吸着するフィルタと、前記フィルタの重量を計測する重量計測部と、前記気体流路における気体の湿度を検出する湿度検出部と、前記清浄を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記重量計測部の計測結果と前記湿度検出部の検出結果とに基づいて、前記フィルタにおける有機物の吸着状態を推定する、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、清浄装置のフィルタにおける有機物の吸着状態を容易に且つ精度よく求めるために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態の清浄装置の構成例を示す概略図
ケミカルフィルタの重量の内訳を示す図
湿度－含水量情報の一例を示す図
ケミカルフィルタの使用期間（日数）と有機物の吸着量との関係を示す図
第２実施形態の清浄装置の構成例を示す概略図
リソグラフィ装置（インプリント装置）の構成例を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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