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公開番号2024098675
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-24
出願番号2023002305
出願日2023-01-11
発明の名称圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01L 27/00 20060101AFI20240717BHJP(測定;試験)
要約【課題】キャラクタリゼーションで温度を一定にする対象物の熱容積が小さい状態でキャラクタリゼーションを行うことが可能な圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールを提供する。
【解決手段】基板34の第1の面34a上に載置されたセンサパッケージ41を有し、基板34の第1の面34aの反対側に突出したのち屈曲して先端に第1、第2のワッシャ63,64が設けられた第1、第2の導圧パイプ61,62を有する圧力センサ12を収容する。基板34の周縁部と係合して基板34の第1の面34a側を覆う基板カバー16を備える。第1、第2のワッシャ63,64を挿通するとともに、外部からの流体圧力が伝達されることを可能とする第9、第10の貫通孔82,83(ワッシャ挿通孔)とを有し、かつ、基板34を挟んで基板カバー16と反対側に設置され基板34を保持する基板ホルダ35を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
基板の第１の面上に載置されたセンサパッケージを有しかつ前記センサパッケージから前記基板に形成された切欠き又は孔を通して前記基板の第１の面の反対側に突出したのち屈曲して前記基板の第１の面の反対側の第２の面に対して平行に延伸して先端にワッシャが設けられた圧力導入パイプを有する圧力センサを収容し、この圧力センサのキャラクタリゼーションを行うために用いられる圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールであって、
前記基板の周縁部と係合して前記基板の第１の面側を覆う基板カバーと、
前記圧力導入パイプの前記ワッシャを挿通するとともに、外部からの流体圧力が前記圧力導入パイプに伝達されることを可能とするワッシャ挿通孔を有し、かつ、前記基板を挟んで前記基板カバーと反対側に設置され前記基板を保持する基板ホルダと
を備えたことを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板カバー、前記基板、および、前記基板ホルダは、前記基板カバー、前記基板、および、前記基板ホルダを貫通する貫通孔に挿入される締結部材により結合されて一体化される
ことを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項３】
請求項２に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記締結部材は、前記基板カバーと、前記基板と、前記基板ホルダとの一端部どうしを結合しており、
前記基板カバーの他端側で前記基板を厚み方向の両側から挟んで保持する第１のストッパー部と、
前記基板ホルダの他端側で前記基板の前記第２の面に当接する第２のストッパー部とを有していることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項４】
請求項３に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板カバーと前記基板ホルダとには、前記圧力センサが搭載される圧力測定装置に形成された内周面に嵌合する嵌合部が形成されていることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項５】
請求項１に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板カバーと前記基板ホルダは一体成形され、
前記基板は前記基板カバーと前記基板ホルダ間に形成された溝部に一端部を装着して保持されることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項６】
請求項５に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板カバーと前記基板ホルダとには、前記圧力センサが搭載される圧力測定装置に形成された内周面に嵌合する嵌合部が形成されていることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項７】
請求項１～６の何れか一つに記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板ホルダの底面には、キャラクタリゼーション装置のステージ部上面に形成された凸部または凹部と係合して前記ステージ部上の位置決めを行うための凹部または凸部を有する位置決め部が設けられていることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項８】
請求項７に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記基板の第２の面側および前記基板ホルダを覆うとともに前記基板カバーと結合して保護ハウジングを形成する保護ケースを更に設けたことを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項９】
請求項８に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記保護ケースの底面には前記基板ホルダの底面に設けられた前記位置決め部を露出させる開口が形成されていることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。
【請求項１０】
請求項９に記載の圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、
前記保護ケースの天井面には前記基板ホルダの底面に設けられた前記位置決め部を垂直に投影した対向部位に開口が形成されていることを特徴とする圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュール。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに対してキャラクタリゼーションを行うために用いる圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
工業用の圧力計は、例えば特許文献１に記載されているように、圧力を検出するためにＳｉなどで構成されるセンサ素子を備えている。この種の圧力計は、製造工程が終了した後、キャラクタリゼーションと呼ばれる補正を行ってから次の工程に送られる。キャラクタリゼーションは、周囲の温度や圧力などの周囲の環境の影響を除去するために行われる。
【０００３】
特許文献１に示す圧力測定装置は、図２７に示すように、センサ素子１を収容するセンサヘッダー２と、センサヘッダー２を支持する金属ボディ３およびカバー４などを備えている。この圧力測定装置５は、センサ素子１を測定媒体など外部腐食環境から保護するために、センサ素子１をセンサヘッダー２に収容し、さらに、ステンレス鋼などによって形成された金属ボディ３にセンサヘッダー２が内包される構成が採られている。金属ボディ３内の導圧路６には、センサ素子１に圧力を伝達する圧力伝達媒体としてオイル７が封入されている。センサ素子１は、センサヘッダー２内の配線８を介してカバー４の外部出力ピン９に電気的に接続されている。
【０００４】
特許文献１に示す圧力測定装置５のセンサヘッダー２は、金属ボディ３およびカバー４に溶接して固定されている。この圧力測定装置５においてセンサ素子１のキャラクタリゼーションは、センサヘッダー２を金属ボディ３およびカバー４に溶接した後に外部出力ピン９にキャラクタリゼーション用の基板（図示せず）を接続して行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－１８７０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された圧力測定装置５では、センサヘッダー２が金属ボディ３およびカバー４に溶接された後にセンサ素子１のキャラクタリゼーションが行われる。このため、キャラクタリゼーションを行うにあたっては、金属ボディ３およびカバー４などの温度もセンサ素子と同温度に保持しなければならない。すなわち、特許文献１に示す圧力測定装置５では、キャラクタリゼーションを行う設備が大型化するとともに、キャラクタリゼーションで温度を一定にする対象物の熱容積が大きいために温度安定化に長い時間が必要になるという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、キャラクタリゼーションで温度を一定にする対象物の熱容積が小さい状態でキャラクタリゼーションを行うことが可能な圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために本発明に係る圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールは、基板の第１の面上に載置されたセンサパッケージを有しかつ前記センサパッケージから前記基板に形成された切欠き又は孔を通して前記基板の第１の面の反対側に突出したのち屈曲して前記基板の第１の面の反対側の第２の面に対して平行に延伸して先端にワッシャが設けられた圧力導入パイプを有する圧力センサを収容し、この圧力センサのキャラクタリゼーションを行うために用いられる圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールであって、前記基板の周縁部と係合して前記基板の第１の面側を覆う基板カバーと、前記圧力導入パイプの前記ワッシャを挿通するとともに、外部からの流体圧力が前記圧力導入パイプに伝達されることを可能とするワッシャ挿通孔を有し、かつ、前記基板を挟んで前記基板カバーと反対側に設置され前記基板を保持する基板ホルダとを備えたものである。
【０００９】
本発明は、前記圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、前記基板カバー、前記基板、および、前記基板ホルダは、前記基板カバー、前記基板、および、前記基板ホルダを貫通する貫通孔に挿入される締結部材により結合されて一体化されてもよい。
【００１０】
本発明は、前記圧力センサのキャラクタリゼーション用モジュールにおいて、前記締結部材は、前記基板カバーと、前記基板と、前記基板ホルダとの一端部どうしを結合しており、前記基板カバーの他端側で前記基板を厚み方向の両側から挟んで保持する第１のストッパー部と、前記基板ホルダの他端側で前記基板の前記第２の面に当接する第２のストッパー部とを有していてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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