特許ウォッチ

公開番号2025152977
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024055198
出願日2024-03-29
発明の名称搬送装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空環境下で支持テーブル上を直線方向に進退動するハンドに載せてワークを搬送する搬送装置において、ハンドと支持テーブル間に信号線を配することなくハンドに配置したセンサ類へ常時通電する搬送装置を提供する。
【解決手段】支持テーブル1と、当該支持テーブル1に設けられたガイドレール46と、当該ガイドレール46により水平直線方向に進退移動可能に案内され、ワークを載置可能なハンド2と、支持テーブルに設けられてハンドを進退駆動するベルト駆動機構4と、を備え、真空環境下に配置される搬送装置A1であって、ハンドは、ガイドレールに案内されたハンド支持体21とハンド支持体に支持されたハンド体22を含み、ハンドにはセンサ6が設けられ、ベルト駆動機構4を構成するベルト41の少なくとも一部41bは、ハンド支持体の内部に配された信号線61を介してセンサに導通し、給電及び信号伝達が可能な通電性ベルトで構成される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
支持テーブルと、当該支持テーブルに設けられたガイドレールと、当該ガイドレールにより水平直線方向に進退移動可能に案内され、ワークを載置可能なハンドと、上記支持テーブルに設けられて上記ハンドを進退駆動するベルト駆動機構と、を備え、真空環境下に配置される搬送装置であって、
上記ハンドは、上記ガイドレールに案内されたハンド支持体と当該ハンド支持体に支持されたハンド体を含んでおり、
上記ハンドにはセンサが設けられており、
上記ベルト駆動機構を構成するベルトの少なくとも一部は、上記センサに導通し、給電および信号伝達が可能な通電性ベルトで構成されていることを特徴とする、搬送装置。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
上記ベルト駆動機構は、
駆動プーリと、
上記ハンドの移動行程の一端側と他端側とに設けられた第１従動プーリおよび第２従動プーリと、
上記移動行程に沿って並び、上記第１従動プーリ側に位置する第１滑車および上記第２従動プーリ側に位置する第２滑車を支持し、上記移動行程に沿って移動可能な滑車支持体と、
一端が上記ハンド支持体に連結されるとともに上記第２従動プーリ、上記駆動プーリ、上記第１従動プーリおよび上記第１滑車に順に掛け回され、他端が上記支持テーブルまたはこれと一体的な部材に連結された第１ベルトと、
一端が上記ハンド体に連結されるとともに上記第２滑車に掛け回され、他端が上記支持テーブルまたはこれと一体的な部材に固定された第２ベルトと、
を含み、
上記第１ベルトおよび上記第２ベルトの少なくとも一方は上記通電性ベルトで形成されており、
上記通電性ベルトで形成された上記第１ベルトまたは上記第２ベルトは、上記ハンド支持体に連結される一端が上記センサに導通させられているとともに、他端が外部制御部に導通させられている、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
上記滑車支持体は、上記ガイドレールに案内されて上記移動行程に沿って移動可能である、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
上記ハンドは、互いに独立して進退移動可能で上下に並ぶ上位ハンドと下位ハンドとからなる、請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項５】
上記センサは、上記ハンド上の物体の存否を検出するためのセンサである、請求項１に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板等のワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置の一例として、特許文献１に記載されたものがある。同文献に記載された搬送装置は、支持テーブルに設けたリニアガイド機構により、ハンドを水平直線方向に移動可能に支持し、ハンドをベルト駆動機構により進退駆動するように構成されている。支持テーブルは通常、昇降および旋回が可能となっている。
【０００３】
この種の搬送装置は、真空かつ高温環境下において、ワークを前工程の処理室から受け取り、次工程の処理室へ搬入するといった搬送を行う等のために用いられる。この場合、ハンドにワークが載せられているべき時点において、ワークが正しくハンドに載せられているか否かを確認することが、ワークに対する一連の工程を円滑に行う上で重要である。
【０００４】
特許文献１に記載された搬送装置においては、ハンドに近接センサ等のセンサを配置する構成を採用しているが、真空環境に晒されるハンドにセンサを配置し、信号線を介して大気環境下にある制御部に信号を導く構成をとる場合、ハンドと支持テーブル間に長尺かつハンドの移動により屈曲状態が変化する信号線を配する必要があり、安定的な作動を保障するには、種々の困難を伴う。特許文献１に記載された搬送装置においては、ハンドが最も後退した原点位置（ホームポジション）とハンドが最も前進した進出位置でのみハンド側の接点と支持テーブル側の接点がつながり、センサへの通電がなされるように構成している。これにより特許文献１に記載された搬送装置は往復移動するハンドと支持テーブル間に配する信号線を省略することができるが、ハンドが原点位置と進出位置にあるときのみハンド上の板状ワークの存否を確認できるにすぎない。また、真空環境下での接点間接離を繰り返すことによるパーティクル発生が避けられず、搬送装置が設置されるシステムの安定した作動が阻害されかねない問題が依然として残る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－６５０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、真空環境下で支持テーブル上を直線方向に進退動させられるハンドに載せてワークを搬送する搬送装置において、ハンドと支持テーブル間に信号線を配することなくハンドに配置したセンサへの常時通電を可能としつつ、安定した作動状態を保持することができるように構成することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００８】
本発明により提供される搬送装置は、支持テーブルと、当該支持テーブルに設けられたガイドレールと、当該ガイドレールにより水平直線方向に進退移動可能に案内され、ワークを載置可能なハンドと、上記支持テーブルに設けられて上記ハンドを進退駆動するベルト駆動機構と、を備え、真空環境下に設置される搬送装置であって、上記ハンドは、上記ガイドレールに案内されたハンド支持体と当該ハンド支持体に支持されたハンド体を含んでおり、上記ハンドにはセンサが設けられており、上記ベルト駆動機構を構成するベルトの少なくとも一部は、上記センサに導通し、給電および信号伝達が可能な通電性ベルトで構成されている。
【０００９】
好ましい実施の形態では、上記ベルト駆動機構は、駆動プーリと、上記ハンドの移動行程の一端側と他端側とに設けられた第１従動プーリおよび第２従動プーリと、上記移動行程に沿って並び、上記第１従動プーリ側に位置する第１滑車および上記第２従動プーリ側に位置する第２滑車を支持し、上記移動行程に沿って移動可能な滑車支持体と、一端が上記ハンド支持体に連結されるとともに上記第２従動プーリ、上記駆動プーリ、上記第１従動プーリおよび上記第１滑車に順に掛け回され、他端が上記支持テーブルまたはこれと一体的な部材に連結された第１ベルトと、一端が上記ハンド体に連結されるとともに上記第２滑車に掛け回され、他端が上記支持テーブルまたはこれと一体的な部材に固定された第２ベルトと、を含み、上記第１ベルトおよび上記第２ベルトの少なくとも一方は上記通電性ベルトで形成されており、上記通電性ベルトで形成された上記第１ベルトまたは上記第２ベルトは、上記ハンド支持体に連結される一端が上記センサに導通させられているとともに、他端が外部制御部に導通させられている。
【００１０】
好ましい実施の形態では、上記滑車支持体は、上記ガイドレールに案内されて上記移動行程に沿って移動可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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