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公開番号2024039285
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-22
出願番号2022143726
出願日2022-09-09
発明の名称端材回収装置
出願人キオクシア株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20240314BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【目的】Si端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のSi端材を回収可能な装置を提供する。
【構成】実施形態の端材回収装置100は、メッシュコンベア10と、引き剥がし機構30と、複数の回収容器50,52と、を備える。メッシュコンベアは、端材11が液体に混入した混入液を上方から受け、前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を通すメッシュベルト12を有し、前記メッシュベルトを移動させる。引き剥がし機構は、前記メッシュベルトの前記端材を載せた面が下向きになった状態で、前記メッシュベルトから前記端材を引き剥がす。複数の回収容器は、引き剥がされた前記端材を回収する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
端材が液体に混入した混入液を上方から受け、前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を通すメッシュベルトを有し、前記メッシュベルトを移動させるメッシュコンベアと、
前記メッシュベルトの前記端材を載せた面が下向きになった状態で、前記メッシュベルトから前記端材を引き剥がす引き剥がし機構と、
引き剥がされた前記端材を回収する複数の回収容器と、
を備えたことを特徴とする端材回収装置。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
引き剥がされた前記端材を前記複数の回収容器のうちいずれか１つに選択的に振り分ける振り分け機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。
【請求項３】
前記引き剥がし機構は、前記メッシュベルトの前記端材を載せた面の裏面側から前記メッシュベルトを介して前記端材にガスを吹き付けることを特徴とする請求項１又は２記載の端材回収装置。
【請求項４】
前記メッシュベルトに載せられた前記端材を乾燥させる乾燥機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。
【請求項５】
前記メッシュコンベアは、前記メッシュベルトに前記端材を載せた状態で前記メッシュベルトを斜め上方へ移動させ、
前記乾燥機構は、前記メッシュベルトが前記斜め上方へ移動する間に、前記メッシュベルトの前記端材を載せた面側から前記端材にエアを吹き付けることを特徴とする請求項４記載の端材回収装置。
【請求項６】
前記端材のうち、前記液体と共に前記メッシュベルトを通過した他の一部を捕集するトラップをさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の端材回収装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、端材回収装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造において、例えばバックグラインド加工時にシリコン（Ｓｉ）の端材が処理水に混入してしまう。そのため、かかるプロセスの処理装置内に処理水を溜め、定期的に装置を停止し、Ｓｉ端材を処理水から分離した後、作業員が手作業でＳｉ端材を装置から取り除く必要があった。
【０００３】
バックグラインド加工ではないが、例えば、ダイシング装置内部に配置された端材回収装置によりパンチングメタル上に廃液を流し、パンチングメタルで固液分離し端材を捕集する。そして、パンチングメタルが自重で垂れ下がる位置までパンチングメタルを押し出し、パンチングメタルが自重で垂れ下がることでパンチングメタル上の端材を落下させる。そして、ダイシング装置の停止中に作業者が落下した端材を装置内から取り除くといった技術が開示されている。
【０００４】
Ｓｉ端材は鋭利な形状をしている場合があり、手作業では作業員が怪我をする恐れがあった。また、かかる作業に時間がかかり、その間、装置を停止しなければならず、生産ロスが大きいといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－０９６０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の実施形態は、Ｓｉ端材が混入した処理水を処理装置から排水させ、処理装置を停止させることなく、処理装置からの排水内のＳｉ端材を回収可能な装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の端材回収装置は、メッシュコンベアと、引き剥がし機構と、複数の回収容器と、を備える。メッシュコンベアは、端材が液体に混入した混入液を上方から受け、前記端材の少なくとも一部を捕集すると共に前記液体を通すメッシュベルトを有し、前記メッシュベルトを移動させる。引き剥がし機構は、前記メッシュベルトの前記端材を載せた面が下向きになった状態で、前記メッシュベルトから前記端材を引き剥がす。複数の回収容器は、引き剥がされた前記端材を回収する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるメッシュコンベアの駆動手法の一例を説明するための図である。
第１の実施形態におけるメッシュベルトの一部の一例の上面図である。
第１の実施形態におけるメッシュコンベアの駆動手法の他の一例を説明するための図である。
第１の実施形態における乾燥機構の構成の一例を示す図である。
第１の実施形態におけるメッシュコンベアのコースとベルト長さの関係の一例を説明するための図である。
第１の実施形態における引き剥がし機構の構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態における端材回収装置の構成の一例を示す図である。図１において、端材回収装置１００は、メッシュコンベア１０と、乾燥機構２０と、引き剥がし機構３０と、振り分け機構４０と、複数の回収容器５０，５２と、トラップ６０と、を備えている。メッシュコンベア１０と、乾燥機構２０と、引き剥がし機構３０と、振り分け機構４０と、トラップ６０とは、装置筐体１０２内に配置される。装置筐体１０２は、供給口１０４、排水口１０８、流路壁１０６、回収通路１１０，１１２を有する。また、端材回収装置１００は、制御回路１２０により制御される。端材回収装置１００は、例えば、シリコン（Ｓｉ）の端材が混入する混入液を排水する、図示しないプロセス装置（処理装置）の下流側に配置される。プロセス装置として、例えば、バックグラインド加工装置等、研磨装置、或いはダイシング装置等が挙げられる。
【００１０】
メッシュコンベア１０は、メッシュベルト１２と駆動機構１４とを有する。駆動機構１４は、メッシュベルト１２を駆動する。図１の例では、駆動機構１４は、メッシュベルト１２を時計回りで回転するように駆動する場合を示している。
（【００１１】以降は省略されています）

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