特許ウォッチ

公開番号2024131531
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023041855
出願日2023-03-16
発明の名称吸引力チェック装置および吸引力チェック方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B23Q 17/00 20060101AFI20240920BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】チャックテーブルの吸引力を定量化して、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に知ることができるチャックテーブルの吸引力チェック装置を提供する。
【解決手段】エアーWを噴射するエアーノズル13と、エアーノズル13を摺動可能に支持しチャックテーブル4の保持面に平行であると共に保持面にエアーWを吹き付ける方向からエアーノズル13を接近及び離反させるガイドレール12と、エアーノズル13の位置を計測する計測部17と、を少なくとも備え、チャックテーブル4の保持面に吸引保持されたシートTに対してエアーWを噴射しながらエアーノズル13を接近させ、チャックテーブル4保持面からシートTが剥離した際の計測部17によって計測されるエアーノズル13の位置によってチャックテーブル4の吸引力をチェックする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置であって、
エアーを噴射するエアーノズルと、該エアーノズルを摺動可能に支持し該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向から該エアーノズルを接近及び離反させるガイドレールと、
該エアーノズルの位置を計測する計測部と、を少なくとも備え、
該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対してエアーを噴射しながら該エアーノズルを接近させ、該保持面から該シートが剥離した際の該計測部によって計測される該エアーノズルの位置によってチャックテーブルの吸引力をチェックすることができる吸引力チェック装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
該保持面から吸引源に至る経路に圧力計が配設され、該圧力計の検出値が上昇した場合に、該チャックテーブルから該シートが剥離したと判断する請求項１に記載の吸引力チェック装置。
【請求項３】
該エアーノズルが噴射するエアーの流量を調整する流量調整手段が配設される請求項１に記載の吸引力チェック装置。
【請求項４】
被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法であって、
エアーを噴射するエアーノズルを準備するエアーノズル準備工程と、
該チャックテーブルの保持面にシートを吸引保持するシート保持工程と、
該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対して該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向に該エアーノズルを位置付けるノズル位置付け工程と、
該エアーノズルからエアーを噴射しながら該チャックテーブルに接近させるノズル接近工程と、
該保持面から該シートが剥離した際の該エアーノズルの位置を計測する計測工程と、
を含み構成される吸引力チェック方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置、及び被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて薄化された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
研削装置は、ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、研削手段をチャックテーブルに接近及び離間する方向に移動する研削送り手段と、を含み構成されていて、ウエーハを所望の厚みに仕上げることができる（例えば特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００９－２４６０９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、研削加工を実施する際に板状の被加工物（例えばウエーハ）を保持するチャックテーブルは、通気性を有する部材、例えばポーラスセラミックスにより構成されていて、被加工物を研削する際に発生する研削屑を含む研削水を保持面の外周側から吸い込み、チャックテーブルの外周領域に研削屑が徐々に詰まって、吸引力が徐々に低下するという問題がある。このように吸引力が低下すると、研削ホイールの回転によって発生する気流と、研削ホイールの回転力によって研削中に被加工物がチャックテーブルから離れて飛散するという問題が発生し、適宜のタイミングでチャックテーブルの研削屑の詰まりを解消する洗浄作業が必要となる。
【０００６】
上記したチャックテーブルにおける研削屑の詰まりは、チャックテーブルの外周領域から徐々に進行するため、チャックテーブル上にウエーハ等を保持していない状態の吸引圧力を検査しても、上記のような研削屑の詰まりによる吸引力の低下を検出することは困難である。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルの吸引力を定量化して、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に知ることができるチャックテーブルの吸引力チェック装置、及びチャックテーブルの吸引力チェック方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置であって、エアーを噴射するエアーノズルと、該エアーノズルを摺動可能に支持し該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向から該エアーノズルを接近及び離反させるガイドレールと、該エアーノズルの位置を計測する計測部と、を少なくとも備え、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対してエアーを噴射しながら該エアーノズルを接近させ、該保持面から該シートが剥離した際の該計測部によって計測される該エアーノズルの位置によってチャックテーブルの吸引力をチェックすることができる吸引力チェック装置が提供される。
【０００９】
該保持面から吸引源に至る経路に圧力計が配設され、該圧力計の検出値が上昇した場合に、該チャックテーブルから該シートが剥離したと判断することができる。また、該エアーノズルが噴射するエアーの流量を調整する流量調整手段が配設されるようにしてもよい。
【００１０】
また、上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法であって、エアーを噴射するエアーノズルを準備するエアーノズル準備工程と、該チャックテーブルの保持面にシートを吸引保持するシート保持工程と、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対して該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向に該エアーノズルを位置付けるノズル位置付け工程と、該エアーノズルからエアーを噴射しながら該チャックテーブルに接近させるノズル接近工程と、該保持面から該シートが剥離した際の該エアーノズルの位置を計測する計測工程と、を含み構成される吸引力チェック方法が提供される。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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