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公開番号2024052004
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2022158431
出願日2022-09-30
発明の名称搬送システムおよび搬送方法
出願人株式会社安川電機
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240404BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板のたわみが大きい場合であっても接触による基板の破損を防止すること。
【解決手段】実施形態に係る搬送システムは、基板を多段に収容するカセットに対して上記基板の搬出入を行うロボットと、上記ロボットの動作を制御するコントローラとを備える。上記ロボットは、上記基板を搬送するハンドと、上記カセットの正面における幅方向に上記ハンドを移動させる水平移動機構と、上記ハンドを昇降させる昇降機構とを備える。上記ハンドは、上記カセットと対向する先端側に対象物を検知する反射型センサを備える。上記コントローラは、上記カセットに収容された上記基板の幅方向に対して当該基板と対向する上記反射型センサが走査するように上記水平移動機構を動作させることで、上記反射型センサに水平走査を行わせる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を多段に収容するカセットに対して前記基板の搬出入を行うロボットと、
前記ロボットの動作を制御するコントローラと
を備え、
前記ロボットは、
前記基板を搬送するハンドと、
前記カセットの正面における幅方向に前記ハンドを移動させる水平移動機構と、
前記ハンドを昇降させる昇降機構と
を備え、
前記ハンドは、
前記カセットと対向する先端側に対象物を検知する反射型センサ
を備え、
前記コントローラは、
前記カセットに収容された前記基板の幅方向に対して当該基板と対向する前記反射型センサが走査するように前記水平移動機構を動作させることで、前記反射型センサに水平走査を行わせること
を特徴とする搬送システム。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記ハンドは、
前記反射型センサが先端側に配置され、前記基板を下方から支持する１つ以上の延伸部を備え、
前記コントローラは、
前記水平走査の走査幅が、前記延伸部の幅となるように前記水平走査を行わせること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記カセットは、
各段について前記正面からみて複数の箇所でそれぞれ前記基板を支持する複数の支持部を備え、
前記コントローラは、
前記走査幅が、隣り合う前記支持部の間にあらかじめ設定される検査領域の幅となるように前記水平走査を行わせること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記カセットは、
各段について前記正面からみて複数の箇所で前記基板を支持する複数の支持部を備え、前記コントローラは、
前記走査幅が、両端の前記支持部の間隔となるように前記水平走査を行わせること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記コントローラは、
前記走査幅が、前記基板の全幅となるように前記水平走査を行わせること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記ハンドは、
前記基板の幅よりも幅が小さく、
前記反射型センサは、
前記ハンドにおける両端の前記延伸部にそれぞれ配置される少なくとも２つの第１センサおよび第２センサであり、
前記コントローラは、
前記第１センサが前記基板の一方の端に対向し、前記第２センサが当該基板の存在する範囲に対向する開始位置から、前記第１センサが前記開始位置における前記第２センサの位置へ到達し、且つ、前記第２センサが前記基板の他方の端に到達する終了位置まで、前記ハンドが移動するように前記水平走査を行わせること
を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項７】
前記ロボットは、
前記カセットへ前記基板の搬入を行う場合には、前記カセットの上から下へ向かう順序とするとともに、あらたな前記基板を搬入する段の直上の段に搬入済みの前記基板に対して前記水平走査を行った後に、あらたな前記基板を搬入すること
を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項８】
前記ロボットは、
あらたな前記基板を保持した状態で、前記直上の段に搬入済みの前記基板に対して前記水平走査を行うこと
を特徴とする請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記カセットは、
各段について前記正面からみて複数の箇所で前記基板を支持する複数の支持部を備え、
前記ロボットは、
前記カセットにおける両端の前記支持部に挟まれ、前記カセットの背面から前記正面へ向けて延伸するバー状の前記支持部が前記基板の奥行きよりも短い場合には、前記水平走査の走査幅が、両端の前記支持部の間隔となるように前記直上の段に搬入済みの前記基板に対して前記水平走査を行った後に、あらたな前記基板を搬入すること
を特徴とする請求項８に記載の搬送システム。
【請求項１０】
前記ハンドは、
前記反射型センサが先端側に配置され、前記基板を下方から支持する１つ以上の延伸部を備え、
前記ロボットは、
前記カセットから前記基板の搬出を行う場合には、前記カセットの下から上へ向かう順序とするとともに、搬出対象の前記基板における前記ハンドの前記延伸部の幅に対応する領域について前記水平走査を行い、当該基板が不検出であったことを条件として当該基板の下方へ前記延伸部を進入させて当該基板を搬出すること
を特徴とする請求項９に記載の搬送システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
開示の実施形態は、搬送システムおよび搬送方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ウェハやパネルといった基板を搬送するハンドを有するロボットを用いて、基板を収容するカセットとの間で基板の搬出入を行う搬送システムが知られている。
【０００３】
たとえば、ロボットと、カセットに収容済みのウェハとが接触する可能性の有無を、ウェハ搬送アームやカセットのセンサによって検出する技術が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００７－２３４９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来技術には、カセットに収容済みの基板のたわみが大きい場合に、収容済みの基板と、ロボットやあらたに搬入する基板とが接触する可能性がある。
【０００６】
実施形態の一態様は、基板のたわみが大きい場合であっても接触による基板の破損を防止することができる搬送システムおよび搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一態様に係る搬送システムは、基板を多段に収容するカセットに対して前記基板の搬出入を行うロボットと、前記ロボットの動作を制御するコントローラとを備える。前記ロボットは、前記基板を搬送するハンドと、前記カセットの正面における幅方向に前記ハンドを移動させる水平移動機構と、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備える。前記ハンドは、前記カセットと対向する先端側に対象物を検知する反射型センサを備える。前記コントローラは、前記カセットに収容された前記基板の幅方向に対して当該基板と対向する前記反射型センサが走査するように前記水平移動機構を動作させることで、前記反射型センサに水平走査を行わせる。
【発明の効果】
【０００８】
実施形態の一態様によれば、基板のたわみが大きい場合であっても接触による基板の破損を防止することができる搬送システムおよび搬送方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、搬送システムの概要を示す上面模式図である。
図２は、ロボットの斜視図である。
図３Ａは、カセットの正面模式図である。
図３Ｂは、カセットの上面模式図である。
図４は、基板の搬入時におけるマッピング処理の説明図である。
図５は、基板の搬出時における第１マッピング処理の説明図である。
図６は、基板の搬出時における第２マッピング処理の説明図である。
図７は、搬送システムが設置される搬送室の上面模式図である。
図８は、搬送システムのブロック図である。
図９は、搬入処理の処理手順を示すフローチャートである。
図１０は、搬出処理の処理手順を示すフローチャート（その１）である。
図１１は、搬出処理の処理手順を示すフローチャート（その２）である。
図１２は、センサの走査幅の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送システムおよび搬送方法を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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