特許ウォッチ

公開番号2024130233
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039855
出願日2023-03-14
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240920BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】チャックテーブルの係合部とリングフレームの被係合部とが正常に係合しているか否かを判断し、両者が正常に係合していない場合には、加工を中止すること。
【解決手段】ワークセットWSを保持するチャックテーブル10と、ワークセットWSをチャックテーブル10に対して搬入または搬出する搬送機構90と、ウェーハWを加工する加工ユニット40,50,60とを備える加工装置1において、リングフレームFは、切り欠き部Faと被係合部Fbを備え、チャックテーブル10は、吸引部13と係合部17を備え、回転機構20によってチャックテーブル10とワークセットWSを相対的に所定角度回転させている際に、係合部17が被係合部Fbに係合したか否かを判断する判断部71と、該判断部71が、係合部17が被係合部Fbに係合していないと判断した際にそのことを作業者に通知する通知部72を備える制御ユニット70を備えている。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
リングフレームとウェーハとにテープを貼着して両者を一体化させたワークセットを保持するチャックテーブルと、
該ワークセットを搬送パッドで保持して該チャックテーブルに対して搬入または搬出する搬送機構と、
該チャックテーブルに保持された該ワークセットのウェーハを加工する加工ユニットと、
を備える加工装置であって、
該リングフレームは、外周に対称的に形成した少なくとも２つの切り欠き部と、周方向に隣接する該切り欠き部の間に形成された被係合部と、を備え、
該チャックテーブルは、該ワークセットのウェーハを保持面で吸引保持する吸引部と、該テープを引き伸ばして該保持面より下に位置づけた該リングフレームの被係合部が係合する係合部と、を備え、
該チャックテーブルの中心と該搬送パッドに保持された該ワークセットの中心とを通る軸を中心として該チャックテーブルと該ワークセットを相対的に回転させる回転機構と、
該回転機構によって該チャックテーブルと該ワークセットを相対的に所定角度回転させている際に、該係合部が被係合部に係合したか否かを判断する判断部とを備える、加工装置。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
該回転機構の回転トルクを測定するトルクセンサを備え、
該判断部は、
該トルクセンサによって測定された回転トルクが予め設定した係合トルクを超え予め設定した異常トルク以下のときに該係合部が被係合部に係合していると判断し、
該トルクセンサによって測定された回転トルクが該異常トルクを超えると該係合部に被係合部が接触して係合していないと判断し、
該トルクセンサによって測定された回転トルクが係合トルク以下のときに空振りによって該係合部が被係合部に係合していないと判断する、
請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該搬送パッドを昇降させる昇降機構と、
該昇降機構によって下降した該搬送パッドまたは該チャックテーブルに鉛直方向に作用する荷重を測定する荷重センサと、
を備え、
該判断部は、
該荷重センサによって測定された荷重が予め設定した係合荷重値を超え予め設定した異常荷重値以下のときに該係合部が被係合部に係合していると判断し、
該荷重センサによって測定された荷重が該異常荷重値を超えると該係合部が被係合部に接触して係合していないと判断し、
該荷重センサによって測定された荷重が係合荷重値以下のときに空振りによって該係合部が被係合部に係合していないと判断する、
請求項１記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルに保持されたワークセットのウェーハを加工するための加工装置に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、ウェーハの裏面（ＩＣやＬＳＩなどのデバイスが形成された面とは反対側の面）に対して研削や研磨などの加工が施されるが、薄いウェーハのハンドリング性や搬送性を高めるために、ウェーハとその周囲に配置されたリングフレームとを、これらに貼着されたテープによってワークセット（ワークユニット、フレームユニット）として一体化することが行われている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
ところで、ウェーハを加工する加工装置においては、ウェーハとその周囲に配置されたリングフレームとを、これらに貼着されたテープによって一体化したワークセットがチャックテーブルに保持されるが、チャックテーブルは、テープを介して保持面でウェーハを吸引保持するウェーハ保持部と、保持面より下でリングフレームを保持するフレーム保持部を備える。このようなチャックテーブルのフレーム保持部には、例えば、４つの係合部が周方向に等角度ピッチ（９０°ピッチ）で配置されており、リングフレームには、チャックテーブルの４つの係合部に対応する４つの円弧状の被係合部と、周方向に隣接する２つの係合部の間に配置された４つの切り欠き部（面取り部）が形成されている。
【０００４】
また、加工装置は、チャックテーブルに対してワークセットを搬入または搬出するための搬送機構を備えており、この搬送機構は、リングフレームの上面を吸引保持する複数の搬送パッドと、該搬送パッドを昇降させる昇降機構を備えている。そして、この搬送機構によってワークセットをチャックテーブルに保持させる際は、ワークセットを吸引保持した搬送パッドをチャックテーブルの上方から下降させ、ワークセットのリングフレームに形成された切り欠き部をチャックテーブルの係合部に通過させることによって、リングフレームの上面をチャックテーブルの保持面より下に下げた状態にする。
【０００５】
上記状態において、例えば、チャックテーブルとリングフレームとを相対的に所定角度（４５°）だけ回転させると、該チャックテーブルの４つの係合部がリングフレームの４つの被係合部にそれぞれ係合するため、リングフレームがチャックテーブルの係合部によって保持される。このとき、リングフレームはチャックテーブルの保持面の下に位置しているため、ワークセットのテープが引っ張られて該テープに張力（テンション）が作用する。したがって、リングフレームには、テープの張力によって該リングフレームをチャックテーブルの係合部に係合させる上向きの力が作用し、このことによってもワークセットがチャックテーブルに確実に保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１１－０４２００３号公報
特開２０２１－０９８２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、例えば、リングフレームに貼着されているテープの張力に偏りが生じている場合には、チャックテーブルの４つの係合部の１つがリングフレームの被係合部に係合せず、リングフレームがチャックテーブルの保持面よりも上に位置し、この状態のままウェーハを加工すると加工具が破損するなどの問題が発生する。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、チャックテーブルの係合部とリングフレームの被係合部とが正常に係合しているか否かを判断し、両者が正常に係合していない場合には、そのことを作業者に通知して加工を中止することによって加工具の破損などを防ぐことができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明は、リングフレームとウェーハとにテープを貼着して両者を一体化させたワークセットを保持するチャックテーブルと、該ワークセットを搬送パッドで保持して該チャックテーブルに対して搬入または搬出する搬送機構と、該チャックテーブルに保持された該ワークセットのウェーハを加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、該リングフレームは、外周に対称的に形成した少なくとも２つの切り欠き部と、周方向に隣接する該切り欠き部の間に形成された被係合部と、を備え、該チャックテーブルは、該ワークセットのウェーハを保持面で吸引保持する吸引部と、該テープを引き伸ばして該保持面より下に位置づけた該リングフレームの被係合部が係合する係合部と、を備え、該チャックテーブルの中心と該搬送パッドに保持された該ワークセットの中心とを通る軸を中心として該チャックテーブルと該ワークセットを相対的に回転させる回転機構と、該回転機構によって該チャックテーブルと該ワークセットとを相対的に所定角度回転させている際に、該係合部が被係合部に係合したか否かを判断する判断部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、回転機構によってチャックテーブルとワークセットを相対的に所定角度回転させている際に、例えば、回転機構の回転トルクをトルクセンサによって測定し、測定された回転トルクの値によって判断部がチャックテーブルの係合部がリングフレームの被係合部に係合したか否かを判断し、該判断部が、係合部が被係合部に係合していないと判断した際には、加工を中止または一時停止することができる。また、制御ユニットの通知部が判断部による判断結果である係合していないことを作業者に通知することによって、作業者は、加工を終了または係合されていないワークセットを取り除き加工を再開することができる。このため、チャックテーブルの係合部がリングフレームの被係合部に係合していない状態でウェーハの加工が行われることがなく、加工具の破損などの不具合の発生が確実に防がれる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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