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公開番号2024115911
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-27
出願番号2023021814
出願日2023-02-15
発明の名称搬送装置、システム、物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人近島国際特許事務所
主分類H10K 71/13 20230101AFI20240820BHJP()
要約【課題】例えば塗布装置から次工程の処理装置に基板を搬送する際に、塗布装置からの搬出方向と処理装置への搬入方向が異なる方向になるように搬送しても、バンクからインクが溢れにくい技術が求められていた。
【解決手段】凹部に液体が付与された基板を平面視で第1の方向に沿って第1処理部から搬出し、前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って前記基板を第2処理部に搬入する、搬送機構を備え、前記搬送機構は、前記第1の方向に沿って前記基板を搬出する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第1の方向と交差する向きになるように前記基板を保持し、前記第2の方向に沿って前記基板を搬入する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第2の方向と交差する向きになるように前記基板を保持する、ことを特徴とする搬送装置である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
凹部に液体が付与された基板を平面視で第１の方向に沿って第１処理部から搬出し、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って前記基板を第２処理部に搬入する、搬送機構を備え、
前記搬送機構は、前記第１の方向に沿って前記基板を搬出する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第１の方向と交差する向きになるように前記基板を保持し、前記第２の方向に沿って前記基板を搬入する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第２の方向と交差する向きになるように前記基板を保持する、
ことを特徴とする搬送装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記搬送機構は、前記基板を平面視において回転させる回転機構を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬送機構は、前記第１の方向に沿って前記基板を搬出する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第１の方向と直交する向きになるように前記基板を保持し、前記第２の方向に沿って前記基板を搬入する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第２の方向と直交する向きになるように前記基板を保持する、
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記搬送機構は、加速度が所定の範囲内になるように制限して前記基板を搬送する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記搬送機構は、前記基板を搬送させる際における前記基板のたわみに応じて、前記基板を搬送する際の加速度を制限する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記搬送機構は、前記基板のたわみを計測する計測手段を備える、
ことを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記搬送機構は、加速度が所定の範囲内になるように制限して前記基板を回転させる、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記液体は、機能材料を含んだ液体である、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記液体は、有機ＥＬ素子の正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層のいずれかを形成するための液体である、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記凹部は、バンクにより区画された凹部である、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば表示装置に用いる基板を搬送する装置、基板に処理を施した物品の製造システム、製造方法、等に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式により基板に有機材料を塗布して有機ＥＬ表示装置を作成することが知られている。
【０００３】
特許文献１には、インクジェット方式により有機材料が塗布された基板の良否を判定するための検査システムが記載されている。具体的には、有機材料が塗布された基板をインクジェット塗布装置から搬出し、方向転換装置を介して基板の向きを変えてから搬送装置で基板を検査装置に搬入することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－９０２８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、インクジェット方式で有機ＥＬ表示装置を製造する場合には、基板に形成されたバンク（土手）で囲まれた領域にインクを付与し、隣接領域（例えば隣接画素）にインクが漏洩しないようにして塗り分けが行われる。
【０００６】
特許文献１では、塗布装置から検査装置に基板を搬送させる際に、方向転換装置を介して基板の向きを変え、インクジェット塗布装置からの搬出方向と検査装置への搬入方向が異なる方向になるようにして搬送を行っている。製造のタクトタイムを短縮するためには、インクジェット塗布装置から検査装置への基板の搬送を高速に行うことが望まれるが、インクジェット塗布装置でインクを塗布した直後には、基板上のインクは液相のままであり流動的である。そのため、インクジェット塗布装置からの搬出方向と検査装置への搬入方向が異なる方向になるようにして基板を搬送する際に、搬送速度を高くしようとすると、バンクで囲まれた領域からインクが溢れて、隣接領域に漏出してしまうことがあった。バンクで囲まれた領域からインクが溢れて不良品になるのを防止しようとすると、搬送速度を高くできず、量産スピードが低下してしまうことになった。
【０００７】
係る問題は、塗布装置から検査装置に基板を搬送する場合に限り生じるわけではなく、塗布装置から検査装置以外の処理装置に基板を搬送する場合にも発生し得る問題であった。あるいは、塗布した液体が未乾燥の基板を、次工程の装置に搬送する場合にも発生し得る問題であった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、凹部に液体が付与された基板を平面視で第１の方向に沿って第１処理部から搬出し、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って前記基板を第２処理部に搬入する、搬送機構を備え、前記搬送機構は、前記第１の方向に沿って前記基板を搬出する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第１の方向と交差する向きになるように前記基板を保持し、前記第２の方向に沿って前記基板を搬入する際に、平面視における前記凹部の長手方向が前記第２の方向と交差する向きになるように前記基板を保持する、ことを特徴とする搬送装置である。
【０００９】
また、本発明の第２の態様は、搬送機構が、凹部に液体が付与された基板を平面視で第１の方向に沿って第１処理部から搬出し、前記第１の方向とは異なる第２の方向に沿って前記基板を第２処理部に搬入する際に、前記搬送機構は、平面視における前記凹部の長手方向が前記第１の方向と交差する向きになるように前記基板を保持して前記第１処理部から前記基板を搬出し、平面視における前記凹部の長手方向が前記第２の方向と交差する向きになるように前記基板を保持して前記第２処理部に前記基板を搬入する、ことを特徴とする物品の製造方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば塗布装置から次工程の処理装置に基板を搬送する際に、塗布装置からの搬出方向と処理装置への搬入方向が異なる方向になるように搬送しても、バンクからインクが溢れにくい技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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