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公開番号2025177784
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024084880
出願日2024-05-24
発明の名称検量線生成システム及び検量線生成システムの制御方法
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人日誠国際特許事務所
主分類G01N 21/27 20060101AFI20251128BHJP(測定;試験)
要約【課題】検量線を生成するときの作業効率を改善することができる検量線生成システム及び検量線生成システムの制御方法を提供すること。
【解決手段】クリーンルーム6内に設けられ、分光測定装置10によって測定される物品の分光スペクトルに基づいて物品を検査する検査装置11と、クリーンルーム6外に設けられ、検査装置によって参照される検量線を生成する検量線生成装置2と、検査装置11及び検量線生成装置2がアクセス可能なデータ記憶装置5を備え、検査装置11は、真値が既知の複数の物品に対して分光測定装置10によってそれぞれ得られる複数の吸収スペクトルを真値に対応付けてデータ記憶装置5に記憶させ、検量線生成装置2は、データ記憶装置5に記憶された複数の物品の各真値と、各真値に対応付けられてデータ記憶装置5に記憶された吸収スペクトルとから検量線を生成する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
クリーンルーム（６）内に設けられ、分光測定装置（１０）によって測定される物品の分光スペクトルに基づいて当該物品を検査する検査装置（１１）と、
前記クリーンルーム外に設けられ、前記検査装置によって参照される検量線を生成する検量線生成装置（２）と、を備えた検量線生成システムであって、
前記検査装置及び前記検量線生成装置がアクセス可能なデータ記憶装置（５）を更に備え、
前記検査装置は、真値が既知の複数の物品に対して前記分光測定装置によってそれぞれ得られる複数の吸収スペクトルを前記真値に対応付けて前記データ記憶装置に記憶させ、
前記検量線生成装置は、前記データ記憶装置に記憶された前記複数の物品の各真値と、各真値に対応付けられて前記データ記憶装置に記憶された吸収スペクトルとから検量線を生成する検量線生成システム。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記データ記憶装置は、クラウドによって構成される請求項１に記載の検量線生成システム。
【請求項３】
前記検査装置及び前記検量線生成装置がアクセス可能な検量線記憶装置（４）を更に備え、
前記検量線生成装置は、生成した検量線を前記検量線記憶装置に記憶させ、
前記検査装置は、前記検量線記憶装置に記憶された検量線によって前記物品を検査する請求項１に記載の検量線生成システム。
【請求項４】
前記クリーンルーム外に設けられ、前記複数の物品の真値を測定する高精細測定装置（３）を更に備え、
前記データ記憶装置は、前記高精細測定装置によってアクセス可能であり、
前記高精細測定装置は、前記複数の物品の真値を前記データ記憶装置に記憶させる請求項１に記載の検量線生成システム。
【請求項５】
クリーンルーム（６）内に設けられ、分光測定装置（１０）によって測定される物品の分光スペクトルに基づいて当該物品を検査する検査装置（１１）と、
前記クリーンルーム外に設けられ、前記検査装置によって参照される検量線を生成する検量線生成装置（２）と、を備えた検量線生成システムを制御する制御方法であって、
前記検量線生成システムが前記検査装置及び前記検量線生成装置がアクセス可能なデータ記憶装置（５）を更に備え、
真値が既知の複数の物品に対して前記分光測定装置によってそれぞれ得られる複数の吸収スペクトルを前記真値に対応付けて前記データ記憶装置に記憶させる処理を前記検査装置に実行させるステップと、
前記データ記憶装置に記憶された前記複数の物品の各真値と、各真値に対応付けられて前記データ記憶装置に記憶された吸収スペクトルとから検量線を生成する処理を前記検量線生成装置に実行させるステップと、を有する検量線生成システムの制御方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検量線生成システム及び検量線生成システムの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査装置のＣＰＵの処理負荷を軽減するために、ネットワークを介して接続された学習装置に検査装置が検査時に使用する学習モデルを生成させるシステムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０９６１４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたようなシステムは、学習モデル（以下、本発明における検量線に相当するため「検量線」という）を生成するときに、検査装置と学習装置とがネットワークに対してオンラインである必要があるため、作業効率を低下させてしまうといった課題があった。
【０００５】
本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、検量線を生成するときの作業効率を改善することができる検量線生成システム及び検量線生成システムの制御方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る検量線生成システムは、クリーンルーム（６）内に設けられ、分光測定装置（１０）によって測定される物品の分光スペクトルに基づいて当該物品を検査する検査装置（１１）と、前記クリーンルーム外に設けられ、前記検査装置によって参照される検量線を生成する検量線生成装置（２）と、を備えた検量線生成システムであって、前記検査装置及び前記検量線生成装置がアクセス可能なデータ記憶装置（５）を更に備え、前記検査装置は、真値が既知の複数の物品に対して前記分光測定装置によってそれぞれ得られる複数の吸収スペクトルを前記真値に対応付けて前記データ記憶装置に記憶させ、前記検量線生成装置は、前記データ記憶装置に記憶された前記複数の物品の各真値と、各真値に対応付けられて前記データ記憶装置に記憶された吸収スペクトルとから検量線を生成する構成を有する。
【０００７】
この構成により、本発明に係る検量線生成システムは、複数の物品の吸収スペクトルを真値に対応付けてデータ記憶装置に記憶させ、データ記憶装置に記憶された複数の物品の各真値と、各真値に対応付けられてデータ記憶装置に記憶された吸収スペクトルとから検量線を生成することによって、検量線を生成するときに検査装置と検量線生成装置とを独立に動作させることができるため、検量線を生成するときの作業効率を改善することができる。
【０００８】
なお、本発明に係る検量線生成システムにおいて、前記データ記憶装置は、クラウドによって構成されていてもよい。
【０００９】
この構成により、本発明に係る検量線生成システムは、拡張性を向上させることができる。
【００１０】
また、本発明に係る検量線生成システムにおいて、前記検査装置及び前記検量線生成装置がアクセス可能な検量線記憶装置（４）を更に備え、前記検量線生成装置は、生成した検量線を前記検量線記憶装置に記憶させ、前記検査装置は、前記検量線記憶装置に記憶された検量線によって前記物品を検査するようにしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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