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公開番号2024030292
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-07
出願番号2022133066
出願日2022-08-24
発明の名称振動デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/09 20060101AFI20240229BHJP(基本電子回路)
要約【課題】支持応力による振動への影響を低減し、スプリアス振動を抑制する振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動デバイス1は、平面視で矩形の振動部21と、振動部21のコーナー部から第1方向に延出する連結腕22と、連結腕22から第1方向と交差する第2方向に延出する支持腕23と、を含む振動片20と、振動片20を収容する容器10と、連結腕22より第2方向側に配置され、振動片20の支持腕23に接合され、振動片20と容器10とを接合する接着部材50と、を備え、平面視において、接着部材50の支持腕23と接合されている領域の接着面積A3は、支持腕23の面積A0の20%以上である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
平面視で矩形の振動部と、前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、前記連結腕から前記第１方向と交差する第２方向に延出する支持腕と、を含む振動片と、
前記振動片を収容する容器と、
前記連結腕より前記第２方向側に配置され、前記振動片の前記支持腕に接合され、前記振動片と前記容器とを接着する接着部材と、を備え、
前記平面視において、前記接着部材の前記支持腕と接合されている領域の接着面積は、前記支持腕の面積の２０％以上である、
振動デバイス。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記接着部材は、導電性接着剤である、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記平面視において、前記接着部材の前記支持腕と接合されている前記領域の前記接着面積は、前記支持腕の前記面積の３０％以上である、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項４】
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項５】
前記振動部は、第１主面に設けられた第１励振電極、及び前記第１主面と表裏関係にある第２主面に設けられた第２励振電極を含み、
前記支持腕は、前記接着部材を介して前記容器に接合される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第２方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第１接着剤及び前記第２接着剤は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記第１接着剤を介して前記容器と接合され、
前記第２支持電極は、前記第２接着剤を介して前記容器と接合される、
請求項４に記載の振動デバイス。
【請求項６】
前記第２接着剤の接着面積は、前記第１接着剤の接着面積より大きい、
請求項５に記載の振動デバイス。
【請求項７】
前記振動部は、第１主面に設けられた第１励振電極と、前記第１主面と表裏関係にある第２主面に設けられた第２励振電極と、を含み、
前記支持腕は、前記接着部材を介して前記容器に接合される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第２方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項８】
前記接着部材は、非導電性接着剤である、
請求項７に記載の振動デバイス。
【請求項９】
前記振動部は、第１主面に設けられた第１励振電極と、前記第１主面と表裏関係にある第２主面に設けられた第２励振電極と、を含み、
前記支持腕は、前記接着部材を介して前記容器に接合される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第１励振電極と電気的に接続された第１支持電極と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第２方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第２支持電極は、前記第２支持主面に設けられており、
前記接着部材は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記接着部材を介して前記容器に電気的に接続されており、
前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項１０】
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、前記第１接着剤及び前記第２接着剤から離間して配置された第３接着剤と、を含む、
請求項１に記載の振動デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動デバイスに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一対の励振電極が設けられた振動部と、振動部から離間して伸びる支持部と、支持部の一端と振動部の端部とを連結するように伸びる連結部を備え、一対の励振電極から支持部の接合面までそれぞれ引出電極が引き出された構成とする圧電振動片を搭載することで、支持応力による振動への影響が抑制された振動デバイスである圧電デバイスが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１８６１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の圧電デバイスは、支持応力による主振動への影響を抑制することはできるが、主振動近傍に生じる不要なスプリアス振動を抑制することができないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動デバイスは、平面視で矩形の振動部と、前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、前記連結腕から前記第１方向と交差する第２方向に延出する支持腕と、を含む振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記連結腕より前記第２方向側に配置され、前記振動片の前記支持腕に接合され、前記振動片と前記容器とを接合する接着部材と、を備え、前記平面視において、前記接着部材の前記支持腕と接合されている領域の接着面積は、前記支持腕の面積の２０％以上である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
図１中のＡ－Ａ線断面図。
図１中のＢ－Ｂ線断面図。
振動片の支持腕の面積と接着部材の接着面積とを説明する平面図。
支持腕の面積と接着部材の接着面積との面積比に対するスプリアス振動のＱ値の関係を示す図。
第２実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第３実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第４実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第５実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る振動デバイス１について、図１～図５を参照して説明する。本実施形態の振動デバイス１では、振動片２０としてＡＴカットの水晶片を一例として挙げ説明する。
【０００８】
尚、図１において、振動デバイス１の内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。また、振動片２０としてのＡＴカット水晶振動片は、ＸＺ面の主面がＸ、Ｙ、Ｚの結晶軸のＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に約３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカット水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用い、図５を除く各図には、互いに直交するＸ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸を図示している。また、振動片２０の長手方向をＸ軸に沿った方向として「Ｘ方向」、振動片２０の厚み方向をＹ’軸に沿った方向として「Ｙ’方向」、Ｘ軸及びＹ’軸に垂直な方向をＺ’軸に沿った方向として「Ｚ’方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｙ’方向のプラス側を「上」、Ｙ’方向のマイナス側を「下」とも言う。また、本明細書では、第１方向がＸ方向又はプラスＸ方向であり、第１方向と交差する第２方向がＺ’方向又はマイナスＺ’方向である。
【０００９】
本実施形態の振動デバイス１は、図１、図２、及び図３に示すように、振動片２０と、振動片２０を収容する容器１０と、振動片２０と容器１０とを接合する接着部材５０と、を有する。
【００１０】
振動片２０は、矩形の振動部２１と、振動部２１のプラスＺ’方向側でプラスＸ方向の端部であるコーナー部から第１方向であるプラスＸ方向に延出する連結腕２２と、連結腕２２のプラスＸ方向側でマイナスＺ’方向の端部から第２方向であるマイナスＺ’方向に延出する支持腕２３と、を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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