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公開番号2025179305
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-10
出願番号2024085957
出願日2024-05-28
発明の名称基板加工装置
出願人富士電機株式会社
代理人インフォート弁理士法人
主分類B26D 7/18 20060101AFI20251203BHJP(切断手工具;切断;切断機)
要約【課題】切削加工で生じた切削粉塵を簡便な方法で効率よく回収する。
【解決手段】基板加工装置は、基板(10)を載置するステージ(5)と、基板を切削加工するルーター(3)と、ルーターを互いに直交する第1の方向及び第2の方向に移動させるルーター移動機構(410)と、ステージを、基板を切削加工する第1の位置と、第1の位置とは異なる第2の位置との間で移動させるステージ移動機構(220)と、側面部により囲まれた中空領域(690)を有し、側面部に、ルーターのルータービットを中空領域内に挿通可能な第1の長孔(601)と、ステージに載置された基板のうちのルーターによる加工の対象となる部位(1031、1032)を中空領域に進入させる第2の長孔(611)とが形成されたノズル(6)と、ノズルの中空領域に滞留する切削粉塵が自重によりノズルから落下するようにノズルを駆動させるノズル駆動機構(7)と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を載置するステージと、
前記基板を切削加工するルーターと、
前記ルーターを互いに直交する第１の方向及び第２の方向に移動させるルーター移動機構と、
前記ステージを、前記ルーターにより前記基板を切削加工する第１の位置と、前記第１の位置とは異なる前記基板を載置する第２の位置との間で移動させるステージ移動機構と、
側面部により囲まれた中空領域を有し、前記側面部に、前記ルーターのルータービットを前記中空領域内に挿通可能な第１の長孔と、前記ステージを前記第２の位置から前記第１の位置に移動させたときに前記ステージに載置された前記基板のうちの前記ルーターによる加工の対象となる部位を前記中空領域に進入させる第２の長孔とが形成されたノズルと、
前記ノズルの前記中空領域に滞留する切削粉塵が自重により前記ノズルから落下するように前記ノズルを駆動させるノズル駆動機構と、
前記ステージ、前記ルーター、及び前記ノズルが上方に配置され、前記ノズルから落下した切削粉塵を回収する貫通穴が形成されている台座と、
を備える基板加工装置。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記ノズルは、軸芯方向の少なくとも一端が開口した筒形状であり、
前記ノズル駆動機構は、前記ノズルの前記軸芯方向が略水平方向となる第１の回転位置と、前記軸芯方向が略垂直方向となる第２の回転位置との間で前記ノズルの回転位置を変更可能なように前記ノズルを回転させる、
請求項１に記載の基板加工装置。
【請求項３】
前記ノズルは、前記第２の回転位置であるときに下端となる一端が開口している、請求項２に記載の基板加工装置。
【請求項４】
前記ノズルは、前記側面部における前記第２の回転位置であるときに下端となる前記一端に、前記ノズルが前記第１の回転位置であるときには前記一端の前記開口を閉じ、前記第２の回転位置であるときには前記一端の前記開口を開くように開閉自在に取り付けられた蓋を有する、請求項２に記載の基板加工装置。
【請求項５】
前記ノズルは、前記第２の回転位置であるときの前記下端が、前記台座に形成された前記貫通穴の上端よりも下方になる、請求項３又は４に記載の基板加工装置。
【請求項６】
前記ノズルは、前記中空領域の下方が開放された第１の部材と、前記第１の部材における前記下方の開放された領域を開閉する第２の部材とを備え、
前記ノズル駆動機構は、前記第２の部材を、前記第１の部材における前記下方の開放された前記領域を閉じた位置と、前記領域を開いた位置との間で移動させる、
請求項１に記載の基板加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板加工装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
プリント基板を加工する基板加工装置には、切削加工により被加工物（加工前のプリント基板）における不要な部分を除去するものがある。この種の基板加工装置では、被加工物を切削したときに生じる粉塵を集塵装置で吸引して回収している（例えば、特許文献１～４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００５－６７９７１号公報
特開２０１０－５２０９７号公報
特開２０１３－１３５１２８号公報
特開２０１２－１５６３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した基板加工装置では生じた粉塵の一部が集塵装置により回収されず装置周辺に滞留する。したがって、基板加工装置周辺に滞留した粉塵を除去するために、定期的に作業員等による清掃をしなければならない。
【０００５】
本発明の目的の一つは、基板加工装置による切削加工で生じた切削粉塵を簡便な方法で効率よく回収することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの態様に係る基板加工装置は、基板を載置するステージと、前記基板を切削加工するルーターと、前記ルーターを互いに直交する第１の方向及び第２の方向に移動させるルーター移動機構と、前記ステージを、前記ルーターにより前記基板を切削加工する第１の位置と、前記第１の位置とは異なる前記基板を載置する第２の位置との間で移動させるステージ移動機構と、側面部により囲まれた中空領域を有し、前記側面部に、前記ルーターのルータービットを前記中空領域内に挿通可能な第１の長孔と、前記ステージを前記第２の位置から前記第１の位置に移動させたときに前記ステージに載置された前記基板のうちの前記ルーターによる加工の対象となる部位を前記中空領域に進入させる第２の長孔とが形成されたノズルと、前記ノズルの前記中空領域に滞留する切削粉塵が自重により前記ノズルから落下するように前記ノズルを駆動させるノズル駆動機構と、前記ステージ、前記ルーター、及び前記ノズルが上方に配置され、前記ノズルから落下した切削粉塵を回収する貫通穴が形成されている台座と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
上述の態様によれば、基板加工装置による切削加工で生じた切削粉塵を簡便な方法で効率よく回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施の形態に係る基板加工装置の斜視図である。
ノズルの構成例を説明する平面図である。
ノズルの構成例を説明する横断面図である。
ノズルの構成例を説明する縦断面図である。
一実施の形態に係る基板加工装置の機能構成例を説明するブロック図である。
一実施の形態に係る基板加工装置による切削加工の手順を説明するフロー図である。
ノズルの構成の第１の変形例を説明する縦断面図である。
図８Ａ及び図８Ｂは、ノズルの構成の第２の変形例を説明する側面図である。
ノズルの構成の第３の変形例を説明する側面図である。
ノズルの構成の第４の変形例を説明する側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を詳細に説明する。参照する図面におけるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、図示する基板加工装置等の物品における平面や方向を定義する目的で示されている。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交し、右手系をなすものとする。以下の説明では、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の各方向を図示されるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の矢印の向きと関連付ける場合には「＋」又は「－」の記号を付す。例えば、「＋Ｘ方向」は、基準となる面、部材、位置等からＸ軸の矢印の進む方向を意図し、「－Ｘ方向」は、基準となる面、部材、位置等から矢印の向きとは反対の向きに進む方向を意図する。
【００１０】
本明細書では、－Ｚ方向を鉛直下向きとし、Ｚ軸方向を上下方向と呼ぶことがある。本明細書において、「上」や「上方」は、基準となる面、部材、位置等からみた＋Ｚ方向のことを意図し、「下」や「下方」は、基準となる面、部材、位置等からみた－Ｚ方向のことを意図する。例えば、「部材Ａの上に部材Ｂが配置される」と記載されるとき、部材Ｂは、部材Ａからみて＋Ｚ方向に配置される。また、「部材Ａの上面」と記載されるとき、その面は、部材Ａにおける＋Ｚ方向の端に位置し、＋Ｚ方向を向いた面を含む。これらの方向、及び方向と関連付けられる面は、説明の便宜上用いる文言であり、基板加工装置の取付姿勢等によっては、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の方向のそれぞれとの対応関係が変わることがある。例えば、本明細書において上面と称する面は、下面、側面等と呼ばれてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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