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公開番号2024055739
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2023058365
出願日2023-03-31
発明の名称ロードポート、及びロードポートにおけるウエハ検査方法
出願人盛詮科技股フン有限公司
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240411BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】構成の簡素化、小型化及び低コスト化を図ると共に、処理時間を短縮して作業効率を向上させることができる、ロードポート及びロードポートにおけるウエハ検査方法を提供する。
【解決手段】ロードポートは、ベース、インタフェースポート及びポートドアを含み、ベースの頂面に移動可能な載置台が設置され、インタフェースポートは、枠体及び該枠体の案内孔内に移動可能に設置される駆動部材を備えると共に枠体を介してベースの片側面に設置され、ポートドアは、ドア本体部、蓋体開閉機構及び検査機構を備え、蓋体開閉機構及び検査機構がドア本体部の片側面に配置され、ドア本体部は駆動部材に連結されると共に枠体に対して移動可能であり、蓋体開閉機構が開口部の開閉を行うことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ロードポートであって、ベースと、インタフェースポートと、ポートドアとを含み、
前記ベースは、その頂面に、係止部材を備えた、該ベースに対して移動可能な載置台が設置され、
前記インタフェースポートは、枠体及び駆動部材を備え、該枠体に、開口部及び案内孔が穿設され、該駆動部材が該枠体の案内孔内に移動可能に設置され、該インタフェースポートは、該開口部が前記載置台に隣接するように、該枠体を介して前記ベースの片側面に設置され、
前記ポートドアは、ドア本体部、蓋体開閉機構、検査機構及び連結ロッドを備え、該ドア本体部の一端が該連結ロッドに連結され、該蓋体開閉機構及び検査機構が該ドア本体部の片側面に配置され、該ポートドアは、該連結ロッドを介して前記駆動部材に連結され、該ドア本体部は、前記枠体に対して移動可能であり、該蓋体開閉機構が前記開口部の開閉を行うことを特徴とするロードポート。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記検査機構は、支持フレーム、スライド機構、二つの可動アーム及び複数のマッピングセンサを備え、該支持フレームは前記ドア本体部に固設され、該スライド機構は該支持フレームに移動可能に設置され、該二つの可動アームは、該スライド機構上に間隔を置いて配置されると共に、それぞれの一端が該スライド機構に連結され、該各マッピングセンサは、該各可動アームの他端に設置されることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項３】
前記蓋体開閉機構は、前記ドア本体部に固設されるリッドと、該リッド上に配置される複数の止め具を備え、該リッドの設置位置は、前記開口部の形成位置に対応することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロードポート。
【請求項４】
前記載置台は、間隔を置いて整列配置される複数の気流ノズルと、該載置台内に形成され、対応する該気流ノズルに連通するように接続される複数の気流流路を備えることを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
【請求項５】
前記各マッピングセンサが、光ファイバセンサヘッドであることを特徴とする請求項４に記載のロードポート。
【請求項６】
請求項２に記載のロードポートにおける、ウエハ検査方法であって、該ロードポートが、蓋体を有する、複数のウエハを収容する保管用容器を載置するために用いられ、該ウエハ検査方法は、
前記保管用容器を前記ベースの載置台上に載置するステップ１と、
前記載置台の係止部材と前記保管用容器とを係止結合するステップ２と、
前記載置台が、前記保管用容器の蓋体と前記ポートドアの蓋体開閉機構とを接続させるために、当該保管用容器を開始位置から前記インタフェースポートの開口部に移動させるステップ３と、
前記蓋体開閉機構により前記保管用容器の蓋体をロック状態から解除し、その後、真空引き作業を行い、次に、前記開口部を開放するために、当該蓋体を後方に移動させるステップ４と、
前記ポートドアを、前記駆動部材の駆動により下方に所定距離移動した後に停止させるステップ５と、
前記各マッピングセンサを所定の検査位置に移送するため、前記検査機構の二つの可動アームを回動運動させるように前方に移動させるステップ６と、
前記各マッピングセンサを所定の検査位置に移動させた後、前記ポートドアを持続的に下方へ移動させ、移動する過程中に、該各マッピングセンサが、保管用容器内に収容されて整列して並べられているウエハが飛び出しているか否か、斜めに傾いているか否か、または互いに重なっているか否かを検査すると共に、当該ウエハの変形量を検査するステップ７と、
検査作業が終了した後、前記検査機構の二つの可動アームを逆回動させて元の位置に戻し、前記ポートドアを上方に移動させて、前記開口部を閉じるために前方へ移動させるステップ８と、
前記蓋体開閉機構により、前記蓋体を前記保管用容器に被せてロック状態にするステップ９と、
前記蓋体をロック状態にした後、真空状態を破壊し、前記蓋体開閉機構を元の位置に戻し、最後に、前記係止部材と前記保管用容器との係止関係を解除するステップ１０と、の作業工程を含むことを特徴とするウエハ検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの保管用容器を載置するためのロードポート、及びロードポートにおけるウエハ検査方法に関するものである。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
現在の半導体製造プロセスでは、ウエハは、複数の工程を経て加工処理され、工程と工程の間で移送する時には、ウエハの清潔状態を保つために、専用の保管用容器（Front Opening Unify Pod，FOUP，正面開口式ウエハ搬送保管容器）内に収容されて移送される。ウエハを保管用容器でロードポート（Load Port）に移送して検査作業を行い、ロードポートの蓋体開閉機構装置を介して保管用容器の蓋体を開け、その後、ウエハ検査装置を介して保管用容器内に収容されているウエハに対して各種の検査作業を行う。
【０００３】
しかしながら、既存のロードポートでは、保管用容器の蓋体開閉作業とウエハの検査作業とが別々に行われ、ロードポートの蓋体を先に開けてからウエハの検査作業を行うことから、作業時間が非常にかかり、また、二つの独立した蓋体開閉装置とウエハ検査装置をロードポート内に配置しなければならないため、装置全体の構成の複雑化、大型化及びコストの上昇を招いてしまっていた。このように、既存のロードポートは、上記問題及び欠点があるので、改善する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
台湾特許第Ｉ３７９３７４Ｂ号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであり、構成の簡素化、小型化及び低コスト化を図ると共に、処理時間を短縮して作業効率を向上させることができる、ロードポート及びロードポートにおけるウエハ検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために、ロードポートを提案したものであり、当該ロードポートは、ベースと、インタフェースポートと、ポートドアとを含み、
前記ベースは、その頂面に、係止部材を備えた、該ベースに対して移動可能な載置台が設置され、
前記インタフェースポートは、枠体及び駆動部材を備え、該枠体の上半部及び下半部に、開口部及び案内孔がそれぞれ穿設され、該駆動部材が該枠体の案内孔内に移動可能に設置され、該インタフェースポートは、該開口部が前記載置台に隣接するように、該枠体を介して前記ベースの片側面に設置され、
前記ポートドアは、ドア本体部、蓋体開閉機構、検査機構及び連結ロッドを備え、該ドア本体部の一端が該連結ロッドに連結され、該蓋体開閉機構及び検査機構が該ドア本体部の片側面に配置され、該ポートドアは、該連結ロッドを介して前記駆動部材に連結され、該ドア本体部は、前記枠体に対して移動可能であり、該蓋体開閉機構が前記開口部の開閉を行うことを特徴とする。
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために、さらに、ロードポートにおけるウエハ検査方法を提案したものであり、当該ウエハ検査方法は、前記保管用容器を前記ベースの載置台上に載置するステップ１と、
前記載置台の係止部材と前記保管用容器とを係止結合するステップ２と、
前記載置台が、前記保管用容器の蓋体と前記ポートドアの蓋体開閉機構とを接続させるために、当該保管用容器を開始位置から前記インタフェースポートの開口部に移動させるステップ３と、
前記蓋体開閉機構が、前記止め具を介して前記保管用容器の蓋体をロック状態から解除し、その後、真空引き作業を行い、次に、前記開口部を開放するために、当該蓋体を後方に移動させるステップ４と、
前記ポートドアを、前記駆動部材の駆動により下方に所定距離移動した後に停止させるステップ５と、
前記各マッピングセンサを所定の検査位置に移送するため、前記検査機構の二つの可動アームを回動運動させるように前方に移動させるステップ６と、
前記各マッピングセンサを所定の検査位置に移動させた後、前記ポートドアを持続的に下方へ移動させ、移動する過程中に、該各マッピングセンサが、保管用容器内に収容されて整列して並べられているウエハが飛び出しているか否か、斜めに傾いているか否か、または互いに重なっているか否かを検査すると共に、当該ウエハの変形量を検査するステップ７と、
検査作業が終了した後、前記検査機構の二つの可動アームを逆回動させて元の位置に戻し、前記ポートドアを上方に移動させて、前記開口部を閉じるために前方へ移動させるステップ８と、
前記蓋体開閉機構により、前記蓋体を前記保管用容器に被せてロック状態にするステップ９と、
前記蓋体をロック状態にした後、真空状態を破壊し、前記蓋体開閉機構を元の位置に戻し、最後に、前記係止部材と前記保管用容器との係止関係を解除するステップ１０と、の作業工程を含むことを特徴とする。
【０００８】
前記検査機構は、支持フレーム、スライド機構、二つの可動アーム及び複数のマッピングセンサを備え、該支持フレームは前記ドア本体部上に固設され、該スライド機構は該支持フレーム上に移動可能に設置され、該二つの可動アームは、該スライド機構上に間隔を置いて配置されると共に、それぞれの一端が該スライド機構に連結され、該各マッピングセンサは、該各可動アームの他端に設置されることを特徴とする。
【０００９】
前記蓋体開閉機構は、前記ドア本体部に固設されるリッドと、該リッド上に配置される複数の止め具を備え、該リッドの設置位置は、前記開口部の形成位置に対応することを特徴とする。
【００１０】
前記載置台は、間隔を置いて整列配置される複数の気流ノズルと、該載置台内に形成され、対応する該気流ノズルに連通接続される複数の気流流路を備えることを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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