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公開番号2025178076
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024209746
出願日2024-12-02
発明の名称発光装置
出願人日亜化学工業株式会社
代理人弁理士法人ITOH
主分類H10H 20/85 20250101AFI20251128BHJP()
要約【課題】光取り出し効率の向上と、誘電体膜と透光性部材との間の接合強度の向上とを両立することができる発光装置を提供する。
【解決手段】発光装置は、発光層を含む半導体部と、前記半導体部の上面に配置され、酸化物を含む誘電体膜と、前記誘電体膜の上面に配置された透光性部材と、を有し、前記誘電体膜の屈折率は、前記半導体部の屈折率より小さく、前記半導体部の屈折率より前記透光性部材の屈折率に近く、前記酸化物は、Al及びTaを含み、前記酸化物に含まれるAlの第1量と前記酸化物に含まれるTaの第2量との和を100at%としたときに、前記第2量は、0at%より大きく60at%以下である。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
発光層を含む半導体部と、
前記半導体部の上面に配置され、酸化物を含む誘電体膜と、
前記誘電体膜の上面に配置された透光性部材と、
を有し、
前記誘電体膜の屈折率は、前記半導体部の屈折率より小さく、前記半導体部の屈折率より前記透光性部材の屈折率に近く、
前記酸化物は、Ａｌ及びＴａを含み、
前記酸化物に含まれるＡｌの第１量と前記酸化物に含まれるＴａの第２量との和を１００ａｔ％としたときに、前記第２量は、０ａｔ％より大きく６０ａｔ％以下である、発光装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記第２量は、０ａｔ％より大きく、２５ａｔ％より小さい、請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記第２量は、２５ａｔ％以上６０ａｔ％以下である、請求項１に記載の発光装置。
【請求項４】
前記半導体部の上面の算術平均粗さＲａは、１００ｎｍ以上２５０ｎｍ以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項５】
前記誘電体膜の屈折率は、前記透光性部材の屈折率より大きい、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項６】
前記誘電体膜に含まれるＴａの量は、前記誘電体膜の下面側において上面側よりも多い、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項７】
前記透光性部材は、蛍光体を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項８】
前記発光層は、発光ピーク波長が３５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の範囲にある光を発する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項９】
前記透光性部材の屈折率は、１．７以上１．９以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項１０】
前記半導体部の屈折率は、２．０以上３．０以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の発光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、発光装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、透明基板の表面に発光部が形成された発光装置が開示されている。発光装置によっては、透明基板と発光部との間に誘電体膜が配置されることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１７４９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、光取り出し効率の向上と、誘電体膜と透光性部材との間の接合強度の向上とを両立することができる発光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
開示の技術の一態様によれば、発光装置は、発光層を含む半導体部と、前記半導体部の上面に配置され、酸化物を含む誘電体膜と、前記誘電体膜の上面に配置された透光性部材と、を有し、前記誘電体膜の屈折率は、前記半導体部の屈折率より小さく、前記半導体部の屈折率より前記透光性部材の屈折率に近く、前記酸化物は、Ａｌ及びＴａを含み、前記酸化物に含まれるＡｌの第１量と前記酸化物に含まれるＴａの第２量との和を１００ａｔ％としたときに、前記第２量は、０ａｔ％より大きく６０ａｔ％以下である。
【０００６】
開示の技術の一態様によれば、発光装置は、発光層を含む半導体部と、前記半導体部の上面に配置された第１透光性部材と、前記第１透光性部材の上面に配置され、酸化物を含む誘電体膜と、前記誘電体膜の上面に配置された第２透光性部材と、を有し、前記誘電体膜の屈折率は、前記半導体部の屈折率より小さく、前記半導体部の屈折率より前記第２透光性部材の屈折率に近く、前記第１透光性部材の屈折率は、前記半導体部の屈折率より小さく、前記半導体部の屈折率より前記誘電体膜の屈折率に近く、前記酸化物は、Ａｌ及びＴａを含み、前記酸化物に含まれるＡｌの第１量と前記酸化物に含まれるＴａの第２量との和を１００ａｔ％としたときに、前記第２量は、０ａｔ％より大きく６０ａｔ％以下である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、光取り出し効率の向上と、誘電体膜と透光性部材との間の接合強度の向上とを両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る発光装置を例示する断面図である。
誘電体膜の組成と表面エネルギおよび屈折率との関係を示す図である。
誘電体膜の組成と光の透過率との関係を示す図である。
誘電体膜の組成と光の透過率との関係を示す図である。
酸化物に含まれるＴａの量と光取り出し効率との関係を示す図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第１実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する平面図である。
第２実施形態に係る発光装置を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
第２実施形態に係る発光装置の製造方法を例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら、本開示を実施するための実施形態を説明する。以下の説明は、本開示の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本開示を以下の記載に限定するものではない。
【００１０】
各図面中、同一の機能を有する部材には、同一符号を付している場合がある。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態に分けて示す場合があるが、異なる実施形態や実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせは可能である。後に示す実施形態では、先に示した実施形態との異なる事項について主に説明し、先に示した実施形態と共通の事柄について重複する説明を省略することがある。各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張して示している場合がある。図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略したり、断面図として切断面のみを示す端面図を用いたりする場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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