特許ウォッチ

公開番号2024126666
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2023035219
出願日2023-03-08
発明の名称フレームユニット及びフレームユニットの保持方法
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240912BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】シートを引き伸ばした状態で保持されるフレームユニットに含まれる板状物の端部がシートから剥離する蓋然性を低減することが可能なフレームユニットを提供する。
【解決手段】フレームユニットは、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に板状物が位置付けられ、かつ、平面視において開口の中心を基準として4回対称になるように設けられている4つの被挟持部を有するフレームと、板状物が延在する板状物延在方向と、開口の中心から4つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう4つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が板状物に固着され、かつ、外周領域がフレームに固着されているシートと、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
平面視において長方形状の板状物と、
中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、
該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、
を備えるフレームユニット。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
該板状物延在方向と、該４つの被挟持部方向のそれぞれと、がなす角が平面視において略４５度又は略１３５度となる請求項１に記載のフレームユニット。
【請求項３】
該フレームは、平面視において該開口の該中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの連結部をさらに有し、
該４つの被挟持部がそれぞれ延在する４つの被挟持部延在方向のそれぞれと、該４つの連結部がそれぞれ延在する４つの連結部延在方向のそれぞれと、がなす角が略４５度又は略１３５度となる請求項１又は２に記載のフレームユニット。
【請求項４】
平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットを保持するフレームユニットの保持方法であって、
テーブルに該シートの該外周領域を接触させることなく該中央領域を接触させるように、該テーブルに該フレームユニットを搬入する搬入ステップと、
該搬入ステップの後に、該シートを引き伸ばして該テーブルに該シートを押し付けるように、４つのクランプが該４つの被挟持部をそれぞれ挟持することによって、該フレームユニットを保持する保持ステップと、
を備えるフレームユニットの保持方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に板状物が位置付けられているフレームと、中央領域が板状物に固着され、かつ、外周領域がフレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、複数のデバイスが形成されているＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅＰａｃｋａｇｅ）基板又はＱＦＮ（ＱｕａｄＦｌａｔＮｏｎ－ｌｅａｄｅｄｐａｃｋａｇｅ）基板等の長方形状の板状物を複数のデバイスの境界に沿って分割することで製造される。
【０００３】
また、板状物及びそれから製造される複数のチップの取り扱いを容易にするために、板状物は、その分割に先立って、シートを介してフレームと一体化されることが多い。このように一体化された構造物は、フレームユニットとも呼ばれ、フレームの中央に形成されている開口に板状物が位置付けられるように、シートの中央領域を板状物に固着し、かつ、外周領域をフレームに固着することによって形成される。
【０００４】
そして、複数のチップは、例えば、切削装置においてフレームユニットを切削することによって製造される（例えば、特許文献１参照）。具体的には、まず、テーブル上においてシートを介して板状物を保持する。そして、板状物を貫通し、かつ、その底面がシートに位置付けられるような溝を複数のデバイスの境界に沿って形成するようにフレームユニットを切削する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－１４８１５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
切削ブレードによるフレームユニットの切削は、一般的に、その下端がシートに対応する高さに位置付けられた環状の切削ブレードを回転させながら、複数のデバイスの境界に沿ってフレームユニットを保持するテーブルと切削ブレードとを相対的に移動させることによって行われる。
【０００７】
ここで、フレームユニットにおいては、板状物を囲むようにフレームが存在する。そのため、この切削は、一般的に、切削ブレードをフレームに接触させないように、フレームを挟持するクランプを利用してフレームを板状物よりも下に位置付けた状態で行われる。
【０００８】
この場合、フレームの下への移動に伴って、外周領域がフレームに固着されているシートが引き伸ばされることになる。そして、シートの余剰分、具体的には、フレームのクランプによって挟持される部分（被挟持部）と板状物との間に存在する部分が少ないと、板状物の端部がシートから剥離するおそれがある。
【０００９】
この点に鑑み、本発明の目的は、シートを引き伸ばした状態で保持されるフレームユニットに含まれる板状物の端部がシートから剥離する蓋然性を低減することが可能なフレームユニット及びフレームユニットの保持方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面によれば、平面視において長方形状の板状物と、中央に形成されている開口に該板状物が位置付けられ、かつ、平面視において該開口の中心を基準として４回対称になるように設けられている４つの被挟持部を有するフレームと、該板状物が延在する板状物延在方向と、該開口の該中心から該４つの被挟持部の中心にそれぞれ向かう４つの被挟持部方向のそれぞれと、が非平行になるように、中央領域が該板状物に固着され、かつ、外周領域が該フレームに固着されているシートと、を備えるフレームユニットが提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許