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公開番号2024145696
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-15
出願番号2023058159
出願日2023-03-31
発明の名称熱分析システム
出願人株式会社島津製作所
代理人個人
主分類G01N 1/00 20060101AFI20241004BHJP(測定;試験)
要約【課題】熱重量測定装置の加熱部内が大気圧の状態で、加熱部内の試料から発生する試料ガスを分析することができる熱分析システムを提供する。
【解決手段】供給管3は、熱重量測定装置1の加熱部11内と分析装置2とを接続し、加熱部11内で加熱された試料から発生する試料ガスを分析装置2に供給する。スプリット管231は、加熱部11内と供給管3との間の流路から分岐し、加熱部11内から供給管3に向かって流れる試料ガスの一部を流出させる。真空ポンプ13は、スプリット管231に連通し、加熱部11内を減圧する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
熱重量測定装置の加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスを分析装置において分析する熱分析システムであって、
前記加熱部内と前記分析装置とを接続し、前記加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスを前記分析装置に供給する供給管と、
前記加熱部内と前記供給管との間の流路から分岐し、前記加熱部内から前記供給管に向かって流れる試料ガスの一部を流出させるスプリット管と、
前記スプリット管に連通し、前記加熱部内を減圧する真空ポンプとを備える、熱分析システム。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記スプリット管に接続され、当該スプリット管を介して前記加熱部内の圧力を制御するフローコントローラをさらに備える、請求項１に記載の熱分析システム。
【請求項３】
前記フローコントローラには、前記スプリット管から流入する試料ガスを流出させるベント管が接続されており、
前記ベント管が前記真空ポンプに連通する、請求項２に記載の熱分析システム。
【請求項４】
前記フローコントローラには、前記加熱部内に連通するパージ管が接続されている、請求項３に記載の熱分析システム。
【請求項５】
前記分析装置は、前記供給管から供給される試料ガスにキャリアガスを混合させるための試料気化室を有し、
前記試料気化室に接続され、当該試料気化室及び前記供給管を介して前記加熱部内の圧力を制御するフローコントローラをさらに備える、請求項１に記載の熱分析システム。
【請求項６】
前記フローコントローラには、前記試料気化室から流入する試料ガスを流出させるベント管が接続されており、
前記ベント管が前記真空ポンプに連通する、請求項５に記載の熱分析システム。
【請求項７】
前記スプリット管が前記ベント管に連通する、請求項６に記載の熱分析システム。
【請求項８】
前記加熱部内にキャリアガスを供給するガス供給部をさらに備える、請求項５に記載の熱分析システム。
【請求項９】
前記フローコントローラは、前記加熱部内が大気開放される前に、前記試料気化室内が正圧になるように制御する、請求項５に記載の熱分析システム。
【請求項１０】
前記フローコントローラは、前記分析装置に備えられている、請求項２又は５に記載の熱分析システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱重量測定装置の加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスを分析装置において分析する熱分析システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
熱重量測定装置においては、加熱部内で試料を加熱し、その際の試料の重量の変化を測定することにより、試料の熱分析を行うことができる。この種の熱重量測定装置と、ガスクロマトグラフ質量分析装置などの分析装置とを組み合わせることにより、熱重量測定装置の加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスの分析を行う熱分析システムが知られている（例えば、下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平６－３００７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような熱分析システムを用いて分析を行う場合、熱重量測定装置の加熱部内にキャリアガスが供給され、加熱部内で試料から発生した試料ガスが、キャリアガスとともに分析装置へと供給される。熱重量測定装置の加熱部内と分析装置とは供給管により接続され、当該供給管を介して加熱部内の試料ガスが分析装置に供給される。
【０００５】
分析中は、加熱部内の温度上昇に伴い、試料の分解反応の他、昇華、蒸発、酸化反応などの各種反応が起こり、その結果、試料の質量変化といった材料特性の変化が生じる。このとき、加熱部内の圧力変化に伴う試料の体積変化によって、試料の物理的変化や化学反応に影響を及ぼす場合がある。そのため、分析中の加熱部内の圧力は、大気圧であることが好ましい。
【０００６】
しかしながら、上記のように加熱部内にキャリアガスを供給しながら分析を行う場合には、加熱部内が加圧された状態となるため、加熱部内が大気圧の状態で分析を行うことは困難であった。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、熱重量測定装置の加熱部内が大気圧の状態で、加熱部内の試料から発生する試料ガスを分析することができる熱分析システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、熱重量測定装置の加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスを分析装置において分析する熱分析システムであって、供給管と、スプリット管と、真空ポンプとを備える。前記供給管は、前記加熱部内と前記分析装置とを接続し、前記加熱部内で加熱された試料から発生する試料ガスを前記分析装置に供給する。前記スプリット管は、前記加熱部内と前記供給管との間の流路から分岐し、前記加熱部内から前記供給管に向かって流れる試料ガスの一部を流出させる。前記真空ポンプは、前記スプリット管に連通し、前記加熱部内を減圧する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の第１の態様によれば、真空ポンプを用いて熱重量測定装置の加熱部内を減圧することにより、加熱部内が大気圧の状態で、加熱部内の試料から発生する試料ガスを分析することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態に係る熱分析システムの構成例を示した概略図である。
第２実施形態に係る熱分析システムの構成例を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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