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公開番号2024051795
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2022158128
出願日2022-09-30
発明の名称メタルマスク
出願人JDI Design and Development 合同会社
代理人個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20240404BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】メタルマスクの変形を検出するためのマークを読み取れなくなることを抑制でき、かつメタルマスクが変形することを抑制できるメタルマスクを提供する。
【解決手段】メタルマスク10は、マスク版20と、マスク版20における一部の領域をコーティングするコーティング部材30とを備え、マスク版20は、成膜用の1つ以上の開口部22と、マスク版20の変形を検出するための複数のマーク23とを有し、一部の領域は、複数のマーク23に対応する複数の領域25を含み、複数の領域25のそれぞれは、複数のマーク23のうち当該領域25に対応するマーク23を含む領域である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
マスク版と、
前記マスク版における一部の領域をコーティングするコーティング部材とを備え、
前記マスク版は、成膜用の１つ以上の開口部と、前記マスク版の変形を検出するための複数のマークとを有し、
前記一部の領域は、前記複数のマークに対応する複数の領域を含み、
前記複数の領域のそれぞれは、前記複数のマークのうち当該領域に対応するマークを含む領域である、
メタルマスク。
続きを表示（約 710 文字）【請求項２】
前記複数のマークのそれぞれは、当該マークを顕微鏡で見たときに前記顕微鏡の視野に収まる大きさであり、
前記複数の領域のそれぞれは、前記顕微鏡の視野全体を覆う大きさである、
請求項１に記載のメタルマスク。
【請求項３】
前記複数のマークは、前記マスク版の一方の主面に設けられ、
前記一部の領域は、前記主面における領域である、
請求項１または２に記載のメタルマスク。
【請求項４】
前記複数のマークは、前記マスク版の一方の主面に設けられ、前記主面に平行である第１方向における前記１つ以上の開口部よりも一方側において前記主面に平行でありかつ前記第１方向に直交する第２方向に並んで配置され、前記第１方向における前記１つ以上の開口部よりも他方側において前記第２方向に並んで配置され、前記第２方向における前記１つ以上の開口部よりも一方側において前記第１方向に並んで配置され、前記第２方向における前記１つ以上の開口部よりも他方側において前記第１方向に並んで配置され、
前記主面において、前記複数のマークのうち前記第１方向に並んで配置される各２つのマークの間には前記コーティング部材によってコーティングされない領域があり、前記複数のマークのうち前記第２方向に並んで配置される各２つのマークの間には前記コーティング部材によってコーティングされない領域がある、
請求項１または２に記載のメタルマスク。
【請求項５】
前記コーティング部材は、ニッケル、コバルト、および銅の少なくとも１つを含む、
請求項１に記載のメタルマスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、メタルマスクに関し、特に、コーティング部材を有するメタルマスクに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、コーティング部材を有するメタルマスクが知られている。この種のメタルマスクの一例として、特許文献１には、両方ともが金属材料で作られたマスクフレームおよびマスクスクリーンと、マスクフレームおよびマスクスクリーンの１つまたは両方の露出面に配置された金属コーティングとを含むマスクアセンブリが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０８０５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のメタルマスクでは、マスクフレームおよびマスクスクリーンの１つまたは両方の露出面の全部に金属コーティングが配置されているため、メタルマスクが変形するという課題がある。また、メタルマスクの変形を検出するためのマークがメタルマスクに設けられている場合であって、当該マークがコーティングされていない場合、メタルマスクに付着した成膜材料を除去する場合等に当該マークが変色する等して、当該マークを読み取れなくなるという課題がある。
【０００５】
本開示は、上記課題を解決するためになされたものであり、メタルマスクの変形を検出するためのマークを読み取れなくなることを抑制でき、かつメタルマスクが変形することを抑制できるメタルマスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様に係るメタルマスクは、マスク版と、前記マスク版における一部の領域をコーティングするコーティング部材とを備え、前記マスク版は、成膜用の１つ以上の開口部と、前記マスク版の変形を検出するための複数のマークとを有し、前記一部の領域は、前記複数のマークに対応する複数の領域を含み、前記複数の領域のそれぞれは、前記複数のマークのうち当該領域に対応するマークを含む領域である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、メタルマスクの変形を検出するためのマークを読み取れなくなることを抑制でき、かつメタルマスクが変形することを抑制できるメタルマスクを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施の形態１に係るメタルマスクを示す平面図である。
図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線における断面図である。
図３は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ線における断面図である。
図４は、メタルマスクの精度およびマークの読み取りに関する実験結果を示す表である。
図５は、コーティング部材の品質に関する実験結果を示す表である。
図６は、コーティングされていないメタルマスクの熱機械分析の結果を示すグラフである。
図７は、コーティングされていないメタルマスクの熱機械分析の結果を示す表である。
図８は、全部にコーティングされたメタルマスクの熱機械分析の結果を示すグラフである。
図９は、全部にコーティングされたメタルマスクの熱機械分析の結果を示す表である。
図１０は、実施の形態２に係るメタルマスクを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本開示に係るメタルマスクの実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態等は、一例であって本開示を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１０】
各図において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を付している。また、各図は、模式図であり、各部の大きさの比等を必ずしも厳密に表したものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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