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公開番号2024042463
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-28
出願番号2022147208
出願日2022-09-15
発明の名称液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、基板処理装置、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20240321BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】液体の吐出口が設けられた面をクリーニングする際の液体消費量の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】液体吐出装置は、液体を吐出する吐出口が設けられた面と、液体を貯留する貯留部と、前記吐出口から前記貯留部に連通する流路とを有する吐出ヘッドと、前記貯留部内の圧力を制御する制御部と、吸引口を前記面に沿って移動させながら、前記面に付着した液体を前記吸引口から吸い込むことにより、前記面のクリーニング処理を行うクリーニング部と、を備え、前記制御部は、前記クリーニング処理において、前記吸引口の吸引力によって前記流路内の液体に作用する第1の力に基づいて、前記流路内に形成される液面の位置を前記流路内に維持させるように前記貯留部内の圧力を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
液体を吐出する吐出口が設けられた面と、液体を貯留する貯留部と、前記吐出口から前記貯留部に連通する流路とを有する吐出ヘッドと、
前記貯留部内の圧力を制御する制御部と、
吸引口を前記面に沿って移動させながら、前記面に付着した液体を前記吸引口から吸い込むことにより、前記面のクリーニング処理を行うクリーニング部と、
を備え、
前記制御部は、前記クリーニング処理において、前記吸引口の吸引力によって前記流路内の液体に作用する第１の力に基づいて、前記流路内に形成される液面の位置を前記流路内に維持させるように前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記吸引口が前記吐出口に対向している第１状態において、前記流路内の液体を前記貯留部側に引き込む第２の力を、前記吸引口が前記吐出口に対向していない第２状態より増加させるように、前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記第１の力をＰ１、前記第２の力をＰ２としたとき、前記制御部は、前記クリーニング処理において、｜Ｐ１｜≦｜Ｐ２｜を満たすように前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記クリーニング処理において、前記吐出口および前記流路を介して前記貯留部内に気泡が流入することが回避されるように、前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記吐出口および前記流路を介する前記貯留部内への気泡の流入が生じる前記第２の力の限界値をＰ３としたとき、前記制御部は、前記クリーニング処理において、｜Ｐ２｜＜｜Ｐ３｜を満たすように前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記クリーニング部は、前記吸引口と前記面とを離間させた状態で前記面に沿って前記吸引口を移動させることにより、前記クリーニング処理を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記クリーニング部は、前記吸引口と前記面との間隔を計測する計測部を有し、前記計測部の計測結果に基づいて、前記クリーニング処理において前記間隔が所定値で維持されるように前記吸引口の移動を制御する、ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記吐出ヘッドの前記面には、前記貯留部内の液体をそれぞれ吐出する複数の前記吐出口が設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
液体吐出装置の制御方法であって、
前記液体吐出装置は、
液体を吐出する吐出口が設けられた面と、液体を貯留する貯留部と、前記吐出口から前記貯留部に連通する流路とを有する吐出ヘッドと、
吸引口を前記面に沿って移動させながら、前記面に付着した液体を前記吸引口から吸い込むことにより、前記面のクリーニング処理を行うクリーニング部と、
を備え、
前記クリーニング処理において、前記吸引口の吸引力によって前記流路内の液体に作用する第１の力に基づいて、前記流路内に形成される液面の位置を前記流路内に維持させるように前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする制御方法。
【請求項１０】
基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板を保持して移動するステージと、
前記ステージにより保持された前記基板上に液体を吐出する請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体吐出装置と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、基板処理装置、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、インクジェット装置を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。インクジェット装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであり製造装置が比較的小型になること、大面積を高速に塗布できることなどのメリットを有している。
【０００３】
上記のインクジェット装置では、ドットパターン形成中や待機中に、インク（液体）の吐出口の近傍に異物や液滴が付着したり、当該吐出口から気泡が流入したりすることで、吐出不良や品位の乱れといった不具合が発生することがある。このような不具合を解決するため、特許文献１には、吸引ノズル（吸引口）を吐出口面から離間した状態で吐出口面に沿って移動させて、吐出口面に残留したインクを吸引除去することにより、吐出口面をクリーニングする技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１１０８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された吐出口面のクリーニングでは、吐出口面に残留したインクとともに、吐出口内のインクも吸引ノズルに吸い込まれることがある。この場合、当該クリーニングにおけるインクの消費量が増加しうる。
【０００６】
そこで、本発明は、液体の吐出口が設けられた面をクリーニングする際の液体消費量の低減に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液体吐出装置は、液体を吐出する吐出口が設けられた面と、液体を貯留する貯留部と、前記吐出口から前記貯留部に連通する流路とを有する吐出ヘッドと、前記貯留部内の圧力を制御する制御部と、吸引口を前記面に沿って移動させながら、前記面に付着した液体を前記吸引口から吸い込むことにより、前記面のクリーニング処理を行うクリーニング部と、を備え、前記制御部は、前記クリーニング処理において、前記吸引口の吸引力によって前記流路内の液体に作用する第１の力に基づいて、前記流路内に形成される液面の位置を前記流路内に維持させるように前記貯留部内の圧力を制御する、ことを特徴とする。
【０００８】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、液体の吐出口が設けられた面をクリーニングする際の液体消費量の低減に有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
インクジェット装置の構成例を示す図（吐出処理）
インクジェット装置の構成例を示す図（クリーニング処理）
吐出ヘッドの構成例を示す図
クリーニング処理における吐出ヘッドの一部と吸引ノズルの一部とを示す図
吐出ヘッドの吐出面のクリーニング処理を行っている様子を示す図
インクジェット装置の動作シーケンスを示すフローチャート
機能素子の材料の塗布の例を示す模式図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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