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公開番号2025152861
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024055021
出願日2024-03-28
発明の名称電子デバイス
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類H10N 35/00 20230101AFI20251002BHJP()
要約【課題】積層体にクラックが生じにくい電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイスは、少なくとも1つの開口部11を有するフレーム10と、電極膜と電極膜に積層された少なくとも1つの機能性膜とを有する積層体20と、積層体20に電気的に接続された導電パターン30と、を有する。積層体20は、積層体20の積層方向から見てフレーム10と重なっていない第1積層体を有し、第1積層体は、少なくとも導電パターン30を介してフレーム10に接続されている。
【選択図】図2A
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも１つの開口部を有するフレームと、
電極膜と前記電極膜に積層された少なくとも１つの機能性膜とを有する積層体と、
前記積層体に電気的に接続された導電パターンと、を有し、
前記積層体は、前記積層体の積層方向から見て前記フレームと重なっていない第１積層体を有し、
前記第１積層体は、少なくとも前記導電パターンを介して前記フレームに接続されている電子デバイス。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記積層体は、少なくとも１つの前記機能性膜として、圧電膜と磁歪膜の少なくとも一方を有する請求項１に記載の電子デバイス。
【請求項３】
前記積層体は、少なくとも１つの前記機能性膜として、前記圧電膜と前記磁歪膜とを有し、
前記電極膜と前記圧電膜と前記磁歪膜とは、この順番で積層されている請求項２に記載の電子デバイス。
【請求項４】
前記積層体は、複数の前記積層体からなり、
複数の前記積層体は、前記積層方向に垂直な第１方向に配列され、
前記導電パターンは、前記第１方向において、複数の前記積層体の間を橋渡しする請求項１～３のいずれかに記載の電子デバイス。
【請求項５】
前記第１方向において、複数の前記積層体の間には、空隙が形成されており、
前記空隙は、前記積層方向から見て、前記導電パターンと重ならない位置に位置する請求項４に記載の電子デバイス。
【請求項６】
前記第１方向において、複数の前記積層体の間には、前記フレームが配置されていない請求項５に記載の電子デバイス。
【請求項７】
前記フレームは、前記第１方向において、前記積層方向から見て複数の前記積層体の間に位置する内枠部を有し、
前記導電パターンの少なくとも一部は、前記積層方向から見て、前記内枠部と重なっており、
複数の前記積層体と前記内枠部との間には、空隙が形成されており、
前記空隙は、前記積層方向から見て、前記導電パターンと重ならない位置に位置する請求項４に記載の電子デバイス。
【請求項８】
前記導電パターンは、複数の前記導電パターンからなり、
前記積層体は、複数の積層体からなり、
複数の前記積層体は、前記積層方向に垂直な第１方向と、前記積層方向および前記第１方向に垂直な第２方向とに配列され、
複数の前記積層体が複数の直列回路を形成するように、少なくとも一つの前記導電パターンによって、前記第１方向に配列された複数の前記積層体は直列に電気的に接続され、
複数の前記直列回路は、並列に電気的に接続されている請求項１～３のいずれかに記載の電子デバイス。
【請求項９】
前記第１方向において、複数の前記積層体の間には、空隙が形成されており、
前記空隙は、前記積層方向から見て、複数の前記導電パターンと重ならない位置に位置する請求項８に記載の電子デバイス。
【請求項１０】
前記第１方向において、複数の前記積層体の間には、前記フレームが配置されていない請求項９に記載の電子デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、アンテナ等としての利用が可能な電子デバイスに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
機械的エネルギーと電気的（磁気的）エネルギーを相互変換する機能を備えた機能性材料として、例えば圧電材料あるいは磁歪材料が知られている。圧電材料は、外力の印加に応じて、外力を電力に変換する圧電効果を奏する材料である。磁歪材料は、外部磁場の印加に応じて、外部磁場を歪に変換する磁歪効果を奏する材料である。このような機能性材料は、薄膜化されて、圧力センサ、磁気センサ、アンテナ、エネルギー変換デバイス等の電子デバイスに組み込まれる。
【０００３】
例えば特許文献１の電子デバイスにおいて、機能性材料で構成された薄膜（以下、機能性膜）は、導電性を有する電極膜に積層され、電極膜とともに積層体を構成する。積層体は、開口部を有するフレームに配置され、圧電効果および磁歪効果に基づいて振動可能な振動体を構成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１―６４７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、歪あるいは残留応力に起因して積層体に引張応力が生じると、積層体にクラックが生じるおそれがあり、これを防止する技術が求められている。
【０００６】
本開示は、積層体にクラックが生じにくい電子デバイスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態に係る電子デバイスは、
少なくとも１つの開口部を有するフレームと、
電極膜と前記電極膜に積層された少なくとも１つの機能性膜とを有する積層体と、
前記積層体に電気的に接続された導電パターンと、を有し、
前記積層体は、前記積層体の積層方向から見て前記フレームと重なっていない第１積層体を有し、
前記第１積層体は、少なくとも前記導電パターンを介して前記フレームに接続されている。
【０００８】
前記積層体は、少なくとも１つの前記機能性膜として、圧電膜と磁歪膜の少なくとも一方を有していてもよい。
【０００９】
前記積層体は、少なくとも１つの前記機能性膜として、前記圧電膜と前記磁歪膜とを有し、前記電極膜と前記圧電膜と前記磁歪膜とは、この順番で積層されていてもよい。
【００１０】
前記積層体は、複数の前記積層体からなり、複数の前記積層体は、前記積層方向に垂直な第１方向に配列され、前記導電パターンは、前記第１方向において、複数の前記積層体の間を橋渡ししてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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