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公開番号2024130076
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-30
出願番号2023039583
出願日2023-03-14
発明の名称真空生成装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類F04C 25/02 20060101AFI20240920BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】循環経路に新たに熱交換器を設置することなく、水封式真空ポンプの排水を封水に利用する。
【解決手段】吸引口と排出口と給水口とを有する水封式真空ポンプと、水封式真空ポンプで生成された真空が伝達される対象物と吸引口とを連通する吸引管部と、排出口と連通しており、排出口から排出される排水を貯めるための排水タンクと、排水タンクと給水口とに連通しており、排水タンクに貯められた排水を水封式真空ポンプに封水として循環させるための循環管部と、冷水供給源と給水口とに連通しており、水封式真空ポンプに封水としての冷水を供給するための給水管部と、を備え、吸引管部の一部は、排水タンク内に配置されており、水封式真空ポンプの使用時には、水封式真空ポンプによって加熱され排水タンクに貯められている排水を、真空気化冷却によって冷却された吸引管部によって冷却する真空生成装置を提供する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
真空を生成する真空生成装置であって、
吸引口と排出口と給水口とを有する水封式真空ポンプと、
該水封式真空ポンプで生成された真空が伝達される対象物と該吸引口とを連通する吸引管部と、
該排出口と連通しており、該排出口から排出される排水を貯めるための排水タンクと、
該排水タンクと該給水口とに連通しており、該排水タンクに貯められた該排水を該水封式真空ポンプに封水として循環させるための循環管部と、
冷水供給源と該給水口とに連通しており、該水封式真空ポンプに封水としての冷水を供給するための給水管部と、
を備え、
該吸引管部の一部は、該排水タンク内に配置されており、
該水封式真空ポンプの使用時には、該水封式真空ポンプによって加熱され該排水タンクに貯められている該排水を、真空気化冷却によって冷却された該吸引管部によって冷却することを特徴とする真空生成装置。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
該吸引管部は、該吸引管部を構成する管の材料に比べて高い熱伝導率の材料で形成された本体部を有する逆止弁を含み、
該逆止弁は、該排水タンク内に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の真空生成装置。
【請求項３】
該給水管部に設けられた開閉弁を含み、該冷水の流量を調整する冷水流量調整ユニットと、
該循環管部に設けられた温度センサを含み、該循環管部おける該排水の温度を検出する排水温度検出ユニットと、
該冷水流量調整ユニットを制御するコントローラと、を更に備え、
該コントローラは、該排水温度検出ユニットで検出された該排水の温度が所定の温度以上に達したときに該冷水流量調整ユニットによって該冷水の流量を増加させることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空生成装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を生成する真空生成装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の被加工物は、研削装置を用いて研削され、切削装置を用いて切削される。研削装置、切削装置等の加工装置は、通常、被加工物を負圧で吸引保持するための保持テーブルを備える。保持テーブルは、真空生成装置に接続されており、真空生成装置で発生させた負圧が保持テーブルに伝達される。
【０００３】
この様な真空生成装置において使用されるバキュームポンプ（即ち、真空ポンプ）としては、ケーシング内に配置された羽根車と、ケーシングに供給される封水と、を利用して負圧を発生させる水封式真空ポンプが一般的に用いられる。
【０００４】
水封式真空ポンプでは、封水として、例えば２０℃程度の冷水が使用される。水封式真空ポンプの使用に伴い、封水はケーシングから排水として排出されるので、排出された封水を補うために、新たな封水がケーシングに供給される。
【０００５】
ケーシングからの排水と、ケーシングに供給される封水とは、例えば、それぞれ５Ｌ／ｍｉｎ程度である。それゆえ、ケーシングからの排水を全て廃棄する場合には、比較的大量の水が消費される。そこで、ケーシングからの排水を封水へ循環させることで再使用することが考えられる。
【０００６】
しかし、水封式真空ポンプの使用に伴うモータ等の発熱によって、ケーシング内の封水は、１分間に２℃から３℃程度上昇する。これに加えて、水封式真空ポンプでは、正常に稼動する限界の温度（例えば、５０℃）が予め定められている。
【０００７】
それゆえ、ケーシングからの排水を封水へ単純に循環させただけでは、水封式真空ポンプがすぐに上述の限界の温度に到達し、長時間の稼働が困難となる。そこで、排水を封水として循環させる循環経路に熱交換器を設けて、排水を冷却した上で封水として再使用することが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００２－１４４１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、新たに熱交換器を設置することは、真空生成装置の製造コストを増大させる。本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、循環経路に新たに熱交換器を設置することなく、水封式真空ポンプの排水を封水に利用することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、真空を生成する真空生成装置であって、吸引口と排出口と給水口とを有する水封式真空ポンプと、該水封式真空ポンプで生成された真空が伝達される対象物と該吸引口とを連通する吸引管部と、該排出口と連通しており、該排出口から排出される排水を貯めるための排水タンクと、該排水タンクと該給水口とに連通しており、該排水タンクに貯められた該排水を該水封式真空ポンプに封水として循環させるための循環管部と、冷水供給源と該給水口とに連通しており、該水封式真空ポンプに封水としての冷水を供給するための給水管部と、を備え、該吸引管部の一部は、該排水タンク内に配置されており、該水封式真空ポンプの使用時には、該水封式真空ポンプによって加熱され該排水タンクに貯められている該排水を、真空気化冷却によって冷却された該吸引管部によって冷却する真空生成装置が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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