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公開番号2025097285
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-30
出願番号2024198026
出願日2024-11-13
発明の名称腕時計コンポーネントをバッチ製造する方法
出願人ニヴァロックス-ファー ソシエテ アノニム
代理人個人,個人,個人
主分類G04B 13/02 20060101AFI20250623BHJP(時計)
要約【課題】腕時計コンポーネントをバッチ製造する方法を提供する。
【解決手段】腕時計コンポーネントをバッチ製造する方法であって、a)導電性下塗り層2によって覆われた基板1を設けるステップと、b)基板1の表面の導電層2の上に感光性樹脂3の層を適用するステップと、c)コンポーネント5ならびにグリッド7および材料ブリッジ6のバッチの外形を画定するマスク4を通して樹脂層3に照射をするステップと、d)基板1の導電層2をところどころ露出させてモールドを形成するべく、感光性樹脂層3の非照射領域3bを溶解するステップと、e)導電層2から金属層をコンフォーマル電解ガルバニック析出させるステップと、f)こうして形成された一クラスタのコンポーネントを解放するべく感光性樹脂層3および基板1を除去するステップと、g)一クラスタからバッチのコンポーネントを解放すること、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
腕時計コンポーネントをバッチ製造する方法であって、
a)導電性下塗り層(2)によって覆われた基板(1)を設けるステップと、
b)前記基板(1)の表面の前記導電層(2)の上に感光性樹脂(3)の層を適用するステップと、
c)コンポーネント(5)ならびにグリッド(7)および材料ブリッジ(6)のバッチの外形を画定するマスク(4)を通して前記樹脂層(3)に照射をするステップであって、前記材料ブリッジ(6)は非機能表面において前記コンポーネント(5)を前記グリッド(7)に接続し、前記グリッド、前記材料ブリッジおよび前記腕時計コンポーネントが一クラスタのコンポーネントを形成する、ステップと、
d)前記基板の前記導電層(2)をところどころ露出させてモールドを形成するべく、前記感光性樹脂層(3)の非照射領域(3b)を溶解するステップと、
e)前記導電層(2)から金属層をコンフォーマル電解ガルバニック析出させるステップであって、前記金属層は前記一クラスタのコンポーネントを形成して前記感光性樹脂層の上面のレベルに達する、ステップと、
f)こうして形成された前記一クラスタのコンポーネントを解放するべく前記感光性樹脂層および前記基板を除去するステップと、
g)前記一クラスタから前記バッチのコンポーネントを解放することと
を含むことを特徴とする方法。
続きを表示(約 900 文字)【請求項2】
ステップe)とステップf)との間にステップe’)を含み、ステップe’)の間に前記樹脂層と析出された前記金属層とを同じレベルにするために、前記樹脂層および電気析出された前記金属層が平坦化されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
・少なくとも2つのレベルを有するモールドを得るべく、ステップd)の後、ステップc)およびステップd)を少なくとも一回繰り返すステップと、
・少なくとも一つの他の金属層をモールドの少なくとも第2のレベルに適用するステップと
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
【請求項4】
前記モールドが、いくつかのレベルを有する、請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記材料ブリッジ(6)は、前記コンポーネント(5)の厚さと同一の厚さを有する、請求項1に記載の方法。
【請求項6】
前記材料ブリッジ(6)は、前記コンポーネント(5)の厚さよりも小さい厚さを有する、請求項1に記載の方法。
【請求項7】
前記腕時計コンポーネント(1)の前面、裏面および/または側面をウェハ仕上げするステップg)を含み、前記仕上げするステップは、例えば構造化層および/または装飾層などの層を堆積することから構成されることを特徴とする、請求項1に記載の製造方法。
【請求項8】
前記一クラスタの腕時計コンポーネントは、ホイール、カム、針、レバー、スネイル、振動おもり、インデックスまたはアップリケから選択された同じ部品のバッチを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項9】
前記一クラスタの腕時計コンポーネントは、ホイール、カム、針、レバー、振動おもり、スネイル、インデックスまたはアップリケのような異なるコンポーネントのバッチを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項10】
請求項1に記載の腕時計コンポーネント(1)のバッチを製造する方法を実施することにより得られる腕時計コンポーネント(1)のバッチ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、LIGA技術を用いた金属製腕時計コンポーネントのバッチを製造する方法に関する。
続きを表示(約 2,300 文字)【背景技術】
【0002】
上記の定義に対応する方法はすでに知られている。詳しくは、「Metallic Microstuctures Fabricated Using Photosensitive Polyimide Electroplating moulds」と題され、Journal of Microelectromechanical systems (Vol. 2, N deg. 2, June 1993)に掲載されたA. B. Frazierらによる論文には、感光性樹脂層のフォトリソグラフィによって作られたポリイミドモールド内でのガルバニック成長によるマルチレベル金属構造物の製造方法が記載されている。
【0003】
この方法は、
・基板上に犠牲金属層と、その後のガルバニック成長ステップのための下地層とを形成するステップと、
・感光性ポリイミド層を適用するステップと、
・当該ポリイミド層に、得ようとする構造物の一レベルの外形に対応するマスクを通してUV放射線を照射するステップと、
・当該ポリイミド層を、ポリイミドモールドを得るべく非照射部分を溶解することによって現像するステップと、
・当該モールドに、ガルバニック成長によってその高さまでニッケルを充填し、実質的に平坦な上面を得るステップと、
・当該上面全体に、真空スプレーによって薄いクロム層を堆積させるステップと、
・当該クロム層の上に新たな感光性樹脂層を堆積するステップと、
・得ようとする当該構造物の次レベルの外形に対応する新たなマスクを通して樹脂層に照射をするステップと、
・新しいモールドを得るべくポリイミド層を現像するステップと、
・新たなモールドに、ガルバニック成長によってその高さまでニッケルを充填するステップと、
・マルチレベル構造物およびポリイミドモールドを犠牲層および基板から分離するステップと、
・ポリイミドモールドからマルチレベル構造物を分離するステップと
を含む。
【0004】
理解すべきことだが、直前に述べた方法は、原理的には、2レベルを超える金属構造物を得るために反復的に実施され得る。
【0005】
かかる方法の欠点は、多くの部品が大量に製造されるため、衝撃、詰まり、絡み合いによって部品が劣化し得ることである。この欠点を克服するために、部品を選別することも可能だが、これにはコストと時間がかかる。
【0006】
かかる方法のもう一つの欠点は、一以上の仕上げステップを行う必要がある場合、作業中に個々の部品を正しく位置決めするために複雑な位置決めが必要になることである。この場合、部品は仕上げの段階ごとに再注文しなければならず、これにもコストと時間がかかる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0007】
A. B. Frazier et al. entitled, “Metallic Microstuctures Fabricated Using Photosensitive Polyimide Electroplating moulds,” Journal of Microelectromechanical systems (Vol. 2, N deg. 2, June 1993)
【発明の概要】
【0008】
本発明は、コンポーネントを、グリッドを介して互いに取り付けられたままとし、バッチで取り扱われ、作業され、および/または装飾されるようにする解決策を与えることによって、上述した欠点を解決する。
【0009】
本発明はまた、コンポーネントをウェハのようにグリッドに取り付けたままとする一方で裏面をクリアにすることができるので、裏面作業を行うためにコンポーネントを裏返しながらコンポーネントを個々に位置決めしておく複雑な技術的手段を実施する必要なしに、作業および/または装飾を容易に行うことができる。ひとたびコンポーネントがひっくり返されると、意図された機械的手直し作業を行うには、正確な位置決めが不可欠である。
【0010】
この目的に向けて、本発明は、腕時計コンポーネントをバッチ製造する方法に関し、方法は、
a)導電性下塗り層によって覆われた基板を設けるステップと、
b)基板表面の導電性部分に感光性樹脂層を適用するステップと、
c)コンポーネントならびにグリッドおよび材料ブリッジのバッチの外形を画定するマスクを通して樹脂層に照射をするステップであって、材料ブリッジは非機能表面においてコンポーネントをグリッドに接続し、グリッド、材料ブリッジおよび腕時計コンポーネントが一クラスタのコンポーネントを形成する、ステップと、
d)基板の導電性表面をところどころ露出させてモールドを形成するべく、感光性樹脂層の非照射エリアを溶解するステップと、
e)導電層から金属層をコンフォーマル電解ガルバニック析出させるステップであって、金属層は当該一クラスタのコンポーネントを形成して感光性樹脂層の上面のレベルに達する、ステップと、
f)こうして形成された一クラスタのコンポーネントを解放するべく感光性樹脂層および基板を除去するステップと、
g)クラスタからコンポーネントを解放するステップと
を含む。
(【0011】以降は省略されています)

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