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公開番号2025171363
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-20
出願番号2024076608
出願日2024-05-09
発明の名称外観検査装置
出願人株式会社リコー
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 21/88 20060101AFI20251113BHJP(測定;試験)
要約【課題】外観検査において、GRAY領域の製品の欠陥を高精度に良否判別することのできる、外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被検査体の撮像範囲の照度ムラが平均値を基準に±10%以下でありかつ前記被検査体の表面に光を照射する光源と、前記光源で光が照射された前記被検査体を撮像する撮像手段と、異なる撮像方法で前記撮像手段により撮像される複数の撮像画像から抽出した特徴量を用いて、機械学習にて、前記被検査体の欠陥の良否を判別する判別手段と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被検査体の撮像範囲の照度ムラが平均値を基準に±１０％以下でありかつ前記被検査体の表面に光を照射する光源と、
前記光源で光が照射された前記被検査体を撮像する撮像手段と、
異なる撮像方法で前記撮像手段により撮像される複数の撮像画像から抽出した特徴量を用いて、機械学習にて、前記被検査体の欠陥の良否を判別する判別手段と、
を備える、外観検査装置。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
前記光源で光が照射された前記被検査体を撮像する前記撮像手段は、画素数が８０００ｐｘ以上のラインスキャンカメラである、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記光源で光が照射された前記被検査体を撮像する前記撮像手段の位置を、前記撮像手段への光の入射方向と直交方向に変えて、複数個所で撮像し、
前記判別手段は、複数個所の前記撮像画像から抽出した前記特徴量を用いて、前記被検査体の欠陥の良否を判別する、請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記判別手段は、３種類以上の異なる撮像方法で前記撮像手段により撮像される前記撮像画像から抽出した前記特徴量を用いて、機械学習にて、前記被検査体である感光体の良否を判別する、請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記判別手段は、前記撮像画像から抽出した前記特徴量として、欠陥の面積値を用いて、機械学習にて、前記被検査体の良否を判別する、請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記判別手段は、ある１つの撮像結果からルールベースで、前記被検査体の良否を判別した後に、異なる撮像方法で前記撮像手段により撮像される複数の前記撮像画像から抽出した前記特徴量を用いて、機械学習にて、前記被検査体の欠陥の良否を判別する、請求項１または２に記載の外観検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
製造業において、市場に高品質かつ安心な製品を提供するために検査工程により良品または不良品を適切に判別する必要がある。一般に外観検査においては、カメラや照明等の撮像光学系を組み合わせ、製品の外観を撮影した後、適切な画像処理を行うことで製品の欠陥の有無や大きさを判別し、良否を判定する技術がある（特許文献１～３参照）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような従来の技術では、ルールベースや機械学習モデルを用いて、良否（ＯＫとＮＧ）の閾値を引く際に、閾値付近には良品と不良品が混在する領域（ＧＲＡＹ領域）が生じる場合、不良品を流出させないために、ＧＲＡＹ領域は全てＮＧと判定するように閾値を引く関係上、一部良品をＮＧと判定し、不良品を過検出してしまう問題がある。
【０００４】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、外観検査において、ＧＲＡＹ領域の製品の欠陥を高精度に良否判別することのできる、外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被検査体の撮像範囲の照度ムラが平均値を基準に±１０％以下でありかつ前記被検査体の表面に光を照射する光源と、前記光源で光が照射された前記被検査体を撮像する撮像手段と、異なる撮像方法で前記撮像手段により撮像される複数の撮像画像から抽出した特徴量を用いて、機械学習にて、前記被検査体の欠陥の良否を判別する判別手段と、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、外観検査において、ＧＲＡＹ領域の製品の欠陥を高精度に良否判別することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、本実施の形態にかかる外観検査装置の概略図である。
図２は、本実施の形態にかかる外観検査装置の概略図である。
図３は、本実施の形態にかかる外観検査装置における制御処理の流れの一例を説明するための図である。
図４は、本実施の形態にかかる外観検査装置における制御処理の流れの一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に添付図面を参照して、外観検査装置の実施の形態を詳細に説明する。
【０００９】
図１および図２は、本実施の形態にかかる外観検査装置の概略図である。図３および図４は、本実施の形態にかかる外観検査装置における制御処理の流れの一例を説明するための図である。撮像方式１２は、被検査体１、光源２、撮像手段３、ステージ５、および制御部６を有している。撮像方式１３は、被検査体１、光源７、撮像手段８、ステージ９、およびマルチスリット１０，１１を有している。
【００１０】
被検査体１は、図１および図２に示す円筒型形状以外に、シート型形状も用いることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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