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公開番号2024135624
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-04
出願番号2023046408
出願日2023-03-23
発明の名称検出システム
出願人株式会社カネカ
代理人個人
主分類G01N 21/88 20060101AFI20240927BHJP(測定;試験)
要約【課題】より簡易に検出対象の検出が可能な検出システムを提供する。
【解決手段】板状のワークを載置する載置部と、載置部とワークを挟んで対向する検出部を有し、載置部を検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向のワークの第1端部を検出する、検出システムにおいて、検出部は、ワークを載置部に載置した状態において、交差方向に載置部とワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、載置部及びワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、拡散光源部側から載置部に向かって延び、かつ交差方向におけるワークの第1端部の近傍に設けられた第1遮光部を備える構成とする。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
板状のワークを載置する載置部と、前記載置部と前記ワークを挟んで対向する検出部を有し、前記載置部を前記検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向の前記ワークの第１端部を検出する、検出システムであって、
前記検出部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向に前記載置部と前記ワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、前記載置部及び前記ワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延び、かつ前記交差方向における前記ワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える、検出システム。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記検出部は、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第２遮光部を有し、
前記第２遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向における前記ワークの第１端部とは反対側の第２端部の近傍に設けられている、請求項１に記載の検出システム。
【請求項３】
前記検出部は、前記交差方向において、前記第１遮光部と前記第２遮光部の間に前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第３遮光部を備える、請求項２に記載の検出システム。
【請求項４】
前記拡散光源部は、前記交差方向に延び、線状又は帯状に発光可能な発光領域を有し、
前記第１遮光部の少なくとも一部は、前記載置部側からみて前記発光領域の前記交差方向における中間部と重なる位置に設けられている、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項５】
前記第１遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記ワークの第１端部よりも前記交差方向の内側に位置している、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項６】
前記ワークは、前記撮像部と対向する被撮像面と、前記第１端部が属する第１端面を有し、
前記移動方向から視たときに、前記被撮像面と前記第１端面でなす角部と、前記第１遮光部の延び方向の先端面と前記交差方向の内側面でなす角部とを結んだ直線は、前記被撮像面に対する角度が４５度以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項７】
前記第１遮光部の延び方向の先端部と前記ワークとの最短距離は、０ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。
【請求項８】
前記ワークは、平均厚みが０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の検出システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品の検査等に用いられる検出システムに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、製品の検査において、カメラでワークの画像を撮影し、画像を解析して製品の不具合を検出する方法が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、シャドウマスクの表孔の形状欠陥を検査する表面欠陥の検査方法が開示されている。この表面欠陥の検査方法では、シャドウマスクを試料とし、線状照明手段が照射する拡散光によって反射明視野照明し、線状領域撮像手段によって試料面の検査領域を撮影して撮影画像を得る。そして、得られた撮影画像の画像データを画像処理し、撮影画像からシャドウマスクの表孔部形状不良を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－２５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、従来の検査装置、検出システムでは、微細な凹凸のある製品（ワーク）であり、平面的に広範囲に広がる製品の検査において、装置を大がかりなものにすることなく、より簡易な構造の装置で検出対象を検出したいという欲求があった。すなわち、多数の照明手段を設ける等することなく、簡易な構造の装置で検出対象を検出したいという欲求である。
また、従来の検査装置、検出システムでは、微細な凹凸のある製品であり、平面的に広範囲に広がる製品の検査において、制御を複雑化することなく、検出対象を検出したいという欲求があった。すなわち、それぞれ異なる角度から何度も対象部分を撮影する等の制御を行うことなく、簡易な制御で検出対象を検出したいという欲求である。
【０００６】
そこで本発明は、簡易に検出対象の正確な検出が可能な検出システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の一つの様相は、板状のワークを載置する載置部と、前記載置部と前記ワークを挟んで対向する検出部を有し、前記載置部を前記検出部に対して相対的に移動させて、移動方向に対する交差方向の前記ワークの第１端部を検出する、検出システムであって、前記検出部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向に前記載置部と前記ワークを跨るように拡散光を照射可能な拡散光源部と、前記載置部及び前記ワークでの反射光を受光して撮像する撮像部と、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延び、かつ前記交差方向における前記ワークの第１端部の近傍に設けられた第１遮光部を備える、検出システムである。
なお、ここでいう「第１端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第１端部と近い位置であり、同平面視において第１端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
【０００８】
本様相によれば、第１端部及びその周辺を撮像して画像を得るとき、得られた画像の解析の妨げとなる影の形成を防止（抑制）できるので、多数の照明手段を設けたり、異なる角度から何度も同じ場所を撮影したりすることなく、正確な検出が可能となる。すなわち、装置の構造と制御を複雑化することなく、簡易に検出対象の正確な検出が可能となる。
【０００９】
好ましい様相は、前記検出部は、前記拡散光源部側から前記載置部に向かって延びた第２遮光部を有し、前記第２遮光部は、前記ワークを前記載置部に載置した状態において、前記交差方向における前記ワークの第１端部とは反対側の第２端部の近傍に設けられている。
なお、ここでいう「第２端部の近傍」とは、平面視において交差方向で第２端部と近い位置であり、同平面視において第２端部との距離が１０ｍｍ未満とする。
【００１０】
係る様相によると、第２端部及びその周辺を撮像する際においても、解析の妨げとなる影の形成を防止（抑制）できるので、多数の照明手段を設けたり、異なる角度から何度も同じ場所を撮影したりすることなく、正確な検出が可能となる。
（【００１１】以降は省略されています）

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