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公開番号2025091231
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-18
出願番号2023206385
出願日2023-12-06
発明の名称サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B41J 2/335 20060101AFI20250611BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】配線層に欠損が発生することを抑制可能なサーマルプリントヘッドを提供する。
【解決手段】サーマルプリントヘッド(100)は、基板(10)と、基板上に配置されているグレーズ層(20)と、グレーズ層上に配置されている配線層(30)と、配線を覆うようにグレーズ層上に配置されている保護層(50)とを備えている。保護層の構成材料及びグレーズ層の構成材料の少なくともいずれかは、配線層の構成材料が添加されたガラスである。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に配置されているグレーズ層と、
前記グレーズ層上に配置されている配線層と、
前記配線層を覆うように前記グレーズ層上に配置されている保護層とを備え、
前記保護層の構成材料及び前記グレーズ層の構成材料の少なくともいずれかは、前記配線層の構成材料が添加されたガラスである、サーマルプリントヘッド。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記保護層の構成材料は、前記配線層の構成材料が添加されたガラスである、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
前記保護層では、ガラス中に前記配線層の構成材料を含む粒子が分散している、請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
前記保護層では、ガラス中に前記配線層の構成材料が溶解しており、ガラス中における前記配線層の構成材料の濃度が４質量パーセント以上である、請求項２に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項５】
前記配線層の厚さは、１．５μｍ以下である、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項６】
前記配線層の構成材料は、銀である、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項７】
前記配線層の構成材料は、銅である、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項８】
基板を準備する工程と、
前記基板上にグレーズ層を形成する工程と、
前記グレーズ層上に配線層を形成する工程と、
前記配線層を覆うように前記グレーズ層上に保護層を形成する工程とを備え、
前記保護層の構成材料及び前記グレーズ層の構成材料の少なくともいずれかは、前記配線層の構成材料が添加されたガラスである、サーマルプリントヘッドの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、サーマルプリントヘッド及びサーマルプリントヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２３－１１５５４４号公報（特許文献１）には、サーマルプリントヘッドが記載されている。特許文献１に記載のサーマルプリントヘッドは、基板と、グレーズ層と、配線と、保護膜とを有している。基板は、主面を有している。グレーズ層は、基板の主面上に配置されている。配線は、グレーズ層上に配置されている。保護膜は、配線を覆うようにグレーズ層上に配置されている。グレーズ層の構成材料及び保護膜の構成材料は、ガラスを含有している。配線の構成材料は、金属材料である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－１１５５４４号公報［概要］特許文献１に記載のサーマルプリントヘッドの製造過程において、配線の構成材料である金属材料が、グレーズ層中及び保護膜中に拡散する。その結果、特許文献１に記載のサーマルプリントヘッドでは、配線に欠損が発生することがあり、場合によっては配線が断線してしまうことがある。
【０００４】
本開示のサーマルプリントヘッドは、基板と、基板上に配置されているグレーズ層と、
グレーズ層上に配置されている配線層と、配線を覆うようにグレーズ層上に配置されている保護層とを備えている。保護層の構成材料及びグレーズ層の構成材料の少なくともいずれかは、配線層の構成材料が添加されたガラスである。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
サーマルプリントヘッド１００の平面図である。
図１中のＩＩ－ＩＩにおける断面図である。
図１中のＩＩＩ－ＩＩＩにおける断面図である。
サーマルプリントヘッド１００の製造方法を示す工程図である。
グレーズ層形成工程Ｓ２を説明する断面図である。
金属層形成工程Ｓ３を説明する断面図である。
パターンニング工程Ｓ４を説明する断面図である。
発熱体形成工程Ｓ５を説明する断面図である。
保護層形成工程Ｓ６を説明する断面図である。
サーマルプリントヘッド２００の断面図である。
【０００６】
［詳細な説明］
本開示の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。実施形態に係るサーマルプリントヘッドを、サーマルプリントヘッド１００とする。
【０００７】
（サーマルプリントヘッド１００の構成）
以下に、サーマルプリントヘッド１００の構成を説明する。
【０００８】
図１は、サーマルプリントヘッド１００の平面図である。図１中では、保護層５０の図示が省略されている。図２は、図１中のＩＩ－ＩＩにおける断面図である。図３は、図１中のＩＩＩ－ＩＩＩにおける断面図である。図１から図３に示されているように、サーマルプリントヘッド１００は、基板１０と、グレーズ層２０と、配線層３０と、発熱体４０と、保護層５０とを有している。
【０００９】
基板１０は、主面１０ａと、主面１０ｂとを有している。主面１０ｂは、主面１０ａの反対面である。主面１０ａ及び主面１０ｂは、基板１０の厚さ方向における端面である。基板１０の構成材料の主成分は、例えばアルミナ（Ａｌ
２
Ｏ
３
）等のセラミックである。主成分とは、構成材料中において５０質量パーセント超を占める成分である。
【００１０】
グレーズ層２０は、基板１０上に配置されている。グレーズ層２０は、主面１０ａ上に配置されている。グレーズ層２０の構成材料の主成分は、ガラスである。配線層３０は、グレーズ層２０上に配置されている。配線層３０は、共通電極３１と、複数の個別電極３２とを有している。
（【００１１】以降は省略されています）

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