特許ウォッチ

公開番号2024124739
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-13
出願番号2023032626
出願日2023-03-03
発明の名称感光性樹脂
出願人国立大学法人信州大学,日油株式会社
代理人個人,個人
主分類G03F 7/033 20060101AFI20240906BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】耐熱性に優れる感光性樹脂であって、耐薬品性及び密着性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂を提供する。
【解決手段】構成単位として、一般式(1)で示されるモノマー(A)と、(メタ)アクリル酸(B)と、一般式(2)で示されるモノマー(C-1)及び一般式(3)で示されるモノマー(C-2)からなる群から選択される少なくとも1種のモノマーとを含み、構成単位である前記モノマー(A)の含有量が3～30質量%、前記(メタ)アクリル酸(B)の含有量が1～40質量%、前記モノマー(C-1)と前記モノマー(C-2)の合計の含有量が30～92質量%であり、重量平均分子量が3,000～300,000である、感光性樹脂。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
構成単位として、
下記一般式（１）で示されるモノマー（Ａ）と、
（メタ）アクリル酸（Ｂ）と、
下記一般式（２）で示されるモノマー（Ｃ－１）及び下記一般式（３）で示されるモノマー（Ｃ－２）からなる群から選択される少なくとも１種のモノマーとを含み、
構成単位である前記モノマー（Ａ）の含有量が３～３０質量％、前記（メタ）アクリル酸（Ｂ）の含有量が１～４０質量％、前記モノマー（Ｃ－１）と前記モノマー（Ｃ－２）の合計の含有量が３０～９２質量％であり、
重量平均分子量が３，０００～３００，０００である、感光性樹脂。
JPEG
2024124739000009.jpg
37
65
（一般式（１）中、Ｘは単結合、又は酸素原子を示す。）
JPEG
2024124739000010.jpg
21
65
（一般式（２）中、Ｒ
１
は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ
２
は炭素数１～８の炭化水素基を示す。）
JPEG
2024124739000011.jpg
19
59
（一般式（３）中、Ｒ
３
は炭素数１～８の炭化水素基を示す。）
続きを表示（約 67 文字）【請求項２】
請求項１に記載の感光性樹脂、光重合開始剤、及び重合性化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性樹脂および感光性樹脂組成物に関する。より詳しくは、耐熱性に優れる感光性樹脂であって、耐薬品性および密着性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂、及び該感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物に関するものである。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
感光性樹脂組成物を活性エネルギー線により硬化して得られる硬化膜は、電子製品等の製造工程又は加工工程に用いられ、カラーフィルター、印刷版、プリント配線板、半導体素子、フォトレジスト等といった微細加工に用いられる。一般に、レジスト材料はマスクを用いた活性エネルギー線の照射により、露光部と未露光部のアルカリ溶液への溶解性の差を発現させることによってパターン化が行われ、一般に、現像性を得るために主原料にアルカリ可溶性樹脂を感光性樹脂に用いている。中でも、感光性樹脂として、ハンドリング性や現像性に優れるほか、高感度である観点からアクリル樹脂が多く用いられる。しかし、アクリル樹脂は熱により分解しやすいことから耐熱性に乏しい欠点がある。このため、製造プロセスの中でパターンに熱履歴がかかる加熱に対して変化が生じ難く、さらには露光現像の際に十分な基材への密着性と現像特性の維持や耐薬品性を有するようにするため、種々の検討が行われてきた。
【０００３】
耐熱性に優れたアクリル樹脂を得る方法として、特許文献１には酸基含有マレイミド単量体に由来する繰り返し単位を含む重合体を用いる方法や特許文献２には、α-メチレン-γ-ブチロラクトン単量体に由来する繰り返し単位を含む重合体を用いる方法が報告されている。しかし、これらの方法では、硬化膜の耐薬品性や密着性を十分に得ることができなかった。
一方で、特許文献３には耐薬品性を得るためにアクリル樹脂にエポキシ基を導入し、アクリル樹脂系内のカルボン酸基とエポキシ基を熱硬化することで耐薬品性や耐熱性を得る方法が報告されている。しかし、これらの方法では樹脂自身の安定性に乏しい問題や、パターン形成時の工程数の増加、さらには、熱硬化による反応時にパターン形状に変化が生じる問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１８９８８３号公報
特開２００９－６２５２９号公報
特開２０１８－４８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、耐熱性に優れる感光性樹脂であって、耐薬品性及び密着性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂、および該感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、前記課題を解決すべく検討した結果、特定構造のモノマーを構成単位として特定量含有する感光性樹脂を用いることにより上記課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明は、以下のものである。
【０００７】
［１］構成単位として、
下記一般式（１）で示されるモノマー（Ａ）と、
（メタ）アクリル酸（Ｂ）と、
下記一般式（２）で示されるモノマー（Ｃ－１）及び下記一般式（３）で示されるモノマー（Ｃ－２）からなる群から選択される少なくとも１種のモノマーとを含み、
構成単位である前記モノマー（Ａ）の含有量が３～３０質量％、前記（メタ）アクリル酸（Ｂ）の含有量が１～４０質量％、前記モノマー（Ｃ－１）と前記モノマー（Ｃ－２）の合計の含有量が３０～９２質量％であり、
重量平均分子量が３，０００～３００，０００である、感光性樹脂。
JPEG
2024124739000001.jpg
37
65
（一般式（１）中、Ｘは単結合、又は酸素原子を示す。）
JPEG
2024124739000002.jpg
21
65
（一般式（２）中、Ｒ
１
は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ
２
は炭素数１～８の炭化水素基を示す。）
JPEG
2024124739000003.jpg
19
59
（一般式（３）中、Ｒ
３
は炭素数１～８の炭化水素基を示す。）
［２］上記［１］に記載の感光性樹脂、光重合開始剤、及び重合性化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、耐熱性に優れる感光性樹脂であって、耐薬品性及び密着性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂、および該感光性樹脂を含む感光性樹脂組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を説明する。なお、本発明において「（メタ）アクリル」とは、アクリル及びメタクリルを包含する総称であり、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート及びメタクリレートを包含する総称である。
【００１０】
＜感光性樹脂＞
本発明の感光性樹脂は、その構成単位として、下記一般式（１）で示されるモノマー（Ａ）と、（メタ）アクリル酸（Ｂ）と、（メタ）アクリル酸（Ｂ）と共重合可能な下記一般式（２）で示されるモノマー（Ｃ－１）及び下記一般式（３）で示されるモノマー（Ｃ－２）からなる群から選択される少なくとも１種のモノマーとを含む。
より詳細には、本発明の感光性樹脂は、モノマー（Ａ）と、（メタ）アクリル酸（Ｂ）と、モノマー（Ｃ－１）及びモノマー（Ｃ－２）からなる群から選択される少なくとも１種のモノマーとを構成単位として含む共重合体である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許