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公開番号2024058346
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165640
出願日2022-10-14
発明の名称音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動デバイス
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20240418BHJP(基本電子回路)
要約【課題】音叉型圧電振動片が超小型になっても振動腕で生じさせた振動を支持部において充分に振動減衰させ、周波数等の特性変動を抑制する。
【解決手段】音叉型圧電振動片2は、一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部21と、前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕22,23と、前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部26と、前記伸長部の側端部から横方向に伸長した第1支持部27,29と、前記第1支持部の端部から上方向に屈曲した屈曲部271,291と、前記屈曲部から前記振動腕の伸長方向に平行に伸び、前記励振電極とつながる接続電極の形成された第2支持部28,30と、前記屈曲部の内側に形成された振動減衰部C1,C2と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部と、
前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕と、
前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部と、
前記伸長部の側端部から横方向に伸長した第１支持部と、
前記第１支持部の端部から上方向に屈曲した屈曲部と、
前記屈曲部から前記振動腕の伸長方向に平行に伸び、前記励振電極とつながる接続電極の形成された第２支持部と、
前記屈曲部の内側に形成された振動減衰部と、
を有する音叉型圧電振動片。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
一方の端部と他方の端部を有する基部と、
前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕と、
前記基部の一方の端部であって、前記振動腕の間から前記振動腕の伸長方向に平行に伸びる第１支持部と、
前記第１支持部に続いて形成され第１支持部とは幅寸法が異なり、前記励振電極とつながる接続電極の形成された第２支持部と、
第１支持部と第２支持部の連結部の角部に形成された振動減衰部と、
を有する音叉型圧電振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の前記音叉型圧電振動片を、導通配線が形成され、複数の搭載部を有する容器に収納し、前記搭載部に前記第２支持部を各々導電接合し、前記容器をリッドにより気密封止した音叉型圧電振動デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は音叉型圧電振動片と、当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動デバイスに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
音叉型水晶振動子や音叉型水晶発振器等の圧電振動デバイスは基準クロック源として様々な電子機器に用いられている。表面実装型の音叉型圧電振動子は、音叉型圧電振動片を導通配線が形成された気密容器に収納し、リッドにより気密封止した構成である。
【０００３】
音叉型圧電振動片の構成例として、基部と当該基部の一端側から同一方向に突出する一対の振動腕を備えるとともに、前記基部の他方の端部には幅狭部が形成され、その下方向に伸長した伸長部と、前記伸長部の両側端部から幅方向に伸長した第１支持部と、前記第１支持部の端部から屈曲して前記振動腕の伸長方向に平行に伸びた第２支持部を有する構成をあげることができる。（特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１５－１３６１８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記構成の音叉型圧電振動片は、基部の他端側においては切り欠き部が形成されることにより基部の幅が狭く構成されるとともに、第１支持部と第２支持部のつながる屈曲部においては、傾斜部が形成された構成である。このような構成により、切り欠き部が意図した形状に加工され、振動腕から基部への振動漏れが減少し、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）のばらつきが抑制された音叉型圧電振動片を得ている。
【０００６】
しかしながら、音叉型圧電振動片をさらに小型化する際においては、振動の減衰が十分には行えず、第２支持部の接続電極部分を介して振動が容器に漏れ出すことにより、音叉型圧電振動子としての周波数変動やクリスタルインピーダンス（ＣＩ）変動等の特性変動を生じさせることがあるという問題点があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動腕で生じさせた振動を基部並びに第１支持部および第２支持部において充分に振動減衰させ、周波数等の特性変動の抑制された音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による音叉型圧電振動片は、一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部と、前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕と、前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部と、前記伸長部の側端部から横方向に伸長した第１支持部と、前記第１支持部の端部から上方向に屈曲した屈曲部と、前記屈曲部から前記振動腕の伸長方向に平行に伸び、前記励振電極とつながる接続電極の形成された第２支持部と、前記屈曲部の内側に形成された振動減衰部と、を有する構成を特徴としている。
【０００９】
本構成においては、基部は一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された構成を採っている。また第１支持部は前記伸長部の側端部から幅方向に伸長した構成であり、屈曲部は前記第１支持部の端部から上方向に屈曲した構成である。そして第２支持部は前記屈曲部から前記振動腕の伸長方向に平行に伸び、前記励振電極とつながる接続電極が形成された構成を採っている。また振動減衰部は第１支持部と第２支持部の屈曲部内側に形成された構成を採っている。
【００１０】
このような構成により振動腕による音叉振動、すなわちひずみエネルギーが基部において効率的に減衰するとともに、第１支持部と第２支持部の屈曲部内側に振動減衰部が形成されたことにより、接続電極部分におけるひずみエネルギーを更に減衰させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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