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公開番号2024033792
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-13
出願番号2022137621
出願日2022-08-31
発明の名称振動デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20240306BHJP(基本電子回路)
要約【課題】支持応力による振動への影響を低減し、主振動の漏洩を抑制する振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動デバイス1は、振動片20と、振動片20を収容する容器10と、振動片20と容器10とを接合する接着部材50と、を備え、振動片20は、第1励振電極31が設けられた第1主面21aと、第2励振電極32が設けられ第1主面21aと表裏関係にある第2主面21bと、第1励振電極31及び第2励振電極32によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第1方向に延在する側面25と、を含み、第1方向と交差する方向である第2方向を長手方向とする振動部21と、振動部21の側面25から第2方向に延出する連結腕22と、連結腕22から第1方向に延出する第1支持腕23を含み、第1方向に沿って延在し、接着部材50を介して容器10に接合される支持部24と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接合する接着部材と、を備え、
前記振動片は、
第１励振電極が設けられた第１主面と、第２励振電極が設けられ前記第１主面と表裏関係にある第２主面と、前記第１励振電極及び前記第２励振電極によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向に延在する側面と、を含み、前記第１方向と交差する方向である第２方向を長手方向とする振動部と、
前記振動部の前記側面から前記第２方向に延出する連結腕と、
前記連結腕から前記第１方向に延出する第１支持腕を含み、前記第１方向に沿って延在し、前記接着部材を介して前記容器に接合される支持部と、を有する、
振動デバイス。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
平面視において、前記接着部材が前記支持部と接合されている領域の接着面積が、前記支持部の面積の２０％以上である、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記連結腕は、前記側面における前記第１方向と反対方向側のコーナー部から延出している、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項４】
平面視において、前記接着部材は、前記連結腕より前記第１方向側に位置している、
請求項３に記載の振動デバイス。
【請求項５】
前記支持部は、前記連結腕から前記第１方向とは反対方向の第３方向に延出する第２支持腕を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項６】
前記支持部は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、を含み、
前記第１接着剤及び前記第２接着剤は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記第１接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第２支持電極は、前記第２接着剤を介して前記容器と接着される、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項７】
前記支持部は、第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にあり、前記接着部材を介して前記容器に接着される第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項８】
前記接着部材は、非導電性接着剤である、
請求項７に記載の振動デバイス。
【請求項９】
前記支持部は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第１方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第２支持電極は、前記第２支持主面に設けられており、
前記接着部材は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記接着部材を介して前記容器に電気的に接続されており、
前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項１０】
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、前記第１接着剤及び前記第２接着剤から離間して配置された第３接着剤と、を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動デバイスに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一対の励振電極が設けられた振動部と、振動部から離間して伸びる支持部と、支持部の一端と振動部の端部とを連結するように伸びる連結部を備え、一対の励振電極から支持部の接合面までそれぞれ引出電極が引き出された構成とする圧電振動片を搭載することで、支持応力による振動への影響が抑制された振動デバイスである圧電デバイスが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１８６１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の圧電デバイスは、支持応力による主振動である厚み滑り振動への影響を抑制することはできるが、圧電振動片の連結部が厚み滑り振動する方向である水晶結晶のＸ軸に沿って振動部から延出しているため、振動漏れが大きくなり易く、振動特性が劣化するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動デバイスは、振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接合する接着部材と、を備え、前記振動片は、第１励振電極が設けられた第１主面と、第２励振電極が設けられ前記第１主面と表裏関係にある第２主面と、前記第１励振電極及び前記第２励振電極によって励振される厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向に延在する側面と、を含み、前記第１方向と交差する方向である第２方向を長手方向とする振動部と、前記振動部の前記側面から前記第２方向に延出する連結腕と、前記連結腕から前記第１方向に延出する第１支持腕を含み、前記第１方向に沿って延在し、前記接着部材を介して前記容器に接合される支持部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
図１中のＡ－Ａ線断面図。
図１中のＢ－Ｂ線断面図。
振動片の支持部の面積と接着部材の接着面積とを説明する平面図。
支持腕の面積と接着部材の接着面積との面積比に対するスプリアス振動のＱ値の関係を示す図。
第２実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第３実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第４実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第５実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る振動デバイス１について、図１～図４を参照して説明する。本実施形態の振動デバイス１では、振動片２０としてＡＴカットの水晶片を一例として挙げ説明する。
【０００８】
尚、図１において、振動デバイス１の内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。また、振動片２０としてのＡＴカット水晶振動片は、ＸＺ面の主面がＸ、Ｙ、Ｚの結晶軸のＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に約３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカット水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用い、以降の各図には、互いに直交するＸ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸を図示している。また、振動片２０の長手方向をＺ’軸に沿った方向として「Ｚ’方向」、振動片２０の厚み方向をＹ’軸に沿った方向として「Ｙ’方向」、Ｙ’軸及びＺ’軸に垂直な方向をＸ軸に沿った方向として「Ｘ方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｙ’方向のプラス側を「上」、Ｙ’方向のマイナス側を「下」とも言う。また、本明細書では、第１方向がＸ方向又はプラスＸ方向であり、第１方向と交差する第２方向がＺ’方向であり、第１方向とは反対方向の第３方向がＸ方向又はマイナスＸ方向である。
【０００９】
本実施形態の振動デバイス１は、図１、図２、及び図３に示すように、振動片２０と、振動片２０を収容する容器１０と、振動片２０と容器１０とを接合する接着部材５０と、を有する。
【００１０】
振動片２０は、厚み滑り振動の変位方向に沿う第１方向であるＸ方向に延在する側面２５を含み、Ｘ方向と交差する第２方向であるＺ’方向を長手方向とする振動部２１と、振動部２１の側面２５からプラスＺ’方向に延出する連結腕２２と、連結腕２２からプラスＸ方向に延出する第１支持腕２３を含み、プラスＸ方向に沿って延在し、接着部材５０を介して容器１０に接合される支持部２４と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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