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公開番号2024074424
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-31
出願番号2022185548
出願日2022-11-21
発明の名称加工装置の消音機構
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20240524BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】エア等の気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構を提供する。
【解決手段】気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構であって、内部に空洞を有するフレームを備えた装置筐体と、気体を排出する排出口と、排出口から排出された気体をフレームへと導く配管と、を含み、フレームには、内部の空洞につながる開口が、配管の先端に対応する位置に設けられており、排出口から気体が排出される際に発生する音が、フレームの開口へと導かれる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構であって、
内部に空洞を有するフレームを備えた装置筐体と、
気体を排出する排出口と、
該排出口から排出された該気体を該フレームへと導く配管と、を含み、
該フレームには、内部の該空洞につながる開口が、該配管の先端に対応する位置に設けられており、
該排出口から該気体が排出される際に発生する音が、該フレームの該開口へと導かれる加工装置の消音機構。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
該気体が導入される被導入口と、該気体を排出する該排出口と、該被導入口から該排出口へと向かって流れる該気体の流れに伴い発生する負圧で気体を吸引する吸引口と、を有するエジェクタを含む、請求項１に記載の加工装置の消音機構。
【請求項３】
対象から排出された該気体が導入される被導入口と、該気体を排出する該排出口と、を有する電磁弁を含む、請求項１に記載の加工装置の消音機構。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置においてエア等の気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の半導体でなるウェーハの表面側をストリートと呼ばれる加工予定ラインで複数の領域に区画し、各領域にデバイスを形成した後、この加工予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。
【０００３】
上述のようなウェーハの加工には、切削装置やレーザー加工装置、研削装置といった種々の加工装置が使用される。各加工装置は、例えば、フレームと、フレームに取り付けられた外装カバーと、で構成される装置筐体を備えており、各加工装置の複数の構成要素の大部分は、この装置筐体に搭載される。
【０００４】
ところで、このような加工装置には、エアによって作動するエアシリンダやエジェクタ（例えば、特許文献１参照）等の部品が構成要素として搭載されることが多い。エアシリンダは、シリンダとピストンとを含む機械部品であり、シリンダに供給されるエアによってピストンが直線運動する。エジェクタは、その内部を流れるエアに流速の差を形成し、ベンチュリ効果による負圧を発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００４－２００４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
エアシリンダやエジェクタを作動させると、これらの部品からエアが勢い良く排出されるので、このエアの排出に伴い、音圧（音量）の大きな音が発生し易い。一方で、音圧の大きな音が発生すると、この音によって加工装置から発生する異音が隠れてしまい、オペレーターが加工装置の異常に気付けないことがある。そして、このような状態では、加工装置の大規模な故障につながるリスクも高い。
【０００７】
よって、本発明の目的は、エア等の気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面によれば、気体が排出される際に発生する音の音圧を低減することができる加工装置の消音機構であって、内部に空洞を有するフレームを備えた装置筐体と、気体を排出する排出口と、該排出口から排出された該気体を該フレームへと導く配管と、を含み、該フレームには、内部の該空洞につながる開口が、該配管の先端に対応する位置に設けられており、該排出口から該気体が排出される際に発生する音が、該フレームの該開口へと導かれる加工装置の消音機構が提供される。
【０００９】
好ましくは、該気体が導入される被導入口と、該気体を排出する該排出口と、該被導入口から該排出口へと向かって流れる該気体の流れに伴い発生する負圧で気体を吸引する吸引口と、を有するエジェクタを含む。また、好ましくは、対象から排出された該気体が導入される被導入口と、該気体を排出する該排出口と、を有する電磁弁を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面にかかる加工装置の消音機構は、内部に空洞を有するフレームを備えた装置筐体と、気体を排出する排出口と、排出口から排出された気体をフレームへと導く配管と、を含み、フレームには、内部の空洞につながる開口が、配管の先端に対応する位置に設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

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