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公開番号2024131839
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023042316
出願日2023-03-16
発明の名称液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B41J 2/14 20060101AFI20240920BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出ヘッド用基板の温度測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】基板の主面に第1方向に沿って配された複数の電熱変換素子と、前記複数の電熱変換素子の温度を検知するために前記第1方向に沿って配された複数の温度検知素子と、液体を供給するために前記第1方向に沿って配された複数の液体供給口と、前記主面と前記複数の温度検知素子との間に配された絶縁膜の中に少なくとも1層の配線層を含む構造体と、を含み、前記配線層のうち最も前記複数の温度検知素子に近い配線層に配された配線パターンに前記第1方向に沿って複数の開口部が配され、前記複数の開口部は、複数の第1開口部と複数の第2開口部とを含み、前記複数の第1開口部のそれぞれを前記複数の液体供給口の何れかが通過し、前記複数の第2開口部は、前記絶縁膜の一部によって埋め込まれており、かつ、前記複数の開口部の並びの少なくとも両端に配されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、液体を吐出するために前記基板の主面に第１方向に沿って配された複数の電熱変換素子と、前記複数の電熱変換素子の温度を検知するために前記第１方向に沿って配された複数の温度検知素子と、前記液体を供給するために前記第１方向に沿って配された複数の液体供給口と、前記主面と前記複数の温度検知素子との間に配された絶縁膜の中に少なくとも１層の配線層を含む構造体と、を含む液体吐出ヘッド用基板であって、
前記配線層のうち最も前記複数の温度検知素子に近い第１配線層に配された配線パターンに、前記主面に対する正射影において前記複数の温度検知素子と隣り合うように、前記第１方向に沿って複数の開口部が配され、
前記複数の開口部は、複数の第１開口部と複数の第２開口部とを含み、
前記複数の第１開口部のそれぞれを前記複数の液体供給口の何れかが通過し、
前記複数の第２開口部は、前記絶縁膜の一部によって埋め込まれており、かつ、前記複数の開口部の並びの少なくとも両端に配されていることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記複数の液体供給口は、前記複数の第２開口部を通過しないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項３】
前記構造体には、複数の配線層が配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項４】
前記主面に対する正射影において、前記複数の配線層のうち前記第１配線層と前記主面との間に配された配線層は、前記複数の第２開口部と重なる領域に配線パターンが配されていないことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項５】
前記主面に対する正射影において、前記複数の配線層のうち前記第１配線層と前記主面との間に配された配線層は、前記複数の第２開口部と重なる領域に配線パターンが配された配線層を含むことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項６】
前記主面に対する正射影において、前記複数の配線層のうち前記第１配線層と前記主面との間に配された配線層は、前記複数の第１開口部と重なる領域に配線パターンが配されていないことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項７】
前記複数の電熱変換素子と前記構造体との間に、前記複数の温度検知素子が配され、
前記主面に対する正射影において、前記複数の温度検知素子のそれぞれの少なくとも一部が、前記複数の電熱変換素子のそれぞれ対応する電熱変換素子に重なるように配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項８】
前記複数の電熱変換素子と前記複数の温度検知素子とが、同じ層に配され、
前記複数の温度検知素子のそれぞれが、前記複数の電熱変換素子のそれぞれ対応する電熱変換素子に互いに隣り合うように配されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項９】
前記主面に対する正射影において、前記複数の第１開口部のそれぞれの面積と、前記複数の第２開口部のそれぞれの面積と、が同じことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項１０】
前記主面に対する正射影において、前記複数の第１開口部のそれぞれの面積と、前記複数の第２開口部のそれぞれの面積と、が異なっていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出装置において、電気熱変換素子（ヒータ）によって発生した熱エネルギを用いて液体を吐出するサーマル式の装置がある。ヒータの温度の変化の検知は液体の吐出状況を示すため、特許文献１には、ヒータの近傍に温度を検知するための温度センサを配することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１８７０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ヒータの温度を検知するための検知素子と基板との間には、配線パターンを含む層間絶縁膜が配されうる。層間絶縁膜は、プラズマ化学気相成長法などを用いて形成され、膜中に水素を含む場合がある。液体吐出ヘッド用基板の製造時において、層間絶縁膜中の水素が熱処理などの工程で放出され検知素子に水素が吸着しうる。温度センサに配される温度検知素子の抵抗値などの特性が、水素の吸着によって変化する可能性があり、温度検知素子によって水素の吸着量が異なると、温度センサの特性がばらついてしまい、温度を検知する精度が低下しうる。
【０００５】
本発明は、液体吐出ヘッド用基板の温度測定に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題に鑑みて、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板は、基板と、液体を吐出するために前記基板の主面に第１方向に沿って配された複数の電熱変換素子と、前記複数の電熱変換素子の温度を検知するために前記第１方向に沿って配された複数の温度検知素子と、前記液体を供給するために前記第１方向に沿って配された複数の液体供給口と、前記主面と前記複数の温度検知素子との間に配された絶縁膜の中に少なくとも１層の配線層を含む構造体と、を含む液体吐出ヘッド用基板であって、前記配線層のうち最も前記複数の温度検知素子に近い第１配線層に配された配線パターンに、前記主面に対する正射影において前記複数の温度検知素子と隣り合うように、前記第１方向に沿って複数の開口部が配され、前記複数の開口部は、複数の第１開口部と複数の第２開口部とを含み、前記複数の第１開口部のそれぞれを前記複数の液体供給口の何れかが通過し、前記複数の第２開口部は、前記絶縁膜の一部によって埋め込まれており、かつ、前記複数の開口部の並びの少なくとも両端に配されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、液体吐出ヘッド用基板の温度測定に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本実施形態の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す平面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の変形例を示す平面図。
図３の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の変形例を示す平面図。
図６の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の構成例を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板の製造工程を示す断面図。
図１の液体吐出ヘッド用基板を用いた液体吐出装置の構成例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴のすべてが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１～図９を参照して、本開示の実施形態による液体吐出ヘッド用基板について説明する。図１は、本実施形態の液体吐出ヘッド用基板１００の構成例を示す平面図である。図２は、図１のＱ－Ｑ’間の断面の構成例を示す図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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