特許ウォッチ

公開番号2024117835
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-29
出願番号2024103464,2022154799
出願日2024-06-27,2018-06-13
発明の名称光源装置
出願人日亜化学工業株式会社
代理人
主分類H01S 5/40 20060101AFI20240822BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】十分なスペックルノイズの軽減を期待できる光源装置提供する。
【解決手段】基板12と、基板12上に載置されたサブマウント40A、B及びサブマ
ウント40A、B上に載置された半導体レーザ素子30を含むレーザ光源100A、Bと
、を備え、複数のレーザ光源100A、Bが個々に独立して基板12上に配置され、隣接
して配置された同一波長帯の光を出射するレーザ光源100A、Bにおいて、個々のレー
ザ光源100A、Bの半導体レーザ素子30及び基板12の間の熱抵抗が異なる光源装置
1を提供する。

【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
それぞれが、サブマウントと、前記サブマウント上に載置される半導体レーザ素子とを備える、３以上のレーザ光源と、
前記３以上のレーザ光源が一方向に並べて配置される基板と、を有し、
前記３以上のレーザ光源には、
前記サブマウントである第１サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第１半導体レーザ素子とを備える１以上の第１レーザ光源と、
前記サブマウントである第２サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第２半導体レーザ素子とを備える１以上の第２レーザ光源と、
前記サブマウントである第３サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第３半導体レーザ素子とを備える１以上の第３レーザ光源と、
が含まれ、
前記第１レーザ光源、第２レーザ光源、及び第３レーザ光源は、いずれも同一波長帯の光を出射し、かつ、いずれも異なる発光波長の光を出射して、スペックルノイズを抑制し、
前記１以上の第１レーザ光源、前記１以上の第２レーザ光源、及び前記１以上の第３レーザ光源は、第１レーザ光源、第２レーザ光源、及び第３レーザ光源の順に配置される配置パターンが繰り返されるようにして、前記基板に配置される、光源装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
それぞれが、サブマウントと、前記サブマウント上に載置される半導体レーザ素子とを備える、３以上のレーザ光源と、
前記３以上のレーザ光源が一方向に並べて配置される基板と、を有し、
前記３以上のレーザ光源には、
前記サブマウントである第１サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第１半導体レーザ素子とを備える１以上の第１レーザ光源と、
前記サブマウントである第２サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第２半導体レーザ素子とを備える１以上の第２レーザ光源と、
前記サブマウントである第３サブマウントと、前記半導体レーザ素子である第３半導体レーザ素子とを備える１以上の第３レーザ光源と、
が含まれ、
前記第１レーザ光源、第２レーザ光源、及び第３レーザ光源は、いずれも同一波長帯の光を出射し、かつ、いずれも異なる発光波長の光を出射して、スペックルノイズを抑制し、
前記１以上の第１レーザ光源、前記１以上の第２レーザ光源、及び前記１以上の第３光源は、第１レーザ光源、第２レーザ光源、及び第３レーザ光源の順に配置される第１配置パターンと、前記第２レーザ光源、前記第１レーザ光源、及び前記第３レーザ光源の順に配置される第２配置パターンとが、交互に繰り返されるようにして、前記基板に配置される、光源装置。
【請求項３】
前記３以上のレーザ光源は、前記第１方向に並ぶ４以上の前記レーザ光源を含み、
前記１以上の第１レーザ光源は、２以上の前記第１レーザ光源を含む、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記３以上のレーザ光源は、前記第１方向に並ぶ５以上の前記レーザ光源を含み、
前記１以上の第１レーザ光源は、２以上の前記第１レーザ光源を含み、
前記１以上の第２レーザ光源は、２以上の前記第２レーザ光源を含む、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項５】
前記３以上のレーザ光源は、前記第１方向に並ぶ６以上の前記レーザ光源を含み、
前記１以上の第１レーザ光源は、２以上の前記第１レーザ光源を含み、
前記１以上の第２レーザ光源は、２以上の前記第２レーザ光源を含み、
前記１以上の第３レーザ光源は、２以上の前記第３レーザ光源を含む、請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項６】
前記同一波長帯の光は、青色光、緑色光、または、赤色光のいずれかである、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の発光装置。
【請求項７】
前記３以上のレーザ光源には、青色光を出射する複数のレーザ光源、緑色光を出射する複数のレーザ光源、及び赤色光を出射する複数のレーザ光源が含まれる、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の発光装置。
【請求項８】
上面視で、前記３以上のレーザ光源が並ぶ方向と垂直な方向に、前記レーザ光源から離れた位置で、前記基板に配置される複数のミラーを備える、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の発光装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザを備えた光源装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体レーザを備えた光源装置が、様々な産業分野で用いられている。その中には、同一波長帯の光を出射する半導体レーザ素子を複数備えた光源装置がある。その中でも、複数の半導体レーザ素子が横に並んで一体的に形成された半導体レーザアレイ及びこの半導体レーザアレイの下面に接したヒートシンクを備え、ヒートシンクの材質を、半導体レーザアレイの横方向における中央領域及び端部領域で異ならせた光源装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
ＷＯ２０１５／０６３９７３公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の光源装置では、半導体レーザアレイの横方向で放熱効率が不均一になるので、半導体レーザ素子の波長幅が広がり、スペックルノイズが軽減できる。しかし、半導体レーザアレイの中央領域と端部領域でヒートシンクの材質を異ならせるだけなので、材質が変わる箇所を除いて、隣接する半導体レーザ素子は同じ材質のヒートシンクに接している。よって、隣接する多くの半導体レーザ素子の放熱効率はさほど変わらず、出射する光の波長もさほど変化しないので、十分なスペックルノイズの軽減は実現することができない。
【０００５】
本開示は、上記問題に鑑みてなされたものであり、十分なスペックルノイズの軽減を期待できる光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の一態様に係る光源装置では、
基板と、
前記基板上に載置されたサブマウント及び前記サブマウント上に載置された半導体レーザ素子を含むレーザ光源と、
を備え、
複数の前記レーザ光源が個々に独立して前記基板上に配置され、
隣接して配置された同一波長帯の光を出射する前記レーザ光源において、個々の前記レーザ光源の前記半導体レーザ素子及び前記基板の間の熱抵抗が異なる。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように本開示では、十分なスペックルノイズの軽減を期待できる光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１の実施形態に係る光源装置の一部を模式的に示す側面図である。
本発明の第２の実施形態に係る光源装置の一部を模式的に示す側面図である。
本発明の第３の実施形態に係る光源装置の一部を模式的に示す側面図である。
熱抵抗が異なる２種類のレーザ光源による配置パターンの一例を模式的に示す側面図である。
熱抵抗が異なる３種類のレーザ光源による配置パターンの一例を模式的に示す側面図である。
熱抵抗が異なる３種類のレーザ光源による配置パターンのその他の例を模式的に示す側面図である。
各々のレーザ光源に対応したコリメートレンズを備える光源装置の一例を模式的に示す平面図である。
図５Ａ中のＡ－Ａ断面図である。
図５Ａ中のＢ－Ｂ断面図である。
図５Ａ中のＣ－Ｃ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための実施形態や実施例を説明する。なお、以下に説明する光源装置は、本発明の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本発明を以下のものに限定しない。
各図面中、同一の機能を有する部材には、同一符号を付している場合がある。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態や実施例に分けて示す場合があるが、異なる実施形態や実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせは可能である。後述の実施形態や実施例では、前述と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態や実施例ごとには逐次言及しないものとする。各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張して示している場合もある。
【００１０】
（第1の実施形態に係る光源装置）
はじめに、図１を参照しながら、本発明の第１の実施形態に係る光源装置について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る光源装置の一部を模式的に示す側面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許