特許ウォッチ

公開番号2024058345
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165639
出願日2022-10-14
発明の名称音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動デバイス
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20240418BHJP(基本電子回路)
要約【課題】音叉型圧電振動片が超小型になっても振動腕で生じさせた振動を保持部において充分に振動減衰させ、周波数等の特性変動を抑制する。
【解決手段】音叉型圧電振動片2は、一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部21と、前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕22,23と、前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部261と、伸長部端から横方向に伸長した屈曲伸長部262を有するとともに、前記励振電極に接続する引出電極が形成された保持部26と、前記伸長部に設けられた第一接続部と前記屈曲伸長部に設けられた第二接続部と、前記第一接続部と前記第二接続部間に形成された振動減衰部263と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部と、
前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕と、
前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部と、伸長部端から横方向に伸長した屈曲伸長部を有するとともに、前記励振電極に接続された配線電極が形成された保持部と、
前記伸長部に設けられた第一接続部、および前記屈曲伸長部に設けられた第二接続部と
前記第一接続部と前記第二接続部間に形成された振動減衰部と、
を有する音叉型圧電振動片。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記基部は一方の端部から他方の端部に向かって幅寸法が漸次減少する縮小テーパ部を有し、前記縮小テーパ部の端部でくびれ部を形成しており、前記伸長部は前記くびれ部から伸長するとともに、その幅が漸次拡大する拡大テーパ部を有し、前記振動減衰部は前記拡大テーパ部に続いて形成されていることを特徴とする請求項1記載の音叉型圧電振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の前記音叉型圧電振動片を、導通配線が形成され、複数の搭載部を有する容器に収納し、前記搭載部に前記第一の接続部と前記第二の接続部を各々導電接合し、前記容器をリッドにより気密封止した音叉型圧電振動デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は音叉型圧電振動片と、当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動デバイスに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
音叉型水晶振動子や音叉型水晶発振器等の圧電振動デバイスは基準クロック源として様々な電子機器に用いられている。例えば、表面実装型の音叉型圧電振動子は、音叉型圧電振動片を導通配線が形成された絶縁性容器に収納し、リッドにより気密封止した構成である。
【０００３】
音叉型圧電振動片の構成例として、基部と当該基部の一端側から同一方向に突出する一対の振動腕を備えるとともに、基部の他端側においては幅狭部が形成されるとともにＬ字形状に屈曲した保持部が設けられた構成があげられる。前記振動腕には振動腕を駆動させるための一対の励振電極等が形成され、励振電極は前記保持部に引出されている。前記保持部と前記絶縁性容器の搭載電極とが導電接合され、電気的な接合が行われる。（特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許５６６０１６２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記構成の音叉型圧電振動片は、基部の他端側においては幅狭部が形成されるとともにＬ字形状に屈曲した保持部が設けられる構成であり、音叉型圧電振動片の振動、すなわちひずみエネルギーを効率的に減衰させることができる利点を有している。
【０００６】
しかしながら、音叉型圧電振動片をさらに小型化する際においては、振動の減衰が十分には行えず、保持部を介して振動が容器に漏れ出すことにより、音叉型圧電振動子としての周波数変動やクリスタルインピーダンス（ＣＩ）変動等の特性変動を生じさせることがあるという問題点があった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、音叉型圧電振動片が超小型になっても振動腕で生じさせた振動を保持部において充分に振動減衰させ、周波数等の特性変動の抑制された音叉型圧電振動片および当該音叉型圧電振動片を用いた音叉型圧電振動子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による音叉型圧電振動片は、一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された基部と、前記一方の端部から上方向に平行に伸長するとともに、励振電極が形成された一対の振動腕と、前記基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部と、伸長部端から横方向に伸長した屈曲伸長部を有するとともに、前記励振電極に接続する引出電極が形成された保持部と、前記伸長部に設けられた第一接続部と前記屈曲伸長部に設けられた第二接続部と、前記第一接続部と前記第二接続部間に形成された振動減衰部と、を有する構成を特徴としている。
【０００９】
本構成によれば、基部は一方の端部と他方の端部を有し、一方の端部の幅に対して他方の端部の幅が小さく形成された構成を採っている。また保持部は、基部の他方の端部から下方向に伸長した伸長部と、伸長部端から横方向に伸長した屈曲伸長部を有する構成としている。そして振動減衰部は、前記第一接続部と前記第二接続部間に形成された構成を採っている。
【００１０】
このような構成により振動腕による音叉振動、すなわちひずみエネルギーが基部において効率的に減衰するとともに、保持部に振動減衰部が形成されたことにより、第一接続部と第二接続部におけるひずみエネルギーを更に減衰させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許