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公開番号2025079408
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-22
出願番号2023192041
出願日2023-11-10
発明の名称油回転真空ポンプ
出願人アルバック機工株式会社
代理人弁理士法人南青山国際特許事務所
主分類F04C 28/28 20060101AFI20250515BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】故障判断を外部から容易に行うことができる油回転真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る油回転真空ポンプは、ケーシングと、ポンプ本体と、逆流防止機構と、油圧発生部と、油圧検知部とを具備する。ケーシングは、吸気口と、排気口と、潤滑油を貯留する貯留室とを有する。ポンプ本体は、吸気口から吸引されたガスを排気口へ向けて移送する回転体を有するポンプ室と、を有する。逆流防止機構は、吸気口とポンプ室との間に設けられた逆流防止弁と、吸気口を開放する第1の位置と吸気口を閉塞する第2の位置との間で逆流防止弁を移動可能に支持する弁室とを有する。油圧発生部は、回転体の駆動と連動して貯留室からポンプ室へ潤滑油を圧送するとともに、逆流防止弁を第1の位置に保持させる油圧を弁室へ供給する油圧ポンプを含む。油圧検知部は、弁室内の油圧を検知する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
吸気口と、排気口と、潤滑油を貯留する貯留室とを有するケーシングと、
前記ケーシング内に配置され、前記吸気口から吸引された気体を前記排気口へ向けて移送する回転体を含むポンプ室を有するポンプ本体と、
前記吸気口と前記ポンプ室との間に設けられた逆流防止弁と、前記吸気口を開放する第１の位置と前記吸気口を閉塞する第２の位置との間で前記逆流防止弁を移動可能に支持する弁室とを有する逆流防止機構と、
前記回転体の駆動と連動して前記貯留室から前記ポンプ室へ前記潤滑油を圧送するとともに、前記逆流防止弁を前記第１の位置に保持させる油圧を前記弁室へ供給する油圧ポンプを含む油圧発生部と、
前記弁室内の油圧を検知する油圧検知部と
を具備する油回転真空ポンプ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧発生部は、前記貯留室と前記ポンプ室との間を連絡する給油流路と、前記貯留室と前記弁室との間を連絡する油圧導入流路と、を有し、
前記油圧検知部は、前記ケーシングに取り付けられた圧力センサと、前記油圧導入流路と前記圧力センサとの間を接続する圧力検知ラインとを含む
油回転真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧検知部は、前記圧力センサの出力に基づいて前記ポンプ本体の駆動状態を判定する判定部をさらに有する
油回転真空ポンプ。
【請求項４】
請求項２に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧発生部は、前記油圧導入流路と前記貯留室との間を連絡する油圧排出流路と、前記油圧排出流路に設けられ前記弁室側から前記貯留室側への前記潤滑油の流れを順方向とする第１の逆止弁と、をさらに有し、
前記第１の逆止弁は、前記弁室内の油圧が所定値以上のときに開弁する油圧調整弁である
油回転真空ポンプ。
【請求項５】
請求項４に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧発生部は、前記油圧導入流路と前記貯留室との間に設けられ前記油圧排出流路をバイパスする補助流路をさらに有し、
前記補助流路は、前記第１の逆止弁の開弁時における流路断面積よりも小さい流路断面積を有する絞り通路を含む
油回転真空ポンプ。
【請求項６】
請求項４に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧発生部は、前記油圧導入流路に設けられ前記弁室及び前記油圧導入流路の油圧が前記所定値未満のときに前記弁室及び前記油圧導入路から前記貯留室への前記潤滑油の流れを許容する第２の逆止弁をさらに有する
油回転真空ポンプ。
【請求項７】
請求項６に記載の油回転真空ポンプであって、
前記油圧発生部は、前記給油流路に設けられ前記貯留室側から前記ポンプ室側への前記潤滑油の流れを順方向とする第３の逆止弁をさらに有する
油回転真空ポンプ。
【請求項８】
請求項１に記載の油回転真空ポンプであって、
前記逆流防止機構は、前記弁室に配置され前記逆流防止弁を前記第２の位置へ付勢する付勢部材をさらに有する
油回転真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ油の逆流防止機能を備えた油回転真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
油回転真空ポンプは、ポンプ室内で回転体を回転させながら、吸気配管を介して真空チャンバ内の気体を吸入し、圧縮し、排出することによって、所期のポンプ機能を実現する。このときポンプ油は、ポンプ室の内周面上を摺動する回転体の潤滑と、ポンプ室内における一定のシール機能を確保するために用いられる。ところが、真空チャンバを真空に保ったまま油回転真空ポンプを停止させると、ポンプ室内の圧力上昇に伴ってポンプ室内のポンプ油が吸気配管や真空チャンバに逆流して、これらを汚染するおそれがある。そこで、真空ポンプの停止時に吸気口を遮断してポンプ油の逆流を阻止する逆流防止弁が知られている。
【０００３】
例えば特許文献１には、入口を閉塞する第１の位置と入口を開放する第２の位置との間を移動可能な弁部材を有し、真空ポンプの運転中は油ラインを介して供給される油ポンプの油圧で弁部材を上記第２の位置へ移動させ、真空ポンプの停止時は油ラインを遮断してスプリングの付勢力で弁部材を上記第１の位置へ移動させるように構成された逆流防止弁としての入口弁が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平６－２００８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、この種の油回転真空ポンプにおいては、稼働中の油回転真空ポンプが停止した際、停止の原因が故障によるものであるのか外部から判断し難いという問題がある。例えば、モータ電流値にて外部より故障判断を行うことも可能であるが、故障判断の基準となる電流設定値がモータや機種によって異なることが多いため、モータや機種ごとに電流設定値を定める必要がある。一方、マグネットカップリングポンプでは脱調が起きた場合、ポンプヘッド側は停止しているがモータは正常に回転したままであるため、モータ電流値での故障判断が困難になる。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、故障判断を外部から容易に行うことができる油回転真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一形態に係る油回転真空ポンプは、ケーシングと、ポンプ本体と、逆流防止機構と、油圧発生部と、油圧検知部とを具備する。
前記ケーシングは、吸気口と、排気口と、潤滑油を貯留する貯留室とを有する。
前記ポンプ本体は、前記吸気口から吸引されたガスを前記排気口へ向けて移送する回転体を有するポンプ室と、を有する。
前記逆流防止機構は、前記吸気口と前記ポンプ室との間に設けられた逆流防止弁と、前記吸気口を開放する第１の位置と前記吸気口を閉塞する第２の位置との間で前記逆流防止弁を移動可能に支持する弁室とを有する。
前記油圧発生部は、前記回転体の駆動と連動して前記貯留室から前記ポンプ室へ前記潤滑油を圧送するとともに、前記逆流防止弁を前記第１の位置に保持させる油圧を前記弁室へ供給する油圧ポンプを含む。
前記油圧検知部は、前記弁室内の油圧を検知する。
【０００８】
上記油回転真空ポンプにおいては、逆流防止機構の弁室内の油圧を検知する油圧検知部を備えているため、例えば検知した油圧が基準値以上であるか否かに基づいて当該ポンプの故障の有無を判断することができる。
【０００９】
前記油圧発生部は、前記貯留室と前記ポンプ室との間を連絡する給油流路と、前記貯留室と前記弁室との間を連絡する油圧導入流路と、を有してもよい。前記油圧検知部は、前記ケーシングに取り付けられた圧力センサと、前記油圧導入流路と前記圧力センサとの間を接続する油圧検知ラインとを含んでもよい。
【００１０】
前記油圧検知部は、前記圧力センサの出力に基づいて前記ポンプ本体の駆動状態を判定する判定部をさらに有してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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