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公開番号2024032324
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-12
出願番号2022135920
出願日2022-08-29
発明の名称モノリシック水晶フィルタ
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/56 20060101AFI20240305BHJP(基本電子回路)
要約【課題】橋絡容量によるフィルタ特性調整を安定化させることのできるモノリシック水晶フィルタを提供する。
【解決手段】モノリシック水晶フィルタFは、全体として直方体形状で、上部が開口した凹部を有するパッケージ1と、前記パッケージ1の凹部内に収納される水晶振動板2と、パッケージ1の開口部に接合されるリッド3とからなる。一方の主面に入力電極21、出力電極22が形成され、他方の主面に共通電極23および橋絡容量Cが形成された水晶振動板2が、パッケージに導電接合され、橋絡容量Cの下方には接地電極パッド12dが形成されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
一方の主面に入力電極と出力電極を形成し、他方の主面に前記入力電極と前記出力電極に対応した共通電極を形成するとともに、前記入力電極と前記出力電極の各々と独立して電気的につながった接続電極を有する水晶振動板と、
前記水晶振動板を保持し、前記各接続電極と導電接合される接続電極パッドと、接地される接地電極パッドとを有するパッケージと、
を有するモノリシック水晶フィルタであって、
前記入力電極と前記出力電極の各々とつながる前記接続電極から各延出電極を水晶振動板の外周領域に引出し、これら各延出電極を前記外周領域で近接させることにより橋絡容量を形成し、前記橋絡容量の下方には接地電極が配置されていること特徴とするモノリシック水晶フィルタ。
続きを表示（約 86 文字）【請求項２】
前記水晶振動板は平面視矩形であり、前記橋絡容量は前記水晶振動板の角部に形成されていることを特徴とする請求項１記載のモノリシック水晶フィルタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は無線通信機器等に用いられるモノリシック水晶フィルタに関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年の無線通信機器は例えば業務用の無線機等があげられるが、その用途、仕様によって、様々なフィルタ特性のモノリシック水晶フィルタが求められる。例えば、小型化であったり、スプリアスの抑制であったり、保証減衰特性が比較的急峻であったり、通過帯域幅の広狭等の要請等があるが、これらフィルタ特性についても外部要因等に影響されない安定性等の信頼性も求められている。
【０００３】
水晶フィルタにおいては、水晶振動板に形成される電極設計（金属薄膜形成）により、各種スプリアスの抑制等、フィルタ特性を向上させる工夫が多くなされているが、小型化が進むとこの電極設計が困難になるとともに、各電極間の周波数バランスや周波数帯域特性の調整を、限られた狭い領域で行わざるを得なくなっていた。
【０００４】
例えば、モノリシック水晶フィルタの入力電極、出力電極間の調整領域（水晶素地が露出しているギャップ領域）が狭くなり、保証減衰量の低下を引き起こす場合が有る。
【０００５】
このような問題を解決するために、各々の分割電極につながる配線パターンを水晶振動板上の別の領域で近接させ、橋絡容量部を形成することにより、上記調整の幅を拡げるとともに、電極間の短絡問題や保証減衰量の低下を解決する提案が本出願人からなされている。特許文献１参照。
【０００６】
この提案においては、水晶振動板裏面の入力電極と出力電極の各引出電極を表面に導出し、前記表面において各引出電極を近接させた構成をとっている。この近接距離を変化させる等により橋絡容量を調整することができる。特許文献１の図３に示すように、この橋絡容量は各引出電極の近接距離ｔを近づけ橋絡容量を増加させると、減衰帯域幅が狭くなり、保証減衰量の減衰極がプラス方向（右側方向）に特性が変化する。逆に各引出電極の近接距離ｔを離し、橋絡容量を減少させると、減衰帯域幅が広くなり、保証減衰量の減衰極がマイナス方向（左方向）に特性が変化する。このような調整により、減衰極を創出するとともに、前記減衰極を所定の位置にスイープさせることができ、いわゆるイメージ周波数における減衰量を極小化することができる。なお、減衰帯域幅の広狭は要求される仕様により決定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特許第3436251号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１においては、橋絡容量部を水晶振動板の外周部に形成し、上述のとおり、モノリシック水晶フィルタ特性の調整を行っている。ところが、橋絡容量形成領域は、外部からの電磁ノイズや電位変動の影響により、設定した容量値から変動してしまうことがあり、特性調整の変動要因となることがあった。具体的には橋絡容量の形成により、特許文献1に記載された減衰極を極小化する等フィルタ特性の調整を所望の値に行うことができるが、調整したフィルタ特性（通過帯域特性、保証減衰特性、周波数特性等）が外部からの電磁ノイズや電位変動等の影響により、変動してしまうことがあった。
【０００９】
また、周知のとおり、モノリシック水晶フィルタにおいては様々な特性調整を行う。例えば、共通電極に対して各電極間の周波数バランスを行う際は、裏面の入力電極と出力電極のそれぞれに対応する共通電極領域に、電極膜厚（金属薄膜の膜厚）を加減することにより行う。また周波数帯域特性の調整を行う際は、入力電極と出力電極間に対応する領域に電極膜厚（金属薄膜の膜厚）を加減することにより行う。さらに中心周波数の調整においては、共通電極全面の電極膜厚を加減することにより行う。
【００１０】
なお、電極膜厚（金属薄膜の膜厚）の加減については、膜厚を増加させる場合は、例えばパーシャル蒸着により、金属材料を付加する。また、膜厚を減少する場合は、例えばイオンミリングにより電極膜厚（金属薄膜の膜厚）を減少させることにより行う。一般的には膜厚を付加する調整か、膜厚を減少させる調整かのいずれかを用いることにより
、特性調整を行う。
（【００１１】以降は省略されています）

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