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公開番号2025167657
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024072493
出願日2024-04-26
発明の名称基板処理装置および基板処理装置の製造方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20251030BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】多大な工数を必要とすることなく、基板を処理する際のパーティクルの発生を抑制する。
【解決手段】基板が処理される処理空間を画成する内側面を有する処理室と、前記内側面に締結されるネジ部と、該ネジ部よりも拡径した頭部とを有する複数の締結部材と、前記内側面を覆い、前記各締結部材の前記頭部が挿入され、その挿入方向から見たときの形状が一方向に長い長手形状をなし、底部と、該底部から立設した立壁部とを有する凹部を備える内壁板と、前記頭部が前記凹部に挿入された状態で前記頭部と前記立壁部との間に介在して配置される弾性部材と、を備え、前記弾性部材は、前記頭部と前記立壁部との間で圧縮されることにより、前記内壁板を前記内側面に対して固定する、基板処理装置が提供される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板が処理される処理空間を画成する内側面を有する処理室と、
前記内側面に締結されるネジ部と、該ネジ部よりも拡径した頭部とを有する複数の締結部材と、
前記内側面を覆い、前記各締結部材の前記頭部が挿入され、その挿入方向から見たときの形状が一方向に長い長手形状をなし、底部と、該底部から立設した立壁部とを有する凹部を備える内壁板と、
前記頭部が前記凹部に挿入された状態で前記頭部と前記立壁部との間に介在して配置される弾性部材と、を備え、
前記弾性部材は、前記頭部と前記立壁部との間で圧縮されることにより、前記内壁板を前記内側面に対して固定する、基板処理装置。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記内壁板、前記締結部材および前記弾性部材は、いずれも導電性を有する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記立壁部には、その周方向に沿った立壁部側溝が形成されており、
前記頭部が前記凹部に挿入される前の状態で、前記弾性部材は、前記立壁部側溝に沿って予め配置されている、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記立壁部には、前記立壁部側溝を介して前記底部と反対側の部分に、該反対側に向かって前記凹部の内側の径が拡径するテーパ部が形成されている、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記内壁板をその厚さ方向に沿って切断したときの前記立壁部側溝の断面形状は、長方形または正方形をなす、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記弾性部材は、前記立壁部側溝に沿ったリング状をなす、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記弾性部材は、線材を螺旋状に巻回した螺旋体で構成され、前記立壁部側溝に沿ったリング状をなす、請求項６に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記弾性部材は、前記螺旋体を挿通する挿通部材を有する、請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記頭部には、その周方向に沿った頭部側溝が形成されており、
前記頭部が前記凹部に挿入された状態で、前記弾性部材は、前記頭部側溝に係合する、請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記締結部材をその中心軸方向に沿って切断したときの前記頭部側溝の断面形状は、円弧状である、請求項９に記載の基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板処理装置および基板処理装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のプラズマエッチング処理装置としては、例えば、処理対象となる基板が載置される載置台と、載置台が収納され、載置台上の基板が処理される処理容器と、処理容器内に処理ガスを供給するガス供給部とを備える装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の装置のガス供給部は、ベース板と天板とを積層してなり、多数のガス吐出孔が形成されたシャワー板と、ベース板と天板とを互いに圧着して固定する複数のネジ部材と、各ネジ部材の頭部に装着されて頭部を保護するカバーとを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－１６５７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示に係る技術は、多大な工数を必要とすることなく、基板を処理する際のパーティクルの発生を抑制する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示に係る技術の一態様は、基板が処理される処理空間を画成する内側面を有する処理室と、前記内側面に締結されるネジ部と、該ネジ部よりも拡径した頭部とを有する複数の締結部材と、前記内側面を覆い、前記各締結部材の前記頭部が挿入され、その挿入方向から見たときの形状が一方向に長い長手形状をなし、底部と、該底部から立設した立壁部とを有する凹部を備える内壁板と、前記頭部が前記凹部に挿入された状態で前記頭部と前記立壁部との間に介在して配置される弾性部材と、を備え、前記弾性部材は、前記頭部と前記立壁部との間で圧縮されることにより、前記内壁板を前記内側面に対して固定する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、多大な工数を必要とすることなく、基板を処理する際のパーティクルの発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
基板処理装置の構成の一例を示す垂直部分断面図である。
図１中の二転鎖線で示す四角で囲まれた領域［Ａ］の一例を示す拡大断面図である。
図２中のＢ－Ｂ線で切断したときの断面の一例を示す断面図である。
図１に示す基板処理装置が備える内壁板の表側の一例を示す斜視図である。
図１に示す基板処理装置が備える内壁板の裏側の一例を示す斜視図である。
図１に示す基板処理装置の製造過程（締結工程）の一例を示す斜視図である。
図１に示す基板処理装置の製造過程（取付工程）の一例を示す斜視図である。
図１に示す基板処理装置が備える内壁板を表側から見たときの一例を示す平面図である。
図１に示す基板処理装置が備える内壁板を表側から見たときの一例を示す平面図である。
図９（ｂ）のＤ－Ｄ線で切断したときの断面の一例を示す断面図である。
図１に示す基板処理装置が備える弾性部材の構成の変形例を示すである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
上述したように、従来のプラズマエッチング処理装置では、ガス供給部においてベース板と天板を固定する複数のネジ部材の頭部がカバーで覆われるが、処理容器の内側面を覆う内壁板も複数のネジ部材で処理容器に固定され、各ネジ部材の頭部がカバーで覆われる。これらのカバーは、ネジ部材の頭部に装着された状態で天板や内壁板から突出している。このようなカバーの突出状態は、例えば、処理容器の内部の排気の流れの一部を阻害してカバーの周りに排気を滞留させるため、排気に含まれる副生成物を主因とする付着物（デポ）がカバーの周りに付着し易くなる。そして、カバーの周りに付着した付着物が細かく砕けて剥離した場合、パーティクルとして基板に付着するおそれがある。
【０００９】
また、上述した従来のプラズマエッチング処理装置では、天板や内壁板を外す際、まず、各ネジ部材の頭部を覆うカバーを外し、さらに各ネジ部材を工具によって取り外す必要がある。さらに、天板や内壁板を取り付ける際にも、工具を用いて各ネジ部材を取り付け、各ネジ部材の頭部をカバーで覆う必要がある。したがって、プラズマエッチング処理装置の製造時やメンテナンス時に多大な工数を要する。そして、天板や内壁板の固定に用いられるネジ部材の数が多ければ多いほど、その分、製造時やメンテナンス時の工数も増大し、さらに、部品点数増加によるコストの上昇を招くおそれがある。
【００１０】
これに対して、本開示に係る技術では、多大な工数を必要とすることなく、基板を処理する際のパーティクルの発生を抑制する。
（【００１１】以降は省略されています）

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