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公開番号2024146332
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023059166
出願日2023-03-31
発明の名称気体流量調整機構
出願人株式会社チノー
代理人
主分類G01N 27/18 20060101AFI20241004BHJP(測定;試験)
要約【課題】熱伝導式のセンサでは、配管のガス流量が多くなると、センサの測定素子の温度低下が大きくなり、適切な測定ができないことが問題となっていた。
【解決手段】測定対象流体の物理量を測定する測定部と、測定対象流体が流れる本体流路管と、本体流路管から分岐し測定部へ測定対象流体を導入する導入管と、導入管内から本体流路管内にかけて設置され、導入管と平行する回転軸で回転することで、導入管への気体流量を増減させ、測定部へ導入される測定対象流体の流量を制御する流体導入量制御板と、からなる流体流量調整機構を提供する。
【選択図】図1B
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象流体の物理量を測定する測定部と、
測定対象流体が流れる本体流路管と、
本体流路管から分岐し測定部へ測定対象流体を導入する導入管と、
導入管内から本体流路管内にかけて設置され、導入管と平行する回転軸で回転することで、導入管への気体流量を増減させ、測定部へ導入される測定対象流体の流量を制御する流体導入量制御板と、
からなる流体流量調整機構。
続きを表示（約 130 文字）【請求項２】
前記流体導入量制御板は、先端部に屈曲部を有する請求項１に記載の流体流量調整機構。
【請求項３】
前記流体導入量制御盤は、本体流路管内の流体の圧損を減らすための流路孔を有する請求項１または２に記載の流体流量調整機構。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱伝導式センサへの気体流量を調整する機構に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
熱伝導を利用したセンサは、加熱した検知素子の近傍を流れる気体により、検知素子に生じた温度変化を計測することで、測定を行う。近年の半導体加工技術を利用したマイクロマシニング技術を利用することにより検知素子の小型化が可能になり、ガスセンサや湿度センサに利用されている。
【０００３】
例えば、特開２００８－２３３０５７（特許文献１）には、真空度、気体や液体の流量などの物理量を計測するための高感度、高精度、計測範囲拡大ができるような熱伝導型センサとこれを用いた熱伝導型計測装置が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００８－２３３０５７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
熱伝導式センサでは、小型化した検知素子が採用されていることより、検知素子の近傍を流れる気体の流量が設計の想定より多くなると、検知素子の温度変化が大きくなり、正確な測定ができなくなる問題点があった。例えば、熱伝導式ガスセンサは、水素などの可燃性の気体を検出するために使われることが多く、熱伝導式ガスセンサの近傍では、気体が自然拡散状態で存在することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、配管から熱伝導式センサへの流れる気体流量を調節することで、熱伝導式センサを適切に動作できるようにする機構が必要となる。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載された気体流量調整機構は、測定対象気体の物理量を測定する測定部と、測定対象気体が流れる本体流路管と、本体流路管から分岐し測定部へ測定対象流体を導入する導入管と、導入管内から本体流路管内にかけて設置され、導入管と平行する上下方向に可動し、本体流路管の流路断面の流路面積を増減させ、測定部へ導入される測定対象流体の流量を制御する気体導入量制御板と、からなることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に記載された、気体流量調整機構は、先端部に屈曲部を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３に記載された、気体流量調整機構は、本体流路管内の流体の圧損を減らすための流路孔を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、配管に大流量の気体が流れていても、その気体に関する物理量を測定する熱伝導式センサを設計値通りに動作させることを可能とする気体流量調整機構を提供する。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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